Dinamica dei portatori Dinamica sotto un campo esterno Gradienti di concentrazione Ricombinazione di coppie Eccitazione di coppie In un semiconduttore perfetto gli elettroni si muovono attraverso il potenziale periodico senza scattering. Ma imperfezioni e impurezze possono essere causa di scattering. In ogni urto il portatore perde memoria dello stato precedente all’urto e quindi riparte con un k qualsiasi Il tempo medio tra due urti è tsc In approssimazione quadratica per E dk = Fext dt 1 k v = k E k * m Impurezze → droganti (p n) o inintenzionali Fononi → vibrazioni reticolari Leghe → Fluttuazioni nel potenziale Rugosità di superficie LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Eq del moto → Interfacce Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 1 Scattering rate I diversi processi di scattering sono scorrelati tra loro. Il rate totale è la somma dei rate dei singoli processi Impurezze → droganti o inintenzionali RTot = Ri Fononi → vibrazioni reticolari 1 1 = i τ sc i τ sc Leghe → Fluttuazioni nel potenziale Rugosità di superficie → Interfacce Lo scattering dovuto alle impurenze diminuisce con la temperatura Quando un cristallo è soggetto ad un campo elettrico le Lo scattering dovuto al reticolo aumenta cariche si muovono nella direzione del campo (gli elettroni con la temperatura nella direzione opposta). Se ci sono stati a k superiore la distribuzione si sposta nel verso del campo. Ma, a causa dello scattering, si ha una velocità di drift vd costante nella direzione del campo Il trattamento completo del problema richiede di risolvere una eq. differenziale per la funzione di distribuzione per gli elettroni. Eq. del trasporto di Boltzmann LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 2 Relazione velocità - campo Risposta a campo debole Elettroni indipendenti Scattering da varie sorgenti con tempo medio tra due collisioni tsc Tra due collisioni l'elettrone si muove in accordo all'eq dell'elettrone Dopo ogni collisione l'elettrone perde tutta l'energia in eccesso → il gas di elettroni è in equilibrio termico. La velocità è quindi nulla. Nel tempo tsc l'elettrone guadagna velocità fino a eFτ sc vd = m* eτ sc μ= * m ne 2 τ sc J = nevd = F * m ne τ sc m* 2 Per elettroni e buche σ = LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 libero Mobilità (cm2/Vs) Elettr Buche C 800 1200 Ge 3900 1900 Si 1500 450 GaAs 8500 400 InAs 33000 460 Forte dipendenza da massa efficace (anche attraverso t) Nei semicond drogati t diminuisce → anche m Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 3 Hall Effect Un metodo per misurare la densità di portatori (oltre che determinarne il segno) è fornito dall’effetto Hall All’equilibrio abbiamo che: qE y qv x Bz q Jp qp Bz 1 Ey Bz J p qp Il segno del campo trasversale mi dà il segno dei portatori, le intensità dei campi applicati e misurati la densità di portatori LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 4 Relazione velocità - campo Risposta a campo forte (F ~ 1 ÷100 kV/cm) E' il caso di molti Rate di scattering dispositivi (FET) molto aumentato. tsc e m diminuiscono La risposta dei portatori è rappresentata da una relazione velocità - campo Si E0V/cm e 7x103 2 h 2x104 1 v A forti campi la velocità satura ad un valore di vs~107cm/s LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 vs E0 1 E Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 1 5 Fenomeni di “rottura” (breakdown) Per campi elettrici estremamente alti (≥ 100 kV/cm) Avvengono fenomeni di “rottura” in cui la corrente produce una “scarica” Questo avviene per moltiplicazione dei portatori; il numero di portatori aumenta progressivamente. Un elettrone “caldo” ovvero con energia molto alta in banda di conduzione interagisce con un elettrone in banda di valenza cedendogli energia e portandolo in banda di conduzione. Il bilancio è che da un unico portatore in banda di conduzione si termina con due elettroni in banda di conduzione ed una buca in valenza (Valanga) dI z = αimp I dz Rate di impatto di