Cap.9 - LA STATISTICA DEI PORTATORI NEI SEMICONDUTTORI Portatori di carica nei semiconduttori. Sia f o ( E,T ) la probabilità di occupazione degli stati di energia E, alla temperatura T; il numero di elettroni che potranno trovarsi negli stati compresi tra E ed E+dE sarà dato da dn=2 f o ( E,T ) N(E)dE, essendo N(E)dE il numero di stati per unità di volume del cristallo nell'intervallo dE. La concentrazione di elettroni in banda di conduzione sarà data da: ∞ n = n(T ) = 2 ∫ f o (E, T )N(E)dE = 2 ∫ f o ( E,T )N(E )dE ( E) (1) Ec La densità degli stati è intimamente legata alla forma delle superfici ad energia costante. Consideriamo due superfici isoenergetiche E ed E+dE nello spazio k. Se dτ K è l'elemento di volume nello spazio k racchiuso dalle due superfici, la dτ K /(8π3). Nel caso di superfici isoenergetiche sferiche r h2k 2 2 k=0, E ( k ) = E c + e dτ K = 4 πk dk per cui si trova * 2m densità degli stati è aventi il minimo a facilmente: ⎛ 2m * ⎞ 3/ 2 dτ K N( E)dE = = 2π ⎜ 2 ⎟ (E − E c )1/2 dE 3 8π ⎝ h ⎠ (2) Nel caso di superfici isoenergetiche ellissoidali, per cui r k 2y k 2z ⎞ h 2 ⎛ k 2x ⎜ ⎟ E (k ) = E c + + + 2 ⎜⎝ m1 m 2 m 3 ⎟⎠ si potrà scrivere sotto forma canonica: 2 k 2x k y k 2z + + =1 a2 b2 c2 dove dell'ellissoide. Il volume vale: τK = ⎡ 2 m i (E − E c ) ⎤1/2 rappresentano gli assi ai = ⎢ ⎥⎦ ⎣ h2 4π 4π abc = 3 (8 m1 m 2 m 3 )1/ 2 (E − E c ) 3/2 3h 3 e il volume compreso tra due superfici E e E+dE sarà: dτ K = 2π (8m1 m 2 m 3 )1/ 2 ( E − E c ) 1/ 2 dE 3 h e quindi la densità degli stati vale N (E) = 2π (8m1m2 m3 )1 / 2 ( E − Ec )1 / 2 3 h V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori (3) 1 (l'unità di misura più usata è cm-3 eV-1). Relativamente al tipo di materiale, la N(E) , come data dalla (3), va moltiplicata per un fattore numerico dipendente dal numero di ellissoidi rappresentanti la superficie ad energia costante nello spazio k (4 per il Ge, 6 per il Si). m 1, m 2 , m 3 sono le componenti del tensore massa efficace. Superfici ad energia costante nella I zona di Brillouin per il Silicio. Superfici ad energia costante nella I zona di Brillouin per il Germanio. Definiamo la massa effettiva della densità degli stati V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 2 3 m *d = M 2 m1 m 2 m 3 per cui (4) ⎛ 2 m *d ⎞ N( E) = 2 π ⎜ 2 ⎟ ⎝ h ⎠ 3/ 2 ( E − E c ) 1/ 2 (5) Usando la (5) e la funzione di Fermi si ha: ⎛ 2m *d ⎞ 3/2 2π ⎜ 2 ⎟ (E − E c )1/ 2 ∞ ⎝ h ⎠ n =2∫ E− E f Ec e kT (6) dE +1 Introduciamo, per comodità, le seguenti variabili adimensionali: E − Ec E − Ec = x, f =ξ kT kT per cui si può scrivere: ⎛ 2 m *d kT ⎞ n = 4π⎜ ⎟ 2 ⎝ h ⎠ 3/ 2 ∞ x 1/ 2 dx ∫ x −ξ +1 0e (7) Definiamo il numero degli stati effettivi permessi in banda di conduzione ⎛ 2πm *d kT ⎞ N c = 2⎜ ⎟ h2 ⎠ ⎝ 3/ 2 (8) e l'integrale di Fermi di ordine 1/2 ∞ x 1/ 2 dx ∫ e x − ξ + 1 = Φ 1/ 2 ( ξ ) 0 (9) per cui la concentrazione di portatori potrà scriversi: n= 2N c π Φ1/2 ( ξ ) (10) In generale, n dipende dalla temperatura e dal livello di Fermi. Per calcolare la concentrazione di buche in banda di valenza teniamo presente che la densità degli stati in banda di valenza è data da: essendo m *pd ⎛ 2 m *pd ⎞ 3/ 2 ⎟⎟ ( E v − E ) 1/ 2 (11) N ( E ) = 2 π ⎜⎜ 2 h ⎝ ⎠ 2 1/3 = (M m p 1 m p 2 m p 3 ) la massa effettiva della densità degli stati per le buche. Il numero di buche dp la cui energia è compresa nell'intervallo dE è dato da dp = 2 N(E )f op ( E,T ) = 2 N(E)(1 − f o ( E,T )) e quindi, sostituendo il limite inferiore di integrazione E v min con − ∞ , si ha: V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 3 ⎛ 2 m *pd ⎞ 3 / 2 (E − E)1 / 2 dE v p = 2 ∫ 2 π ⎜⎜ 2 ⎟⎟ E −E −∞ ⎝ h ⎠ e kT + 1 Ev − E E − Ef = x, v = η , possiamo scrivere: kT kT ⎛ 2 m *pd kT ⎞ 3/2 ∞ x 1/2 dx 2Nv ⎟ p = 4 π ⎜⎜ = Φ 1/ 2 ( η ) ∫ 2 x−η ⎟ +1 π ⎝ h ⎠ 0e Ev (12) f Ponendo (13) ⎛ 2 π m *pd kT ⎞ 3/ 2 ⎟⎟ dove N v = 2 ⎜ è la densità effettiva degli stati permessi in ⎜ h2 ⎝ ⎠ ∞ x 1/ 2 dx banda di valenza e Φ 1/ 2 ( η ) = ∫ x − η è l'integrale di Fermi. Per tale e + 1 0 integrale valgono le seguenti espressioni approssimate: ⎧ π ξ e per − ∞ < ξ < −1 ⎪ ⎪ 2 ⎪⎪ π 1 Φ1/ 2 ( ξ ) = ⎨ per − 1 < ξ < 5 −ξ ⎪ 2 0.25 + e ⎪2 ⎪ ξ 3/ 2 per 5 < ξ < ∞ ⎪⎩ 3 Nel caso in cui ξ < −1 , potremo scrivere: ∞ ∞ x 1/ 2 dx π ξ 1/ 2 − x + ξ ξ e Φ 1/2 (ξ ) = ∫ x − ξ = ∫x e dx = e ∫ x 1/2 e −x dx = e ξ Γ (3 / 2 ) = 2 + 1 e 0 0 0 ∞ Tale espressione corrisponde alla statistica di Boltzmann, cioè, la statistica classica può essere usata se E f < E c − kT ; in tal caso il semiconduttore si dice non degenere; viceversa, se il livello di Fermi si trova al di sopra di Ec di oltre 5kT, il semiconduttore si dice completamente degenere. Perciò, nel caso di semiconduttore non degenere, n = N c exp (−( E c − E f ) / kT ) = (14) ⎛ *⎞ 15 m d = 4 . 82 ⋅10 ⎜ ⎟ ⎝ m ⎠ 3/2 T 3 / 2 exp ( − ( E c − E f ) / kT ) Nel caso di semiconduttore degenere, si ha: 8 π ⎛ 2 m *d ⎞ n= ⎜ ⎟ 3 ⎝ h2 ⎠ 3/2 (E f − E c ) 3 / 2 V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori (15) 4 cioè, la concentrazione di elettroni è indipendente dalla temperatura. Infatti, a ⎛ ∂f o ⎞ ⎜− ⎟ ≈ δ (E − E f ) e ciò permette di calcolare il ⎝ ∂E ⎠ seguente integrale, definendo χ( E) = ∫ ϕ( E)dE e tenendo conto che f o (0,T ) ≈ 1: ∞ ∞ ∂f o ∞ ∫ ϕ(E )f o ( E, T)dE = χ( E)f o (E, T ) 0 − ∫ χ( E) ∂E dE = 0 0 = − χ(0)f o (0,T ) + χ(E f ) ≈ χ(E f ) − χ(0) . basse temperature, Nel nostro caso: ϕ(E ) = ( E − E c ) 1/ 2 e χ( E) = per cui: n= 2N c π Φ 1/2 ( ξ ) = ∞ 2N c π (kT ) e quindi: 2 ( E − E c ) 3/ 2 3 3/2 ∫ Ec (E − E c )1/2 dE E− E f e Φ 1/2 (ξ ) = kT +1 = 2Nc π ( kT ) 3/ 2 2 (E f − E c ) 3/ 2 3 2 3/2 ξ . 3 Nella situazione intermedia l’integrale si calcola per via numerica. Risultati analoghi si ottengono per le lacune: la condizione di non degenerazione equivale a E f > E v + kT , mentre quella di semiconduttore completamente E f < E v − 5 kT . Le relazioni per le lacune, nei due casi citati, sono: 3/ 2 * 8 π ⎛ 2 m pd ⎞ ⎜⎜ 2 ⎟⎟ ( E v − E f ) 3 / 2 (16) p = N v exp( − (E f − E v ) / kT ) , p = 3 ⎝ h ⎠ degenere è E' facile verificare che, in un semiconduttore non degenere, il prodotto np è indipendente dalla posizione del livello di Fermi e vale: np = N c N v e − E G / kT (17) La (17) rappresenta la legge dell’azione di massa: il prodotto np, a fissata temperatura, è costante in un semiconduttore. In un semiconduttore intrinseco, cioè in un semiconduttore privo di impurezze, la condizione di neutralità di carica richiede che n=p, ciò vuol dire che quando un elettrone abbandona la banda di valenza, lascia una lacuna che si comporta come una carica positiva, di modo che sempre sarà n=p. Se esplicitiamo tale condizione, V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 5 supponendo che ξ=η e quindi N c = N v e che m *pd = m *d , si trova Φ 1/ 2 ( ξ ) = Φ 1/2 ( η ) , cioè Ef − Ec Ev − Ef = da cui: kT kT E + Ev Ef = c 2 cioè, il livello di Fermi si situa al centro della banda proibita (energy gap). Essendo, generalmente, tale banda maggiore di 2kT, per il semiconduttore intrinseco si applica la statistica di Boltzmann, per cui si potrà scrivere: n = N c e − E /2 kT , p = N v e − E N c ≠ N v , si ricava facilmente: G Se si tiene conto che G / 2kT ⎛ m *pd E c + E v kT N v E c + E v Ef = + ln = + kT ln ⎜⎜ * 2 2 Nc 2 ⎝ m nd ⎞ 3/4 ⎟⎟ ⎠ (18) Tale relazione ci dice che a T=0, il livello di Fermi si situa a metà gap e si sposta linearmente con la temperatura verso la banda avente la più bassa massa effettiva della densità degli stati. E c 1 2 E f Fig.1 3 E v Relazione tra la posizione del livello di Fermi e la temperatura in un semiconduttore intrinseco 1) m * <m * 2) m * =m * 3) m *nd >m * nd nd pd pd pd T Sebbene, in un semiconduttore intrinseco, non esiste alcun elettrone al livello di Fermi, f=1/2 conserva il significato per E= E f . La concentrazione dei portatori intrinseci vale: n i = n = p = N c N v e−E G /2kT (19) Un grafico del ln n i in funzione di 1/T, permette di ricavare la gap del semiconduttore. A T=300 K, la concentrazione di portatori per il silicio e 10 cm −3 e 2 ⋅10 13 cm −3 , rispettivamente. germanio intrinseci, è 2 ⋅10 V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 6 ln ni Fig.2 ϕ 1/T Naturalmente, a T=0, un semiconduttore intrinseco avrebbe una resistenza infinita; in