Isolanti , Semiconduttri e Metalli I materiali per applicazioni elettriche/elettroniche sono generalmente classificati rispetto al valore della loro resistività ρ [Ω⋅cm] (o conducibilità σ [S/cm] ): Materiale Resistività (Ω⋅cm) Isolanti 105 < ρ Semiconduttori 105 < ρ < 10−3 Conduttori ρ <10−3 La resistività o la conducibilità sono parametri che descrivono globalmente le caratteristiche del processo di conduzione elettrica del materiale considerato. La resistenza (R) di un determinato materiale può essere espressa come: L dV R = ρ⋅ S ; R= dI ; Dove ρ è la resistività, L è la lunghezza del materiale ed S è la sua sezione. La Banda Proibita (Energy Gap) Consideriamo, ad esempio, la configurazione elettronica del silicio: 1s2 2s2 2p6 3s2 3p2 Che dispone di 14 elettroni di cui 8 formano l’ottetto fondamentale. a/2 ( 2.71 Å ) a ( 5.43 Å ) 8 atomi ≈ 5⋅1022 [atomi/cm3] Configurazione degli stati di energia per il C, Si, Ge relativamente ai 4 elettroni di valenza in funzione della spaziatura interatomica. Atomi isolati 0 elettroni (a T=0 K) 4N stati banda di conduzione Energia E 2N elettroni (p) 6N stati EG 4N elettroni 4N stati banda di valenza 2N elettroni (s) 2N stati Livelli energetici delle cortecce più interne dell’atomo d0 d metallo isolante semiconduttore Ogni materiale può essere classificato in una delle 3 categorie seguenti sulla base della disposizione dei livelli EC, EV Banda di conduzione EC elettroni ≈ 9eV per SiO 2 EG EG EC EV EV EF (livello di Fermi) EC EV lacune Banda di valenza isolante semiconduttore metallo La Funzione di Fermi-Dirac La funzione di distribuzione di Fermi-Dirac f(E) indica la probabilità che un elettrone occupi un certo stato elettronico avente energia E. 1 f (E) = 1+ e k=costante di Boltzmann [eV/K] (E - E F ) k ⋅T T=temperatura assoluta in [K] E=livello di Fermi [eV] f (E) 1 0K 300 K 0.5 200 K 0 E EF E E E Banda di Conduzione EC ----- EF EV +++++ Banda di Valenza 0 0.5 1 f(E) EV ∞ nC = ∫ f (E) ⋅ N(E)dE E =EC ρ(E) N(E) ; nV = ∫ f (E) ⋅ N(E)dE E =0 ; Semiconduttori La maggior parte dei dispositivi elettronici sfrutta le proprietà delle giunzioni o tra materiali semiconduttori differenti, oppure tra metallo e semiconduttore. Lo studio di tali dispositivi richiede perciò la conoscenza delle proprietà chimiche, fisiche , termiche ed elettriche dei diversi tipi di semiconduttori. La moderna tecnologia elettronica utilizza un numero di materiali semiconduttori “semplici”, cioè costituiti da un’unica specie atomica, e/o “composti “ cioè costituiti da più specie atomiche. Semiconduttori utilizati: Si, Ge, GaAs, InP, SiGe, AlGaAs. Elementi tetravalenti (4 elettroni di valenza) Se non sono introdotte impurezze si parla di Semiconduttori Intrinseci Se sono introdotte impurezze (atomi pentaventi o trivalenti) si parla di Semiconduttori estrinseci +4 +4 ATOMI DI SILICIO LEGAMI COVALENTI +4 +4 4 atomi di silicio (C, Ge) ed i corrispondenti 4 legami covalenti I semicondutori sono caratterizzati da una banda di energia proibita (energy gap), espressa in eV e per i tre materiali più studiati si hanno i seguenti valori: Ge: 0,7 eV Si: 1,12 eV GaAs: 1,43 eV