Le proprietà elettriche dei semiconduttori. dott.ssa Daniela Cavalcoli [email protected] Diagramma a bande: semiconduttore non drogato T>0 Banda di conduzione (parzialmente piena) EC EF EV Banda di valenza (parzialmente vuota) A T = 0, la banda di valenza è piena di elettroni e la banda di conduzione vuota →conducibilità conducibilità zero. zero L’energia di Fermi EF è a metà di un gap piccolo (<1 eV) tra la banda di conduzione e la banda di valenza. A T > 0, gli elettroni vengono eccitati termicamente dalla banda di valenza alla banda di conduzione, →conducibilità conducibilità misurabile. misurabile 2 D Cavalcoli energy gap bande di energia in un semiconduttore EF Bande e conduzione elettrica Ruolo delle bande nella conduzione elettrica 4 nei metalli nei semiconduttori D Cavalcoli semiconduttori Caratteristiche a 0K: - banda di valenza completamente occupata - banda di conduzione completamente vuota -piccolo gap di energie proibite Ec Eg= 1,1 eV (Si); 0,7 eV (Ge); 1,4 eV (GaAs) a T>0K: - un elettrone può essere eccitato dalla banda di valenza a quella di conduzione - ogni elettrone che passa in banda di conduzione lascia un posto vuoto (buca) in banda di valenza - anche la buca in banda di valenza è “mobile”, perché può essere occupata da un elettrone che lascia a sua volta una buca e così via - sotto l’azione di un campo elettrico esterno il moto di deriva avviene sia in banda di conduzione che in banda di valenza - l’elettrone in banda di valenza è in una zona “di massa efficace negativa” e il suo moto può essere equiparato a quello di una particella con massa positiva e carica elettrica positiva Ega p Ev buca Semiconduttori-Diagramma a bande Si Ge, Reticolo del diamante 6 D Cavalcoli GaAs, Reticolo zincoblenda Semiconduttori-diagramma a bande I diagrammi a bande sono la chiave per conoscere le proprietà elettriche e ottiche dei solidi Questi diagrammi mostrano la relazione tra energia elettronica e momento per le direzioni principali del cristallo definite in termini del reticolo reciproco (trasformata di Fourier del reticolo del cristallo nello spazio reale) E vs (h/2π)k oppure E vs k Metodi di calcolo di strutture a bande Tight banding method→ dagli orbitali atomici →energie elettroniche nel solido Calcoli di strutture a bande vicino al gap Prima zona di Brilluin di un reticolo cubico a facce centrate I vari simboli denotano direzioni di elevata simmetria nel cristallo 7 D Cavalcoli Diagramma a bande del Si Derivata da orbitali p Forbidden gap Derivata da orbitali s Banda di valenza in Si vicino al punto 8 ᴦ (k=0) D Cavalcoli Interazione spinorbita→rompe la simmetria triplice della banda al punto ᴦ Il Si è un semiconduttore a gap indiretto Per piccole variazioni del vettore d’onda dal punto ᴦ le bande possono essere considerate paraboliche 9 D Cavalcoli Si Diagramma a bande Electrons: The surfaces of equal energy are ellipsoids. ml= 0.98mo mt= 0.19mo Effective mass of density of states mc = 0.36mo There are 6 equivalent valleys in the conduction band. mcc= 0.26mo Holes: Heavy mh = 0.49mo Light mlp = 0.16mo Split-off band mso = 0.24mo Effective mass of density of states mv = 0.81mo http://www.ioffe.ru/SVA/NSM/Semicond/Si/index.html 10 D Cavalcoli Ge Electrons: The surfaces of equal energy are ellipsoids ml = 1.59mo mt = 0.0815mo Effective mass of density of states mc=(9mlmt2)1/3 mc=0.22mo Effective mass of conductivity mcc=0.12mo Holes: 11 Heavy mh = 0.33mo Light mlp = 0.043mo Split-off band mso = 0.084mo Effective mass of density of states mv = 0.34mo D Cavalcoli GaAs diagramma a bande Il GaAs è un semiconduttore a gap diretto Con m* = 0.067 m0 Gap diretto e gap indiretto Grande influenza sulle proprietà ottiche 12 D Cavalcoli Masse efficaci per banda di valenza e di conduzione Conductivity mass usata nel calcolo delle proprietà elettriche 13 D Cavalcoli conducibilità elettrica nei semiconduttori