realtà, ci sono sempre tracce di impurezze che danno luogo ad una conducibilità a qualunque temperatura. Livelli energetici localizzati. Deviazioni dalla periodicità in un reticolo, danno luogo a livelli energetici localizzati caratterizzati da funzioni d'onda che decadono esponenzialmente con la distanza dall'imperfezione. Nei semiconduttori, tali imperfezioni possono essere fonte di portatori o di ricombinazione di portatori. Ciò che, tra l'altro, differenzia un cristallo ideale da uno reale è l'esistenza della superficie per cui gli atomi di tale piano interagiscono solo con metà degli atomi con cui quelli di 'bulk' interagiscono. Tale rottura di simmetria dà luogo a stati superficiali. La periodicità può essere interrotta anche all'interno del materiale, per la presenza di atomi estranei, sostituzionali o interstiziali, difetti tali come vacanze, atomi non in posizione reticolare, dislocazioni. Se le imperfezioni reticolari coinvolgono regioni di dimensioni atomiche, i difetti si dicono puntuali; essi sono distinti in difetti intrinseci (vacanze, interstiziali), atomi d'impurezze in siti reticolari o interstiziali, centri di colore. Una particella che abbandonando il sito reticolare, diffonde verso la superficie crea un difetto Schottky (la vacanza), se, invece, si posiziona come interstiziale, crea un difetto Frenkel (vacanza+interstiziale). Nel caso di difetti Schottky, essendo creati dal moto termico, la loro concentrazione è data da: (20) N dif = Ne − u/ kT essendo N il numero di particelle reticolari, u l'energia richiesta per creare una vacanza. Nel caso di difetti Frenkel, se N' è il numero di siti interstiziali disponibili, si trova (21) N dif = NN' e − u/ 2kT Normalmente la concentrazione di tali difetti è bassa. Le due precedenti relazioni possono essere ricavate con metodi statistici. Calcoliamo la probabilità V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 7 con cui uno stato con N dif di tipo Schottky, cioè vacanze, può realizzarsi. Se abbiamo N siti reticolari, la prima vacanza può occupare N posti diversi, la seconda (N-1), eccetera, per cui il numero di modi è N( N − 1)( N − 2).......( N − N dif + 1) = N! ; (N − N dif )! ma, essendo le vacanze indistinguibili lo stesso stato può ottenersi con permutazioni in numero pari a N dif !, per cui il numero di modi diversi con cui le vacanze possono trovarsi nei siti reticolari è: W= N! (N − N dif )! N dif ! L'entropia è data da S = k ln W = k( ln N!− ln(N − N dif )!− ln N dif !) Usando la formula di Stirling: ln n!=n ln n - n si ha: S=k(N lnN-N-(N- N dif )ln(N- N dif )+(N- N dif )- N dif ln N dif + N dif )= = k(N lnN-(N- N dif )ln(N- N dif )- N dif ln N dif ) Sia u l'energia per creare una vacanza; l'energia totale necessaria sarà: U = N dif u All'equilibrio, l'energia libera, F=U-TS, deve avere un minimo, cioè deve essere ∂F dF = dN dif = 0 . Pertanto: ∂N dif F = N dif u − T ⋅ [k(N ln N − (N − N dif ) ln(N − N dif ) − N dif ln N dif ) ] dF = u − kT (ln( N − N dif ) − ln N dif ) dN dif = 0 N dif = ( N − N dif )e −u /kT ; generalmente N dif << N , per cui si ha: N dif = Ne − u/ kT Nel caso di difetti Frenkel, il numero di vacanze N dif è uguale al numero di atomi e quindi interstiziali. Si deve perciò calcolare il numero di modi con cui sistemare le vacanze in N siti e gli interstiziali in N' siti interstiziali. Ciò si ottiene facendo il prodotto delle probabilità, cioè: N' ! N! ⋅ (N − N dif )! N dif ! (N' − N dif )!N dif ! Procedendo in modo analogo e supponendo N dif << N, N' , si ottiene: N dif = NN' e − u/ 2kT W= essendo u l'energia necessaria per spostare una particella da un sito reticolare ad uno interstiziale. La presenza di un disturbo nella periodicità del potenziale nelle vicinanze del difetto, dà luogo a nuove soluzioni dell'equazione di Schroedinger aventi valore finito su una regione localizzata del cristallo e che diminuisce esponenzialmente V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 8 con la distanza dal sito (Fig. 3). Consideriamo, come esempio, gli stati superficiali e un possibile potenziale come in figura 4. Nel modello di Kronig-Penney, un