portatori Dipende fortemente dalla gap (minima energia necessaria) LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Si definisce campo critico di rottura il valore per cui il rate è 1 mm-1 Bandgap (eV) Campo critico SiO2 9 107 C 5.5 107 GaAs 1.43 4x105 Si 1.1 3x105 Ge 0.664 105 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 6 Tunnel banda-banda. Zener L'elettrone vede una barriera di potenziale triangolare alta Eg e larga d=Eg/eF La probabilità di tunneling (per E=0) attraverso uno spessore dx è data dal quadrato della funzione d’onda Trascurando le riflessioni e considerando la sequenza di barriere di spessore dx e altezza decrescente ( x dx) Ae x x dx ( x)e x dx x = 2m 2m E eFx = Eg 1 x / d g 2 2 * * 2 d T= 2 0 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 x dx T = e 0 d =e 4 3 2 m*E 1 g 2 2 Eg eF Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 7 Trasporto per diffusione di portatori Gradiente di concentrazione di particelle → diffusione da zona a maggiore concentrazione a quella di minore. Moto casuale delle particelle In tale moto sono soggette a processi di collisione Cammino libero medio l, tempo medio di collisione tsc Sia n(x,t) il profilo di concentrazione dnx,t di elettroni nx0 l nx0 + l = 2l f(x,t) il flusso di elettroni attraverso dx un piano x=x0 nx0 l nx0 + l lA l2 nx,t = = 2τ sc A LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 dnx,t dnx,t = Dn τ sc dx dx px,t = dpx,t = Dp dx Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 8 Trasporto per diffusione di portatori Dn coeff di diffusione → dipende da l , tsc ma anche, indirettamente, da T. l = vth T τ sc T In media vettorialmente nulla ma in modulo non nulla. Con la diffusione avviene anche trasporto di corrente J tot diff = J n diff + J p diff = d d = eDn nx,t eD p px,t dx dx NB: il diverso segno dei due termini LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 9 Trasporto di portatori Le cariche si muovono per l'effetto combinato di diffusione e campo esterno. d J n x = eμn n x F x + eDn n x,t dx d J p x = eμ p p x F x eD p p x,t dx All'equilibrio le due correnti totali devono essere individualmente nulle. F x = Dn 1 dnx μn nx dx Possiamo esprimere n(x) in funzione m di EF(x) Dn Dp n E −2/s) E ( x) @RT (cm2/s) −(cm 2/Vs) (cm ( ) k T n ( x )= ni e Ge 100 dE F dn( x) n(50 x) dE Fi 3900 mp (cm2/Vs) Si 480 Fi F B 1 1 dEFi F x = U x = e e dx Dn k BT = μn e 35dx GaAs 220 Relazione di Einstein LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 = ( − + k B12.5 T dx 1350 dx 10 8500 ) =0 1900 400 k BT mm 2 m Dn = v t v m mvth t sc e e e l2 2 th sc 2 th Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 10 Iniezione di carica - Livelli quasi-Fermi In condizioni di equilibrio abbiamo una funzione di distribuzione di elettroni (Fermi) tra i vari livelli permessi. Non c'è flusso netto di energia esterna né di particelle. Ma, ad esempio, fotoni possono rilasciare energia o una batteria cariche. Dobbiamo trovare il modo di rappresentare questi fenomeni. Anche se non in equilibrio complessivo, possiamo assumere che separatamente in banda di conduzione e di valenza ci sia una certa forma di equilibrio. Quasi-equilibrio Definiamo una funzione di Fermi per elettroni (conduzione) ed una per buche (valenza) con differenti EF . EFn Ec k BT n = NC e LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 EFp Ev k T B p = Nve Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 11 Generazione e ricombinazione di portatore In condizioni di equilibrio termico, alcuni elettroni vengono eccitati (generazione termica) Gth in banda di conduzione mentre altrettanti si rilassano (ricombinazione) Rth in banda di valenza. Il rate di ricombinazione sarà proporzionale al numero di elettroni e di buche disponibili All’equilibrio Gth=Rth=bn0p0 Altri meccanismi di generazione (ottica) e di ricombinazione (sia ottica che con difetti) sono possibili e importanti. LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 12 Generazione e ricombinazione ottica di portatori