heavy hole light hole masse efficaci molto piccole due contributi alla conducibilità: σ = neµ n+ peµ p contributo degli elettroni in banda di conduzione contributo delle buche in banda di valenza Concentrazione dei portatori 15 D Cavalcoli semiconduttore intrinseco: n=p conducibilità elettrica nei semiconduttori Calcolo di n e di p: ∞ ∞ ∫ ∫ 8π 2me3 ( E − Ec )dE n = g ( E ) f F ( E , T )dE = 3 ( E − E F ) / k BT h e +1 Ec Ec ∞ ∞ ∫ ∫ 3 m 8π 2me3 E F / k BT 8 π 2 − E / k BT e 3 / 2 E F / k BT −x = e e ( E − E ) dE = ( k T ) e e x dx c B 3 3 h h E 0 c me k B T n = 2 2πh 2 3/ 2 e − ( Ec − E F ) / k BT legge dell’azione di massa m k T p = 2 h B 2πh 2 me m h k B T np = 4 2πh 2 3 3/ 2 e − ( E F − Ev ) / k BT − E gap / k B T e Calcolo del livello di Fermi per il semiconduttore intrinseco Livello di Fermi - n i = pi - si assume me≈ mh=m* 3/2 m *k B T n = 2 2π h 2 m k T n = 2 e B 2πh 2 3/ 2 e Egap EF − E gap / 2 k B T e − ( Ec − E F ) / k BT dal rapporto: Ec-EF = Egap/2 EF = Ec - Egap/2 Stima di ni a 300K: 3/ 2 6 −2 2 3 / 2 m*c2kBT −2 e− Egap / 2kBT ≈ 2 0,2 ⋅ 0,5 ⋅ 10 ⋅ 3 ⋅10 (eV ) e−1.1 / 2⋅3⋅10 ni = 2 2π (hc)2 6 ⋅ (2 ⋅ 10−7 eVm)2 ( ) 16 −2 3 / 2 −18 ≈ 10 m e ≈ 1016 m−3 - da confrontarsi con ≈ 1029m-3 per i conduttori - inoltre dipendenza esponenziale dalla temperatura Calcolo del livello di Fermi per un semiconduttore intrinseco Da n=p 18 D Cavalcoli “drogaggio” donatore EF livello del donatore drogaggio tipo “n” con un atomo pentavalente (fosforo) accettore livello dell’accettore EF drogaggio tipo “p” con un atomo trivalente (Al) Drogaggio Energia di ionizzazione di un atomo di idrogeno Per l’elettrone poco legato associato all’ atomo di donore ≈25 meV 20 D Cavalcoli Concentrazione dei portatori vs T Neutralità di carica 21 D Cavalcoli conducibilità elettrica in semiconduttori drogati EF “n” “p” livello del donatore livello dell’accettore EF con un drogaggio di tipo “n”, la conducibilità è dovuta praticamente solo alla densità nd dei donatori (portatori di maggioranza) σ n = nd eµ e con un drogaggio di tipo “p”, la conducibilità è dovuta praticamente solo alla densità na degli accettori (portatori di minoranza) σ p = na eµ h resistenza elettrica in semiconduttori debolmente drogati zona “estrinseca”: tutti i portatori di maggioranza sono in banda di conduzione, la resistenza elettrica cresce linearmente con T perché cala la mobilità zona “intrinseca”: i portatori “intriseci” cominciano a passare con crescente probabilità in banda di conduzione, la resistenza elettrica diminuisce esponenzialmente con T perché cresce la densità n di portatori Riassumendo un semiconduttore ha: A T= 0K: -banda di valenza completamente occupata - banda di conduzione completamente vuota - piccolo gap di energie proibite Eg= 1,1 eV (Si); 0,7 eV (Ge); 1,4 eV (GaAs) A T>0K: - un elettrone può essere eccitato dalla banda di valenza a quella di conduzione - ogni elettrone che passa in banda di conduzione lascia un posto vuoto (buca) in banda di valenza - anche la buca in banda di valenza è “mobile”, perché può essere occupata da un elettrone che lascia a sua volta una buca e così via - sotto l’azione di un campo elettrico esterno il moto di deriva avviene sia in banda di conduzione che in banda di valenza due contributi alla conducibilità: 24 σ = neµ n+ peµ p contributo degli elettroni in banda di conduzione D Cavalcoli contributo delle buche in banda di valenza Conduciblità, semiconduttore drogato (tipo n) A basse T, in regime estrinseco Nd >> ni ; n>>p, → n= Nd + ni ≈ Nd n è indipendente da T, quindi σ = neμ = Nd eμ(T) → σ vs T come μ vs T (μ≈T-3/2) A T maggiori, in regime intrinseco gli elettroni “saltano” in banda di conduzione, Nd << ni, n ≈ ni, σ=neμe+ peμh visto che μ indip da T σ vs T come ni, vs T, in particolare ni≈T3/2 exp(-E g /2KT) Un plot semilogaritmico di σ vs T fornisce una linea retta di pendenza Eg(0)/2K 25 D Cavalcoli