SiGe-chip Circuiti integrati di front-end in Silicio-Germanio per esperimenti di fisica nucleare e subnucleare Tecnologia SiGe L’industria microelettronica si sta muovendo verso processi in Silicio (CMOS e BICMOS) con dispositivi a canale sempre piu’ corto. Anche per i circuiti elettronici sviluppati per esperimenti di Fisica e’ importante seguire questo trend: ¾ elevato numero di canali disponibili Æ maggiore integrazione ¾ migliori prestazioni circuitali Æ elevata velocità funzionale ¾ bassa dissipazione di potenza (per dispositivo!) ¾ ridotto livello di rumore ¾ migliore tolleranza alle radiazioni L’80% dei semiconduttori al mondo è Si-CMOS Esistono pero’ anche materiali alternativi “market-oriented (SiGe,Un GaAs, SOI, SOS …) statement” suggerisce: CMOS Æ “Balances needs and cost for high-volume/mature applications” SiGe BICMOS Æ “A solution for today’s most challenging Analog and Mixed Signal (AMS) applications” Tecnologia SiGe Le tecnologie SiGe BiCMOS sono: ¾ solitamente “derivate” da tecnologie CMOS - per applicazioni con frequenze di lavoro elevate (> 10 GHz) (RF Tuner, WLAN, mmWave, SONET ..) - condividono molti dei componenti di libreria - sono un po’ piu’ complesse (piu’ maschere, piu’ variabili di processo disponibili) ¾ “ottimizzate” per applicazioni analogiche a larga banda - i bipolari sono meno sensibili dei MOS alla “resistenza di substrato” per circuiti RF (Rsub ~ 40-80 Ω-cm) 2 - hanno capacita’ MIM di buona qualita’ (~ 4 fF/μm ) e di valore ~ doppio di quella di un processo CMOS - hanno una tensione di rottura relativamente alta (~ 6 Volt) essenziale in applicazioni in cui esiste una grande variazione nell’ampiezza dei segnali da amplificare Æ caso tipico dell’elettronica di front-end per rivelatori - esempi di utilizzo analogico: lo stadio di ingresso di amplificazione degli oscilloscopi a larga banda costruiti da Tektronix e da LeCroy sono realizzati in SiGe. Tecnologia SiGe I transistori bipolari ad eterogiunzione (HBT) inoltre: ¾ hanno una resistenza parassita di base (Rbb’) molto bassa - sono particolarmene adatti in progetti di elettronica a basso rumore ¾ hanno un rapporto gm/I piu’ alto dei transistori CMOS - cosi’ da permettere stadi di amplificazione con basso consumo di potenza ¾ in generale i bipolari sono rad-hard rispetto alla radiazione ionizzante - nessuna variazione in β almeno fino a dosi ~ 1 Mrad ¾ avendo un alto fT Æ sono anche “proton and neutron hard” - per fluenze di particelle ~ 1013 hit/cm2 La tecnologia BICMOS inoltre: ¾ per le applicazioni di fisica NON e’ necessario usare tecnologie “last generation deep sub-micron” - 0.35 – 0.25 mm sono adequate - i processi AMS, IHP e IBM sono disponibili via Europractice o Mosis ¾come tutte le tecnologie “CMOS based” e’ in grado di operare a temperature criogeniche - molti studi sono stati effettuati da J. Cressler (Georgia Tech) Attività ed esperienza del gruppo Test chip “PZ0”, INFN experiment MICRO-TEK JFET-CMOS preamp for Ge detectors AMS silicon CMOS 0.8µm CZX Tech VCC RF RD 2.5 V BF862 G CF Vout Cdet VD -3 V detector external components ASIC (CMOS 0.8µm 5V) new output stage (low impedance, large voltage swing) Microfotografia del chip bondato A = gm RD × G 2.5 V Gopen loop =~ 105 Gloop=~ 480 Output swing = 2.4V I2 T1 500 0.8 T2 Vint CM 50 0.8 T3 I1 300 0.8 -3 V