valore di energia è permesso se: cos ka = β = ( 2 mE / h 2 )1/ 2 P sin β a + cos β a con P = mV o b (a − b ) / h 2 e βa e il secondo membro assume valori tra -1 e +1. Le funzioni d'onda sono del tipo Ψ ≈ e e k deve essere reale. Se si considera l'effetto della superficie, k può non essere reale e, per x<0, la soluzione è del tipo Ψ = Ce γx con ikx γ = [2m (W − E ) / h 2 ] 1/2 . Le soluzioni a destra e sinistra possono essere raccordate in x=0 e gli stati costituenti le bande rimangono inalterate. Se E>W, soluzioni con k immaginario per x<0, sono esponenzialmente smorzate per x>0; se, invece, E<W, la soluzione è smorzata sia per x>0 che per x<0 per cui l'elettrone risulta localizzato in uno stato superficiale. Nel caso di vacanze nel volume del cristallo, il livello energetico localizzato si situa all'interno della gap proibita. Infatti, la separazione tra banda di valenza e banda di conduzione è l'energia necessaria per rompere un legame nel cristallo e liberare un elettrone; nelle vicinanze di una vacanza che rappresenta uno ione carico positivamente mancante, tale energia è V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 9 minore per cui il livello si situa come in fig. 5 . Atomi estranei (che possono essere sostituzionali o interstiziali) introducono livelli extra nella gap del materiale. Si consideri, per esempio, il CdS (il legame non è nè puramente ionico nè puramente covalente). Essendo la struttura tetraedrica, i quattro legami possono essere pensati costituiti da 1/2 elettrone da parte del Cd e 1.5 elettroni da parte dello S. Se sostituiamo il Cd con In (tre elettroni di valenza), solo due sono usati per i legami e il restante può essere facilmente reso libero ad alta temperatura. Se, invece, sostituiamo S con Cl (7 elettroni esterni), sei sono usati per i legami e uno rimane debolmente V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 10 legato e disponibile per la conduzione. Infine, se il Cd è sostituito dal Cu (1 elettrone di valenza), questo dovrà procurarsi un elettrone da un S vicino liberando così una buca. Quando l'atomo donore perde l'elettrone, esso diventa ionizzato acquistando una carica positiva. L'energia di ionizzazione, ED, è la distanza energetica tra livello e fondo della banda di conduzione. Naturalmente, un donore ionizzato è un centro di cattura per elettroni liberi. Un donore neutro può essere, invece, un centro di cattura per lacune; l'energia in gioco sarà Eg- ED. Un accettore acquista una carica negativa quando prende un elettrone dalla banda di valenza, dove si crea una lacuna; perciò si dice che un accettore ionizzato dà luogo ad una buca. Esso è un centro di cattura per buche; d'altra parte, un accettore neutro può essere un centro di cattura per elettroni con una energia pari a Eg- EA. In genere, le impurezze sono dette "shallow", quando il numero di elettroni di valenza differisce di uno da quello degli atomi del cristallo, come, per esempio, P, As e Sb (donori) o In, Ga e B (accettori) in Si e Ge. Quando ciò non accade, i livelli che si creano sono, in generale, profondi. L'atomo di impurezza è detto anfotero quando può agire nello stesso composto come accettore o come donore a seconda di quale atomo sostituisce (Si in GaAs). Un semiconduttore contenente sia impurezze donori che accettori è detto compensato e il grado di compensazione è dato dal rapporto delle concentrazioni N A / N D . Nei cristalli ionici si hanno i centri di colore. Se uno ione negativo lascia il suo sito, la vacanza creata agisce come un centro positivo che attrae un elettrone. Conseguenza di ciò è una certa colorazione di alcuni cristalli. V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 11 I difetti macroscopici sono le dislocazioni e le interfacce. Le prime sono costituite da una linea di difetti o da situazioni più complicate; le seconde danno luogo a bordi di grano o è la superficie di separazione di due materiali aventi diverse costanti reticolari. Teoria dei livelli d'impurezza 'shallow'. Se l'energia di ionizzazione di un livello donore o accettore è piccola, i livelli energetici associati