Evuoto Affinità Elettronica q·χ q·φS Econduzione Energy gap EF Evalenza La banda di energia proibita è posizionata sotto il livello di vuoto. q·φS è chiamata Funzione lavoro Doping Introducendo in un semiconduttore intrinseco quantità anche piccole di impurezze, se ne cambiano in modo radicale le caratteristiche, a cominciare da quelle di conduzione. Aggiungendo atomi di tipo pentavalente (P, As, Sb) alcuni atomi del reticolo sono sostituiti dalla nuova specie atomica che satura i quattro legami covalenti dell’atomo sostituito, ma ha ancora un quinto elettrone a disposizione. Tale elettrone risulta poco legato al reticolo e può facilmente “liberarsi ” per effetto della temperatura e partecipare al processo di conduzione. Se gli atomi droganti aumentano il numero di elettroni liberi si definiscono donori. 45 meV Donori In termini di bande di energia l’introduzione dei donori corrisponde ad inserire all’interno dell’energy gap, un livello vicino alla banda di conduzione dal quale gli elettroni possono facilmente “saltare” nella banda di conduzione stessa e partecipare ai processi di conduzione elettrica del cristallo ospite, in tale situazione si parla di drogaggio di tipo n L’aggiunta al semiconduttore intriseco tetravalente di impurezze di tipo trivalente (B, In, Al), produce la sostituzione nel reticolo del cristallo ospite di alcuni atomi con quelli della nuova specie atomica che non è in grado però di saturare tutti e quattro i legami covalenti disponibili. Si vengono a creare così dei legami covalenti non saturati “lacune”. Il meccanismo con cui le lacune migrano è il seguente: un elettrone può abbandonare il legame covalente e occupare la lacuna di un atomo vicino generando in tal modo una lacuna nell’atomo di origine. Il risultato è una lacuna che si muove in verso opposto all’elettrone che salta da un legame all’altro. Se gli atomi droganti aumentano il numero di lacune libere si definiscono Accettori. 45 meV accettori In termini di bande di energia l’introduzione degli accettori corrisponde ad inserire all’interno dell’energy gap, un livello vicino alla banda di valenza dal quale gli elettroni possono facilmente “saltare” nella banda di valenza stessa e partecipare ai processi di conduzione elettrica del cristallo ospite, in tale situazione si parla di drogaggio di tipo p Legge dell’Azione di Massa Aggiungendo ad un semiconduttore intrinseco impurezze di tipo “n” si facilita la ricombinazione delle lacune generate termicamente, diminuendone il numero. Lo stesso vale per gli elettroni se si introducono impurezze di tipo “p”. Si dimostra che in un semiconduttore drogato, in condizioni di equilibrio termico, il prodotto tra la concentrazione di elettroni e la concentrazione di lacune, (in assenza di tensione applicata) è una costante. n ⋅ p = n i2 = concentrazione intrinseca Per il Si (300 K) [email protected] 1020 cm-6 Densità di Carica in un Semiconduttore Per un semiconduttore sia drogato di tipo p che di tipo n vale la seguente relazione detta anche della neutralità della carica: N A + n = ND + p Se il semiconduttore è drogato con una concentrazione di atomi