Assorbimento ed emissione di luce Transizioni banda-banda. – Conservazione dell'energia ~ 0.5 ÷ 5 eV – Conservazione del momento ~ 2.5x10-4 ÷ 2.5x10-3 Å-1 (~ 10 Å-1 ) → transizioni verticali • • TRANSIZIONE DIRETTA fotone ↔ elettrone eccitato TRANSIZIONE INDIRETTA fotone ↔ elettrone eccitato + fonone I z = I 0e αz 2 = c LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 E x, t = E0e n~r nr i n~r = nr i n~r i x t c E0e n i r x t c c e Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 13 Generazione e ricombinazione di portatori Se non c'è assorbimento l'onda si propaga senza attenuazione con velocità c/nr Se c'è assorbimento l'intensità, energia per unità di area nell’unità di tempo ovvero flusso di fotoni , decade come I z = I 0e αz In funzione della densità di potenza ottica che cade sul semiconduttore, ~ Pop il flusso di fotoni è Φ = ~ ω α Pop Gth=Rth=bn0p0 Il rate di generazione ottica GL è allora GL = α Φ = ω G GL Gth n p R b nn pn b nn 0 p pn 0 p Il rate netto per i portatori minoritari dp (in un semicond drogato n) è allora dpn p nn 0 pn 0 , p G R GL b nn 0 pn 0 p p GL dt 1 bnn 0 δp Gap diretta tr ~ 1 ns, Gap indiretta tr ~ 1÷0,1 ms R= r τp LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 14 Ricombinazione nonradiativa Impurezze e difetti creano livelli nella gap tra le bande Trappole profonde Portatori possono essere intrappolati se passano entro un'area s dal difetto Sezione d'urto di cattura Così può avvenire ricombinazione nonradiativa in competizione con quella radiativa. La probabilità di incontrare una trappola è 1 r= = N t σvth τ nr (numero trap/unità di tempo) Shockley-Read-Hall Nell'assunzione: n n0 dn Livelli di trappola a mezza gap p p0 dp Condizione di iniezione di portatori np>>ni2 np ni2 n0dp p0dn dndp RR = τ nr n ni + p pi τ nr n + p La sezione d'urto tipica è dell'ordine s ~ 10-13 ÷ 10-15 cm2 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 RR n0 dn, p dp τp 3 ÷ 30 Å Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 15 Equazione di continuità Nel trattare il processo di trasporto di carica occorre tenere conto dei processi di ricombinazione e generazione Il bilancio dei processi deve portare alla conservazione delle particelle. In un volume fissato, il rate di flusso di particelle è determinato da flusso dovuto alla corrente, la perdita di particelle per ricombinazione ed il guadagno da generazione. Il rate di ricombinazione nel volume A dx Il rate di flusso di corrente Jn R= δn Adx τn 1 J n x J n x J n x + dx A dxA e e e x Il rate di generazione GAdx 1 J n x δn δn = +G t e x τn 1 J p x δp δp = +G t e x τp LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Eq. continuità Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 16 Trasporto per diffusione 1 J n x δn δn = +G t e x τn 1 J p x δp δp = +G t e x τp Consideriamo solo processi di diffusione in assenza di generazione. (e.g. diodo p-n) 2 δn δn = Dn 2 δn t x τn J n diff = eDn δn x J p diff = eD p δp x 2 δp δp = D p 2 δp t x τp Il profilo di carica in un diodo p-n in stato stazionario 2 δn δn δn = = x 2 Dn τ n L2n δp δp δp = = 2 2 x Dp τ p Lp 2 LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 Ln2=Dn tn Lunghezza di diffusione Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 17 Trasporto per diffusione con iniezione esterna In x=0 iniettiamo una densità di elettroni in eccesso dn(0) δn δn δn = = x 2 Dn τ n L2n 2 A x=L la densità sia dn(L) 2 δp δp δp = = 2 2 x Dp τ p Lp δn x = A1e x / Ln + A2 e δn 0 = A1 + A2 δn L = A1e A1 = x / Ln A2 = = δn 0 e L x / Ln e L x / Ln e L >>Ln ; dn(L)=0 δnx = δn0e x / Ln L / Ln + δnL e e x / Ln e x / Ln L / Ln L / Ln + A2e δn L δn 0 e e L / Ln e L / Ln L / Ln δn L + δn 0 e e L / Ln L / Ln e L / Ln L / Ln L<< Ln Sviluppiamo al primo ordine L x L x + δn L 1+ x 1+ x δn 0 1+ 1+ L Ln Ln Ln n δn x = 1+ L / Ln 1 L / Ln δn x = δn 0 Ln distanza media percorsa da un elettrone prima di ricombinarsi LM Sci&Tecn dei Materiali A.A.2014/15 δn 0 δn L x L Fisica dei Dispositivi a Stato Solido - F. De Matteis 18