possono essere calcolati con un calcolo perturbativo. Il risultato è che il centro può essere considerato come un sistema idrogenoide immerso in un mezzo di opportuna costante dielettrica e opportuna massa effettiva dei portatori. In assenza di imperfezioni, l'hamiltoniana dell'elettrone quasi-libero nel cristallo è: HO h2 2 r =− ∇ + V ( r) 2m essendo V(r) il potenziale periodico del cristallo; le autofunzioni sono onde di Bloch del tipo: r Ψ krl ( r ) = 1 V 1/2 r ikr⋅ rr u krl ( r )e essendo l l'indice della banda di conduzione e V il volume del cristallo. Supponiamo che un atomo del cristallo sia sostituito da una impurezza per cui r tale difetto introdurrà un potenziale addizionale U( r ) . In generale, tale potenziale può essere considerato come il potenziale dell'impurezza meno il potenziale dell'atomo sostituito; esso può essere positivo o negativo, per cui l'elettrone può essere legato al difetto o respinto da esso. Nel caso in cui il difetto è costituito da un atomo donore avente un elettrone in più dell'atomo del reticolo, tale elettrone non è richiesto per saturare legami di atomi vicini per cui esso si muove approssimativamente nel campo prodotto da reticolo e dallo ione positivo donore. Pertanto l'hamiltoniano dell'elettrone extra sarà: r r H = H O + U( r ) , dove U( r ) si può assumere come un potenziale coulombiano a r e2 (nel sistema k=1). qualunque distanza dallo ione impurezza e vale: U( r ) = − εr Il potenziale perturbatore è quindi quello di un atomo di idrogeno in un mezzo di costante dielettrica ε. L'equazione d'onda per l'elettrone dell'impurezza è: ⎛ h2 2 r ⎞ ∇ + V + U( r )⎟ Ψ = EΨ ⎜− ⎝ 2m ⎠ V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori (22) 12 Questo problema può essere risolto con il metodo della massa effettiva che consiste nel fatto che l'effetto del potenziale periodico può essere presso in conto introducendo una massa effettiva m*, cioè sostituendo l'operatore h2 2 − ∇ +V 2m con h2 − ∇2 + E o 2m * h2k2 è l'energia di un se E o + 2m * elettrone in una banda del cristallo senza impurezze. Il problema si riduce così al moto di una particella di massa m* nel potenziale U assunto coulombiano e associando la costante dielettrica ε al mezzo. La (22) è quindi sostituita con la (23): ⎛ h2 e2 ⎞ (23) ⎜⎜ − ∇ 2 − ⎟⎟Ψ = ( E − E o )Ψ εr ⎠ ⎝ 2m * Tale equazione è l'equazione di Schroedinger per un sistema idrogenoide con la massa dell'elettrone libero sostituita da quella efficace, nel campo di una carica positiva e in un mezzo di costante dielettrica ε; i livelli energetici sono dati da: 1 e 4m* , En = Eo − 2 n 2 h 2ε 2 n=1,2,....., cioè essi sono situati nella gap del semiconduttore. Nel caso di atomi donori Eo = Ec e quindi i livelli donori si trovano al di sotto della banda di conduzione. Un calcolo simile può essere effettuato per stati accettori; in tal caso il potenziale perturbatore va sottratto al potenziale V in quanto ora l'elettrone manca, la massa efficace risulta essere negativa e quindi il livello d'impurezza si trova al di sopra di E v . Il valore di energia per n=1, fornisce l'energia di ionizzazione dell'atomo donore. Il raggio della prima orbita risulta maggiore di quello dell'atomo libero di un * fattore ε(m / m ) ; per il Si (ε=12) e Ge (ε=16) si hanno valori tra 20 e 50 Å. * Essendo, in genere, m < m o , l'energia di ionizzazione può essere dell'ordine −3 −2 eV. L'esistenza di livelli di impurezza profondi non può essere di 10 ÷ 10 spiegata con un modello idrogenoide. V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 13 Banda di conduzione ∆ED n=2 ED n=1 ∆E n=1 n=2 EA ∆EA Banda di valenza . Quasi livelli di Fermi. In un semiconduttore in equilibrio termodinamico ad ogni processo che promuove un elettrone in uno stato ad energia maggiore (generazione) ve ne è uno opposto di diseccitazione o ricombinazione. Quando si applica una eccitazione esterna come un campo elettrico o radiazione elettromagnetica, il semiconduttore raggiunge, dopo un certo tempo, una situazione stazionaria di non equilibrio. Se cessa l'azione esterna, dopo un certo tempo, il semiconduttore raggiunge nuovamente una