donori pari a ND [atomi/cm3] . Risulta: nn = ND + ni nn ≈ ND Portatori di maggioranza Applicando la legge dell’azione di massa: ND ⋅ pn ≈ n 2 i n i2 ⇒ pn ≈ ND Portatori di minoranza In modo analogo se il semiconduttore è drogato con una concentrazione di atomi accettori pari a NA [atomi/cm3] . Risulta: pp = NA + ni pp ≈ NA n i2 np ≈ NA Portatori di maggioranza Portatori di minoranza E E E Banda di Conduzione EC EF EV ------+ + + Banda di Valenza 0 0.5 1 f(E) E EC EF EV ρ(E) N(E) E E Banda di Conduzione - - - +++++++ Banda di Valenza 0 0.5 1 f(E) N(E) ρ(E) Modello a Dualità di Carica •Dato un semiconduttore sottoposto ad una d.d.p., la corrente I misurata è dovuta sia ad un flusso di cariche positive che procedono con velocità di trasporto up diretta nel verso del campo elettrico, sia ad un flusso di cariche negative che procedono con velocità un diretta in verso opposto. •Le velocità sono da intendersi velocità medie. •Le cariche negative (elettroni) viaggiano con energie tipiche della banda di conduzione; le cariche positive (lacune) viaggiano con energie tipiche della banda di valenza. J E up un Quindi, dato un campo elettrico Ē, le ūp ed ūn per quanto riguarda i versi sono quelle disegnate in figura 1, essendo la forza pari a: F = q⋅E Mobilità In un conduttore gli elettroni si muovono in modo casuale. La direzione del loro moto varia ad ogni collisione con gli ioni del reticolo cristallino.(La distanza media percorsa tra due urti successivi è denominata libero cammino medio). Il moto casuale degli elettroni determina mediamente una corrente nulla . Applicando a un conduttore un campo elettrico Ē [V/cm]. la situazione varia: si ottiene una corrente di drift non nulla. In modo sperimentale può essere rilevata la relazione tra campo elettrico Ē e la velocità media degli elettroni ū [m/s]. µ = mobilità u = µ⋅E Densità di Corrente di drift in un Conduttore I A = d*w N = Elettroni nella barra d L = Lunghezza del conduttore w L T = tempo necessario ad un elettrone a percorrere il conduttore N/T = numero di elettroni che attraversa la sezione S nell’unità di tempo N u⋅N ) = (q ⋅ ) T L I u⋅N J = = q⋅ = q⋅n ⋅u = ρ⋅u A L⋅A I = -(-q ⋅ Dove : J [A/m2] è la densità di corrente. ρ [Q/cm3] è la densità di carica Densità di Corrente in un Semiconduttore La densità di corrente J [A/m2] può essere espressa come: J = ρm ⋅ u -ρm è la densità di carica [Q/cm3], u è la velocità [m/s], σ è la conducibilità ed Ε il campo elettrico [V/cm]. Indicando con p la concentrazione di carica positiva [cm-3] e con n la concentrazione di carica negativa [cm-3], si ha: (per le lacune) ρm = q ⋅ p (per gli elettroni) ρm = q ⋅ n J p = +q ⋅ p ⋅ u p J p = +q ⋅ p ⋅ u p ⋅ J n = −q ⋅ n ⋅ u n E E J n = −q ⋅ n ⋅ u n ⋅ E E considerando : − un up u n = −µ n ⋅ E ⇒ µ n = E E µp positivo ūp medesima direzione e medesimo verso di Ē Î u p = µp ⋅ E ⇒ µp = ūn medesima direzione e verso opposto di Ē Jp = q ⋅ p ⋅ µp ⋅ E µn positivo Î Jn = q ⋅ n ⋅ µn ⋅ E Si definiscono : σp = q ⋅ p ⋅ µp conducibilità delle σn = q ⋅ n ⋅ µn lacune conducibilità degli elettroni Si può anche definire una conducibilità totale: σ tot = q ⋅ (p ⋅ µ p + n ⋅ µ n ) Si può esplicitare la densità di corrente J come: J = σ tot ⋅ E La conducibilità (σ) dipende dal numero di elettroni in banda di conduzione e dalle lacune in banda di valenza Il numero di elettroni in banda di conduzione dipende da Eg e T ma anche dall’energia assorbita dal materiale (termica, radiazione,….) - Nei semiconduttori in generale σ aumenta con la T. - Nei metalli, assunto in prima approssimazione R=R0(1+α T), σ cresce al diminuire della T. Aspetti Fenomenologici nei Semiconduttori Se si considera una barra di semiconduttore a cui venga applicata una d.d.p., la distribuzione di tale potenziale risulta lineare e come consegunza la densità di carica risulta nulla, cioè la densità delle cariche mobili è bilanciata da quelle fisse. Infatti dall’Equazione di Poisson ρ ∇ V=− ε0 ⋅ εV 2 Risulta che, se V ha andamento lineare lungo la barra, allora: ρ ≡ 0. Diffusione •L’effetto diffusivo, in assenza di forze che lo contrastino, produce un flusso di particelle in direzione ortogonale alla superficie di eguale concentrazione delle particelle stesse. •Tale flusso procede dalle alte alle basse concentrazioni e con intensità legata al livello del gradiente. •Indicando con φp e con φn le densità di flusso rispettivamente di lacune e di elettroni si può scrivere che: φ p = −D p ⋅ grad (p) L2p Coefficienti di D p = τp diffusione Ln e Lp τn e τp [D ] p φ n = − D n ⋅ grad (n) L2n Dn = τn lunghezze medie di diffusione. tempi medi tra urti per elettroni e lacune cm 2 = [D n ] = sec Legame tra coefficienti di diffusione e mobilità relazione di Einstein Dp = K⋅T µp q Dn = K⋅T µn q Valori 300°Kdel delcoefficiente coefficientedi didiffusione diffusioneper perelettroni elettroniee Valoritipici tipiciper perTT==300°K lacune Sieedel delGe Ge lacunedel delSi DDn == n DDp == p 2 35 35 cm cm2/sec(Si) /sec(Si) 22/sec(Si) 13 cm 13 cm /sec(Si) 2 DDn == 100 100 cm cm2/sec(Ge) /sec(Ge) n 22/sec(Ge) DDp == 50 cm 50 cm /sec(Ge) p T è la temperatura assoluta e K è la costante di Boltzman (1,35⋅10-23 [J/h]). Inoltre valgono le seguenti relazioni: Dp µp = Dn T = VT = µn 11.600 Volt Corrente di diffusione: Moltiplicando i flussi φn e φp per la carica degli elettroni e delle lacune si ottengono le densità di corrente Jn e Jp: J p = −q ⋅ D p ⋅ grad (p ) J n = q ⋅ D n ⋅ grad (n ) Assumendo il gradiente nullo nelle direzione degli assi y e z si potrà scrivere: J p = −q ⋅ D p ⋅ p d p(x) dx Jn = q ⋅ Dn ⋅ n Jp , φp d n (x) dx φn Jn φp , φn Jp Jn x x Equazioni del Trasporto • Gli effetti elettrico e diffusivo coesistono in un semiconduttore. • La legge che descrive il movimento delle cariche è la combinazione dei due termini, uno di drift, dipendente dal campo, l’altro di diffusione , dipendente dal gradiente di concentrazione. d p(x ) J q p E q D = ⋅ ⋅ µ ⋅ − ⋅ ⋅ p p p dx d n (x ) J q n E q D = ⋅ ⋅ µ ⋅ + ⋅ ⋅ n n n dx DRIFT J tot = J p + J n DIFFUSIONE Legge di Boltzmann • Si considera il caso di un semiconduttore in lui la concentrazione delle lacune varia con x: I drift = I diffusione ; p1 D h = µ h ⋅ VT KT VT = = 25mV / 300K q p ⋅ q ⋅ µh p2 x1 µ dp dp dV dV = −q ⋅ D h = − h dV = − ; ⇒ dx dx p Dh