Elettronica dello Stato Solido Lezione 1: Introduzione Daniele Ielmini DEIB – Politecnico di Milano [email protected] Outline • Informazioni sul corso • Introduzione all’elettronica dello stato solido • Breve storia della microelettronica • Conclusioni D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 2 Obiettivi del corso • Obiettivo: apprendere la fisica dei dispositivi sulla base della comprensione dello stato e delle proprietà di trasporto dei portatori (elettroni, lacune): 1. Meccanica quantistica (elettroni in atomi, elettroni nei solidi, teoria delle bande, densità degli stati) 2. Statistica dei portatori (distribuzioni di energia, densità di portatori in metalli, semiconduttori e isolanti, drogaggio) 3. Trasporto di portatori (mobilità, drift, diffusione, effetti di alto campo) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 3 Perchè ESS? 1. Una delle poche occasioni nel Corso di Ingegneria Elettronica per imparare la fisica moderna (quantistica, stato solido, semiconduttori) 2. Propedeutico a tematiche dispositivistiche nella triennale (Optoelettronica) e magistrale (Electron Devices) 3. I dispositivi sono i mattoni fondamentali dei circuiti e dei sistemi conoscenze di base necessarie per ogni progettista completo 4. È il punto d’accesso per uno degli argomenti di ricerca più affascinanti del panorama dell’elettronica: nanotecnologie, nuovi dispositivi/materiali (grafene, memristori, spintronica, neuromorfici = sistemi in grado di imitare l’elaborazione delle informazioni nel cervello) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 4 Organizzazione del corso aula A (ed. 11) • 3+2+2 ore settimanali di lezione (totale 60 ore) • 2 ore settimanali di esercitazioni (totale 40 ore) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 5 Laboratorio numerico kz 100nm 5nm 100nm 5nm 100nm ky kx T=600K • Scopo: vedere la fisica dei dispositivi (dipendenza dal tempo, 3D) e acquisire strumenti di apprendimento, approfondimento e gioco D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 6 Riferimenti bibliografici • Eisberg, Resnick – Quantum Physics of Atoms, Molecules, Solids, Nuclei and Particles (Wiley) – Cap. 1, 2 (no 2.7/8), 3, 4, 5, 6 + leggere 13 (fac.) • R. Pierret – Advanced Semiconductor Fundamentals – Cap. 1, 3, 4, 5 (no 5.3/4), 6 + leggere 2 (fac.) • Testo in italiano: F. Ciccacci, Introduzione alla Fisica dei Quanti • Materiale online (lezioni, esercitazioni di laboratorio e temi d’esame risolti) al sito http://home.deib.polimi.it/ielmini/ess.htm D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 7 Ricevimento/esami • Ricevimento: Venerdì 10-12AM, Via Golgi 40 – Piano 2 (6120 o [email protected]) • Esame: esercizi su tutto il corso (lezioni + esercitazioni) • Sito web http://home.deib.polimi.it/ielmini/ess.htm – Slides del corso – Avvisi – Temi d’esame 2008-2016 + soluzioni – Altro materiale didattico (animazioni, codici Matlab, tesi disponibili) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 8 Outline • Informazioni sul corso • Introduzione all’elettronica dello stato solido • Breve storia della microelettronica • Conclusioni D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 9 Nanoelettronica • Nanoelettronica applicazioni nell’ICT (information and communication technology) pervasiva (elaborazione e trasmissione dati, industria, automotive, servizi, internet of things) • Sistemi ICT = software + hardware • Hardware = sistemi (system-in-package – SiP, system-on-chip – SoC) circuiti dispositivi (attivi e passivi) • I dispositivi sono realizzati allo stato solido: ad esempio, tutte le porte logiche in un microprocessore sono integrate nello stesso cristallo (chip) di silicio D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 10 Sistemi, circuiti e dispositivi Computer, tablet, smartphone Central Processing Unit (CPU) Intel 22 nm Ivy Bridge MOS transistor 45 nm p-channel D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 11 Alcuni sistemi elettronici ... Inoltre sistemi automotive (airbag, advanced driver assistance systems – ADAS), medicali (diagnostica/PET, cochlear implant), industria (4.0, PLC, robot, tracciabilità) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 12 Circuiti integrati elettronici (ICs) Primo IC nel 1958 Wafer con decine di ICs • IC digitali (microprocessori, microcontrollori, memorie, FPGA) • IC analogici (amplificatori, mixers, trasmettitori/ricevitori, filtri) • Mixed