situazione di equilibrio termico. Ciò che vale sempre è il principio del bilancio dettagliato, un principio statistico che afferma che per un sistema in equilibrio termico le 'rates' di un processo e del suo inverso si bilanciano; da un punto di vista microscopico, le probabilità di transizione per un processo e del suo inverso sono uguali. Se il semiconduttore si trova in una condizione di non equilibrio, le 'rates' di processi reciproci non si bilanciano più sebbene il principio di reversibilità microscopica continui a valere. Abbiamo visto che il livello di Fermi è un parametro sufficiente per determinare le concentrazioni dei 2 portatori in un semiconduttore in equilibrio termico e che n o p o = n i . Se la densità degli stati è: g c (E ) = 4 π(2 m e / h 2 ) 3/ 2 ( E − E c ) 1/ 2 , il numero di elettroni per unità di volume in tutti i livelli della banda di conduzione è: V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 14 ∞ n = ∫ P e (E )g c ( E)dE Ec P e ( E) è la probabilità che uno stato di energia E sia occupato da un elettrone; tale probabilità dovrà coincidere con la funzione distribuzione di Fermi all'equilibrio termico. Tuttavia possiamo esprimere n in funzione di un qualche potenziale elettrochimico E fn , che chiamiamo quasi livello di Fermi per gli elettroni, ponendo: ⎛ E − Ec ⎞ n = ∫ P e (E )g c ( E)dE = N c F 1/2 ⎜ fn ⎟ ⎝ kT ⎠ E ∞ c Analogamente, per le lacune si può scrivere: ⎛ E v − E fp ⎞ p = ∫ P h ( E)g v (E )dE = N v F 1/2 ⎜ ⎟ ⎝ kT ⎠ −∞ Ev Posto: E fp E fn , ηp = kT kT N c N v F 1/2 (η n − η c )F 1/ 2 ( ηv − η p ) . La probabilità ηn = il prodotto np sarà uguale a di occupazione di uno stato I sarà: f I = 1 / [1 + exp( η I − η n )] ηI = E I / kT . In assenza di degenerazione: np = N c N v exp( η n − η c + η v − η p ) = N c N v exp (η n − η p − η G ) 2 mentre nel caso di equilibrio termico n o p o = N c N v exp( − ηG ) = n i ; per cui: (np / n o p o ) = exp( η n − η p ) e np = n 2i exp( η n − η p ) ; cioè, np ≠ n 2i . 2 Inoltre, ηn − ηp = ln(np / n i ) , cioè la distanza di separazione tra i due quasi 2 livelli è kT ln( np / n i ) . Mentre all'equilibrio termico i quasi livelli di Fermi coincidono in E f , la presenza di una eccitazione esterna porta il sistema in una essendo situazione di non equilibrio e i quasi livelli si sdoppiano muovendosi verso le rispettive bande (quello dei portatori minoritari si sposta di più di quello relativo ⎛ no ⎞ E fn − E f = kT ln ⎜ ⎟ ; in un ⎝ n o + ∆n ⎠ semiconduttore di tipo n, generalmente ∆ n << n o e quindi E fn differisce poco da ⎛ po ⎞ E f , mentre, essendo E fp − E f + E v = kT ln ⎜ ⎟ , non sarà ∆ p << p o e ⎝ p o + ∆p ⎠ quindi la differenza tra E fp e E f non sarà trascurabile. ai portatori maggioritari). Infatti, essendo V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 15 Processi di generazione e ricombinazione nei semiconduttori. I meccanismi fondamentali alla base dei processi di generazione e ricombinazione nei semiconduttori sono: 1. processo Auger 2. ricombinazione radiativi 3. generazione e ricombinazione termica. Nel processo Auger una coppia elettrone-lacuna si ricombina e cede energia ad un portatore libero che passa in uno stato eccitato. Il portatore libero può essere un elettrone (a) o una lacuna (b). Nel processo Auger inverso o ionizzazione per urto, un portatore libero (elettrone, c) o lacuna d)) urta il reticolo e cede energia ad un elettrone che passa dalla banda di valenza alla banda di conduzione. Nel processo di ricombinazione radiativa una coppia elettrone-lacuna si ricombina emettendo un fotone di energia pari alla somma della energy gap e dell’energia cinetica dell’elettrone. L’evento può essere spontaneo o stimolato tramite radiazione elettromagnetica. Nel processo inverso di generazione radiativa il fotone di energia almeno pari alla energy gap viene assorbito e si produce una coppia. I processi di generazione e ricombinazione termica coinvolgono l’assorbimento o l’emissione di un fonone. Tali processi dipendono dalla temperatura e si produrranno più portatori liberi quanto più alta è la temperatura. V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 