VT p2 dp 1 V2 ∫ =− ∫ dV p V p1 T V1 V21 = VT ⋅ log p1 = p 2 ⋅ e V21 VT p1 p2 da cui si ottiene : Relazione di Boltzmann in modo analogo per gli elettroni si ottiene : n1 = n 2 ⋅ e − V21 VT x2 Equazione di Continuità Bilancio di conservazione dei portatori di carica. Si consideri un volume V, delimitato dalla superficie S, contenente lacune con densità p. Il numero totale di lacune P nel volume dato può essere espresso come segue: P = ∫ p ⋅ dV V V Dove p è la densità di lacune. S La variazione di P nel tempo è data da: dP d = ∫ p ⋅ dV dt dt V Tale variazione può essere dovuta ad un flusso uscente o entrante, di cariche più una variazione, nel processo di generazione-ricombinazione. Sia allora: G = n° di coppie generate nell’unità di volume e nell’unità di tempo R = n° di coppie che si ricombinano nell’unità di volume e nell’unità di tempo ā = versore normale ad S allora si può scrivere: d ∫ p ⋅ dV = ∫ (G − R ) ⋅ dV − ∫ φ p • a ⋅ dS dt V V S d 1 ( ) p ⋅ dV + R − G ⋅ dV = − ∫ ∫ ∫ div(J p ) ⋅ dV dt q V V V d p 1 + ( R − G ) + ⋅ div(J p ) ⋅ dV = 0 q V dt ∫ dove φp = J p q dp 1 + ( R − G ) + ⋅ div(J p ) = 0 dt q Ora si ponga: Quindi: G = G th + G ′ Gth coppie generate per effetto termico. G’ coppie generate per altri effetti. R − G = R − G th − G ′ Ponendo inoltre: U = R − G th Si ottiene: Quindi: U Variazione della concentrazione delle coppie non considerando l’effetto termico R − G = U − G′ 1 ∂p + + ⋅ div (J p ) = G ′ U ∂t q ∂n 1 + U − ⋅ div(J n ) = G ′ ∂t q Che esprimono la condizione di continuità nell’ipotesi considerate. Moltiplicando per q l’equazione relativa alle lacune, per –q l’equazione relativa agli elettroni e sommando le due equazioni ottenute si ottiene: ∂ρ + div (J ) = 0 ∂t dove : ρ = q⋅ p + (− q) ⋅ n = densità di carica Gradiente del Potenziale Considerando la differenza di potenziale tra due punti distanti dl d V = −E • d l = − E • (d x ⋅ x 0 + d y ⋅ y 0 + d z ⋅ z 0 ) = − (E x ⋅ d x + E y ⋅ d y + E z ⋅ d z) V è funzione di x, y, z per cui il differenziale totale risulta: z dx dz dV= dl dy x Confrontando le due espressioni: Ex = - y ∂Vy ∂Vx ∂V ⋅d x + ⋅d y+ z ⋅d z ∂x ∂y ∂z ∂Vx ; ∂x Ey = − ∂Vy ∂y ; Ez = − ∂Vz ∂z ∂V ∂V ∂V ⋅ x0 + ⋅ y0 + ⋅ z 0 E = - ∂y ∂z ∂x Da cui si ottiene: E = - grad V Equazione di Poisson Considerando la permettività costante la legge di Gauss in forma differenziale è espressa dalla: ρ div E = ε0 ⋅ εr ρ = q ⋅ (N D − N A + p − n ) densità di carica totale Introducendo l’espressione del gradiente di potenziale nella legge di Gauss: ρ div(grad V) = − ε0 ⋅ εr ⇒ ∂ 2V ∂ 2V ∂ 2V ρ + + = − ε0 ⋅ εr ∂x 2 ∂y 2 ∂y 2 ⇒ ∇2V = − ρ ε Ricapitolazione Formiamo il quadro completo delle equazioni in grado di determinare il comportamento dei dispositivi, almeno fino a quando i campi elettrici consentono di restare in un sistema di riferimento governato dalla linearità. Trasporto: J p = q ⋅ p ⋅ µ p ⋅ E − q ⋅ D p ⋅ grad (p ) J n = q ⋅ n ⋅ µ n ⋅ E + q ⋅ D n ⋅ grad (n ) Continuità: 1 ∂p + + ⋅ div(J p ) = G ′ U ∂t q ∂n 1 + U − ⋅ div(J n ) = G ′ ∂t q Poisson: ∇2V = − ρ ε0 ⋅ εr Quasi stazionarietà: E = − grad (V ) Densità di carica totale ρ = q ⋅ (N D − N A + p − n )