signals, convertitori Intel 486 IC in package (memoria flash) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 13 Dispositivi elettronici allo stato solido D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 14 Memory devices D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 15 Cosa non è stato solido? • Prima dei dispositivi a stato solido, la computazione era mediante valvole: ENIAC (1946, Electronic Numerical Integrator And Computer) fu il primo computer da 30-ton, 18,000 valvole • L’immagazzinamento (storage) di dati è ancora oggi in parte affidato a dischi/nastri magnetici e CD/DVD ottici D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 16 Materiali solidi in elettronica METALLI: Cu (interconnessioni), W (plug) e composti metallici come TaN, TiN, etc. per il gate (soprattutto se abbinati a high K) ISOLANTI: SiO2 (dielettrico di gate), SiN (spacer), dielettrici alternativi con alta costante dielettrica (high-K, isolanti di gate oltre il nodo 45 nm) o bassa costante dielettrica (low-K, interlayer dielectric) SEMICONDUTTORI: Si, o semiconduttori alternativi (Ge, SiGe, composti III-V come GaAs, InGaAs) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 17 1E+32 1E+30 1E+28 1E+26 1E+24 1E+22 1E+20 1E+18 1E+16 1E+14 1E+12 1E+10 1E+08 1E+06 1E+04 1E+02 1E+00 ISOLANTI V = RI R = l / A SEMICONDUTTORI METALLI Ag Cu Au Al W Ni Fe Sn Pb As Sb Hg Nichrome C Te Ge Si B Se P SiN SiO2 S paraffina PET teflon Resistivity [mWcm] Resistività elettrica D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 18 Spiegazione • La variazione di 32 ordini di grandezza tra i vari materiali è spiegata dalle diverse densità di portatori, infatti =(qnmn)-1: – Portatore = una particella (o quasi-particella) dotata di carica (elettrone negativo o lacuna positiva) che può muoversi sotto l’effetto di un campo elettrico e generare una corrente – Metalli: abbondanza di portatori disponibili – Semiconduttori: pochi (controllabili) portatori – Isolanti: praticamente nessun portatore • La disponibilità di portatori dipende dalle proprietà di legame del solido, dalle impurezze e dalle condizioni (temperatura, campo elettrico) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 19 Tavola periodica http://facstaff.gpc.edu/~pgore/PhysicalScience/Periodic-table.html • Numero di elettroni nella shell esterna controlla il carattere del materiale comportamento conduttivo o isolante a seconda di come gli elettroni sono condivisi nello stato solido D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 20 Applicazioni • Metalli = interconnessioni, elettrodi in condensatori (metal gate), induttori • Isolanti = separazione tra connessioni e dielettrici in capacità (isolante di gate in MOSFET) • Semiconduttori = materiali attivi • L’interesse nei semiconduttori va aldilà della resistività intermedia (semplice applicazione come resistore), e precisamente nella sua capacità di cambiare, ad esempio con: – Il drogaggio – L’inversione D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 21 Drogaggio nei semiconduttori Il diodo e il transistore a giunzione bipolare (BJT) sono basati sul drogaggio alternato di semiconduttori D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 22 ID [mA] Inversione in semiconduttori Una regione di silicio p può diventare di tipo n mediante l’applicazione di un campo verticale effetto del transistore MOS Applicazione = switch (digitale) o generatore di corrente comandato da tensione (analogico) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 23 Outline • Informazioni sul corso • Introduzione all’elettronica dello stato solido • Breve storia della microelettronica • Conclusioni D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 24 1947: il primo transistor • Dicembre 1947: Shockley, Brattain e Bardeen sviluppano un transistor a contatto di punto usando Ge • Il transistor mostra per la prima volta amplificazione analogica D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 25 1958: primo circuito integrato (IC) • 1958: J. Kilby (Texas Instruments) inventa una tecnica per integrare tutti i dispositivi (transistor, R, C) in un solo cristallo di Ge • Più tardi R. Noyce (Fairchild) migliora l’idea integrando anche le interconnessioni, preparando la strada per la tecnologia di circuiti integrati ad alta densità (ultra-largescale integration, ULSI) • 2000: Premio Nobel a Kilby per la sua