16 I processi di generazione e ricombinazione possono coinvolgere stati localizzati nella gap del semiconduttori. Nelle figure raffiguranti i vari processi, g ed r rappresentano le ‘rates’ di generazione o di ricombinazione per i vari processi (Auger, termico, ottico). La ricombinazione radiativa è un processo del I ordine nei semiconduttori a gap diretta, del II ordine in quelli a gap indiretta. Nei primi si conserva l’impulso e l’energia e il minimo della BC e il massimo della BV sono a k=0. La rate di transizione dallo stato s allo stato k a causa del momento di dipolo elettrico è data dalla regola d’oro di Fermi: 2 2π W = k V s δ (Ek − Es ) h V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 17 Nei semiconduttori a gap indiretta, la transizione è mediata da un fonone e la rate di transizione al II ordine è data da: 2π W = h ∑ m k V m mV' s (Es − Em ) 2 δ (Ek − Es ) I processi di generazione-ricombinazione possono coinvolgere stati localizzati; se questi sono profondi, cioè si trovano vicino la metà gap, un elettrone dalla banda di conduzione può essere intrappolato in un tale stato per un certo tempo. Successivamente una lacuna può essere catturata dalla banda di valenza prima che l’elettrone venga riemesso in BC; in tal caso la coppia si è ricombinata e si sono persi due portatori per la conduzione. In figura sono rappresentati gli eventi presi in considerazione nel modello di Shockley-Read-Hall. V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 18 Distinguiamo la cattura di un elettrone dalla BC (a), emissione di un elettrone in BC (b), cattura di una lacuna dalla BV (c) ed emissione di una lacuna in BV (d). Generazione-ricombinazione termica banda-banda. In un semiconduttore all’equilibrio termico elettroni passano dalla BC alla BV e viceversa per cui la popolazione dei portatori rimane invariata. In condizioni di fuori equilibrio, quando, per esempio, la luce crea un certo numero di coppie di portatori, la concentrazione dei portatori sarà data da p = p0 + ∆p n = n0 + ∆n essendo n0, p0 le concentrazioni di elettroni e lacune all’equilibrio termico e ∆n, ∆p gli eccessi di portatori creati dalla luce. L’equazione di continuità è data da: 1r r ∂n ∇ ⋅ jn = q ∂t se non vi sono pozzi o sorgenti di carica. Se le cariche vengono create o rimosse tramite processi di generazione o ricombinazione, l’equazione di continuità va riscritta come: 1r r ∂n ∇ ⋅ jn + G − R = q ∂t Se la densità di corrente è nulla, la carica aumenterà se la rate di generazione è ∂n maggiore di quella di ricombinazione. All’equilibrio = 0 e quindi G=R. La rate di ∂t ricombinazione dipenderà sia da n che da p, per cui possiamo scrivere R =K(np); all’equilibrio R=R0=Kn0p0=Kni2=G0. Poniamo, fuori equilibrio, R=R0+R’ e G=G0+G’; l’equazione di continuità, in assenza di corrente si scrive: ∂∆n R '−G ' = − ∂t Supponiamo di rimuovere l’eccitazione esterna per cui G’ diventa uguale a zero. La rate totale di ricombinazione è: R =K(np) = K(n0 + ∆n)( p0 + ∆p) = R0+R’ da cui R’ = Kn0 ∆p+Kp0 ∆n+K ∆n ∆p Assumiamo che ∆n= ∆p: ∂∆n Kn 0 ∆n + Kp 0 ∆n + K∆n 2 = K ( n0 + p 0 + ∆n) ∆n − ∂t da cui V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 19 ∆n(t ) = ∆n(0)(n0 + p 0 ) 1 K ( n0 + p 0 ) t [n0 + p0 + ∆n(0)] − ∆n(0) e E’ facile verificare che: per t→ 0, ∆n(t)→ ∆n(0) per t→∞, ∆n(t)→ 0 e quindi n → n0 ∆n(t ) = ∆n(0)e − K ( n0 + p0 ) t = ∆n(0)e − t / τ τ è la vita media dei Se ∆n(0) << n0+p0, portatori. Modello di Shockley-Read-Hall. Sia Rcn (Rcp) la rate di cattura degli elettroni (lacune) dalla BC (BV) negli Nt centri ad energia Et, aventi una sezione di cattura Cn (Cp) e di emissione en (ep) per gli elettroni (per le lacune), Ren (Rep) la rate di emissione di elettroni (lacune) dai centri alla BC (BV); sia f(Et) la probabilità che un centro sia occupato da un elettrone. BC Rcn Ren Rcp Rep BV La ‘rate’ di cattura dipenderà dal numero di centri vuoti e dalla concentrazione di elettroni in BC, pertanto sarà data da: Rcn = C n N t (1 − f ( Et ))n La’ rate’ di emissione dipenderà dal numero di centri occupati: Ren = en N t f ( Et ) All’equilibrio