Unity gain output stage Test chip “SR1”, INFN experiment MICRO-TEK CMOS fully differential preamp for Ge detectors AMS silicon CMOS 0.8µm CZX Tech 3.3 mm Output Line Driver Stage Preamplifier Input Stage Transmission line terminating preamplifier (Hybrid circuit adopted by ATLAS LAr) Un circuito innovativo con uno stadio di ingresso con transistori bipolari con emettitore a massa. Il “feedback locale” garantisce basso rumore (Rnoise = 10 Ω) e larga banda dinamica senza aumentare la potenza dissipata (50 mW) e senza deteriorare la linearita’. Tre differenti “tipi” (Zin e Imax) di ibrido variando tre componenti ma IDENTICO CIRCUITO With CD = 330 pF, and 16 nsec 50 Ω line <tpeak>= 47.2 ns, rms = 0.3 ns ENI= 49.3 nA, rms = 0.53 nA Output swing = 1 V Gruppo di Lavoro Alberto Pullia* Mauro Citterio Stefano Riboldi Valentina Conti (50%), (40%), (30%), (50%) (Dottoranda). * Responsabile TOTALE FTE: 1.7 .... Speriamo che altre persone vogliano unirsi a questo progetto! Supporto tecnico richiesto al Servizio di Elettronica: ~ 6 mesi uomo Il progetto Obbiettivi: 1 anno: Valutazione di alcune tecnologie SiGe disponibili - caratterizzazione elettrica (statica e dinamica) di dispositivi “semplici” - progettazione di celle analogiche elementari - fabbricazione di un prototipo con le strutture progettate 2 anno: - se permesso dalla disponibilita’ dei dispositivi/celle e dai risultati di caratterizzazione ottenuti Æ test di irraggiamento dei prototipi con radiazione ionizzante e particelle cariche (SJ) Realizzazione di un preamplificatore a SiGe per rivelatori a semiconduttore con una tecnica di “fast-reset” usata come “dynamic-range booster” e in grado di operare in Argo/Azoto liquido 3 anno: Realizzazione di un stadio completo di front-end ad ampia banda (preamplificatore, formatore “programmabile” e T&H) per rivelatori a ionizzazione con elevato rate di segnali e resistente alle radiazioni. Budget 1 anno …. Le stime sono ancora suscettibili di aggiustamenti ….. PREVENTIVO (in K€) Capitolo Descrizione Parziali Richiesta SJ 2.00 interno Riunioni di coordinamento estero Misure di irraggiamnento con gamma/X (Pavia/Casaccia/Legnaro) Partecipazione a conferenza internazionale 4.00 Misure irraggiamento con protoni Uppsala/PSI/Lovanio Materiale consumo laboratorio Circuiti stampati e montaggi vari per test prototipi Sottomissione strutture di test (4 mm2 con 0.35 micron SiGe AMS, mini@sic Europractice) Sottomissione strutture di test (3 mm2 con 0.25 micron SiGe IHPS, mini@sic Europractice) 2.00 5.00 3.50 6.00 consumo Acquisto tempo fascio gamma/X o protoni Totale Richieste SJ 2.00 2.00 2.00 6.00 4.00 6.00 12.00 16.50 12.00 22.50 20.00 seminari trasporti pubblicazioni calcolo manutenzione inventario licenze-sw apparati Totale Budget anni seguenti II anno: I costi saranno principalmente quelli necessari alla realizzazione di un preamplificatore completo. In base alla tecnolgia scelta e’ ipotizzabile un badget ~ 20-30 Keuro. III anno: Prematuro nel dettaglio: presumibilmente, simile o leggermente superiore a quello del II anno per quanto riguarda la realizzazione del “canale di front-end” Inoltre per validare il canale finale in termini di resistenza alle radiazioni e’ ragionevole assumere dei test con fascio (test simili a quelli svolti sulle strutture prototipo nel primo anno).