invenzione D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 26 1965: legge di Moore • Dopo appena 4 anni dal primo IC commerciale, Moore osserva che il numero di transistori integrati raddoppia ogni 18 mesi D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 27 Scaling • 1971: C1103 1kb DRAM (Intel) costava 20$ • 2014: 4GB SDRAM costa 20$ (sarebbe costata 600 M$ nel 1971) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 28 Legge di Moore An Osborne Executive portable computer, from 1982, and an iPhone, released 2007 (iPhone 3G in picture). The Executive weighs 100 times as much, has nearly 500 times the volume, cost 10 times as much, and has a 100th the clock frequency of the iPhone D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 29 MPUs dal 1970 al 2008 N raddoppia ogni 18 mesi N raddoppia ogni 24 mesi D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 30 Limiti della legge di Moore a = 0.54 nm D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 31 Single-atom transistor D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 32 Scaling = materiali e design III-V semiconductors Tunnel FET 2D semiconductors D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 33 Strategie more-Moore (1) New materials (2) New architectures D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 34 Off-state power Scaling T. Sakurai, ISSCC 2003 A. Ionescu, 2011 • Dynamic power Pon = fCVDD2 need for VDD scaling, but reducing VDD causes an increase of Ioff • Two approaches to reduce OFF-leakage power: – Steep subthreshold (TFET, IMOS, NEMS, NGFET) – Normally-off logic through NVM (spintronic, memristor) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 35 Oltre la legge di Moore MEMS RF CMOS Image sensors III-V semiconductors Tunnel FET 2D semiconductors Spintronics Quantum computing D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 Memristor 36 Beyond CMOS: il memristor VA IC = 9 mA TiN Ti HfO2 Set TiN Reset VA > 0 VA Set VA < 0 Reset D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 37 Beyond CMOS: il memristor D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 38 Scaling del memristor d = 0.26 nm F = 10d = 2.6 nm V. V. Zhirnov, et al., Nanotech. 22 (2011) J. Park, et al., IEDM Tech. Dig. 63 (2011) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 39 Calcolo neuromorfico • Neuromorphic architectures aim at replicating cognitive behaviors (learning, recognition, decision making) • Density in the human cortex – Cells = 107 cm-2 – Synapses = 1011 cm-2 (104 average connectivity) In vivo In silico Neuron CMOS Axons/dendrites Interconnect Synapses RRAM/memristors D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 40 Spike-timing dependent plasticity (STDP) VTE Fire gate VCG Communication gate G.-Q. Bi and M.-M. Poo, J. Neuroscience 18, 1998 VFG BE S. Ambrogio, et al., IEEE Trans. Electron Devices (2016) D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 41 Neuromorphic networks: a 2-layer perceptron PRE Pattern 1st layer = N neurons 1 2 3 … 2nd layer = 1 neuron 42 N POST 1 Learning of handwritten digits (MNIST database) was simulated with a 2-layer network (N = 28x28) Post-Si computing – 6 On-line learning and update S. Ambrogio, et al., IEEE Trans. Electron Devices 63, 1508 (2016) 43 Post-Si computing – 6 Multiple learning neurons Pattern PRE 1 …… First layer N neurons 2 …… 3 …… … … … … N …… POST 1 Second layer M neurons 44 Post-Si computing – 6 2 M Learning multiple digits 45 Post-Si computing – 6 ‘What I cannot create, I do not understand’ Synapses POST neurons PRE neurons Arduino mC 46 Post-Si computing – 6 Pattern learning from HRS synapses Input VTH Weights 47 Post-Si computing – 6 Pattern learning from LRS synapses Input VTH Weights 48 Post-Si computing – 6 Learning of 3 sequential patterns 49 Post-Si computing – 6 Multiple-pattern learning and tracking 50 Post-Si computing – 6 Conclusioni • I dispositivi elettronici richiedono la presenza di diversi materiali con diverse funzioni, i semiconduttori a giocare il ruolo di materiali attivi • Per capire le proprietà uniche dei semiconduttori, i fondamenti della fisica quantistica e dello stato solido sono necessari • La crescita esponenziale prevista da Moore non continuerà per sempre. Servono innovazioni di fisica/materiali/architetture ruolo abilitante dell’elettronica dello stato solido D. Ielmini – Elettronica dello Stato Solido 01 51