queste due ‘rates’ devono essere uguali: C n N t (1 − f 0 ( Et ))n0 = en N t f 0 ( Et ) da cui: e n = n0 C n exp(( E t − E f ) / kT ) = C n N c exp(( E t − E c ) / kT = C n n1 essendo f 0 ( Et ) = 1 dx 1 1 1 + exp(( Et − E f ) / kT ) ⎛ A + Bx ⎞ ⎟ x ⎠ ∫ ( A + Bx) x = − A log⎜⎝ V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 20 e n1 la concentrazione di elettroni all’equilibrio nel caso in cui il livello Et coincida con la posizione del livello di Fermi. In condizioni di fuori equilibrio, le ‘rates’ di cattura e di emissione non saranno uguali e quindi ci sarà una ‘rate’ netta: Rn = C n N t {n[1 − f ( Et )] − n1 f ( Et )} Un analogo ragionamento si fa per le lacune e si ottiene: R p = Rcp − Rep = C p N t {pf ( Et ) − p1 [1 − f ( Et )]} essendo p1 = N v exp(( E v − Et ) / kT ) , Rcp = C p N t f ( Et ) p , Rep = e p N t [1 − f ( Et )] , e p = C p p1 . In condizioni stazionarie, dev’essere R n = Rp da cui si ottiene la funzione occupazione C n n + C p p1 f ( Et ) = C n (n + n1 ) + C p ( p + p1 ) E’ facile verificare che la legge dell’azione di massa vale anche per il prodotto n1p1. Se introduciamo l’espressione della funzione occupazione in Rn, si ottiene: C n C p N t (np − ni2 ) Rn = R p = C n (n + n1 ) + C p ( p + p1 ) Se assumiamo Cn=Cp: Rn = R p = CN t (np − ni2 ) n + n1 + p + p1 All’equilibrio il numeratore è nullo e quindi Rn=Rp=0. Se np>ni2, vi sarà un eccesso di portatori e il sistema , rimossa l’eccitazione esterna, torna all’equilibrio tramite processi di ricombinazione. Se np< ni2, vi è una carenza di portatori e il sistema tornerà all’equilibrio tramite processi di generazione. Definiamo le vite medie dei portatori come: 1 τn =τ p = CN t e quindi potremo scrivere la ‘rate’ di generazione come: (n0 + ∆n)( p 0 + ∆p ) − ni2 R= τ p (n0 + ∆n + n1 ) + τ n ( p 0 + ∆p + p1 ) In un semiconduttore di tipo n, n0>>p0, n0∆p >> ∆n∆p e quindi: n0 ∆p n ∆p ∆p ≅ 0 = R= τ p (n0 + ∆n + n1 ) τ p n0 τ p La ‘rate’ di ricombinazione-generazione è governata dai portatori minoritari (lacune in un semiconduttore di tipo n, elettroni in uno di tipo p). V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 21 Livelli di demarcazione. A seconda della posizione energetica nella gap, un centro può comportarsi prevalentemente come centro di ricombinazione o come centro di intrappolamento. La grandezza che permette di discriminare tra questi due comportamenti è il livello di demarcazione per gli elettroni e per le lacune: se il centro si trova tra questi due livelli, esso si comporta come centro di ricombinazione, se si trova al di sopra si comporta come centro di intrappolamento per elettroni, se si trova al di sotto, come centro di intrappolamento per le lacune. Il livello di demarcazione per gli elettroni è definito dalla condizione di uguaglianza tra la probabilità che un centro occupato da un elettrone emetta tale elettrone in banda di conduzione e la probabilità che catturi una lacuna. Posto Et = Edn, livello di demarcazione per gli elettroni, si ha: en N t f ( Et ) = C p N t f ( E t ) p ovvero en = C p p e quindi C n N c exp(( E dn − E c ) / kT = C p p Essendo N c = n exp ((− E fn + E c ) / kT ) , si ricava: ⎛ Cp p ⎞ ⎟ E dn = E fn + kT ln ⎜ C n ⎝ n ⎠ In modo analogo, si trova il livello di demarcazione per le lacune imponendo che Rep=Rcn: Rep = e p N t [1 − f ( Et )] = Rcn = C n N t (1 − f ( Et ))n e p = C p p1 p1 = N v exp(( E v − Et ) / kT ) N v = p exp(( E fp − E v ) / kT ) C p N v exp(( E v − E dp ) / kT ) = C n n da cui ⎛ Cp p ⎞ ⎟⎟ Edp = E fp + kT ln⎜⎜ ⎝ Cn n ⎠ E fn E dn kTln(Cp p/C n) n E fp E dp kTln(Cp p/C n) n V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 22 Se si prende in considerazione la possibilità che un portatore possa essere intrappolato per un certo tempo in un dato livello e se il semiconduttore è di tipo n, la seguente legge di conservazione delle particelle deve essere verificata: ∆ n + ∆ n t = ∆ (N t − n t ) cioè, il numero di elettroni fotoeccitati più quelli intrappolati deve essere uguale al numero di lacune fotoeccitate intrappolate. V.AUGELLI - FISICA DEGLI STATI CONDENSATI – Cap. 9 - Statistica dei portatori 23