Elettronica dei Sistemi Digitali Corso di Laurea in Informatica Crema, 21 Maggio 2001 Memorie Non Volatili Stefano Gregori Laboratorio di Microsistemi Integrati Dipartimento di Elettronica Università di Pavia Via Ferrata, 1 27100 Pavia E-mail: [email protected] Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 1 Argomenti introduzione l’architettura delle memorie a semiconduttore organizzazione NOR e NAND ROM, PROM, EPROM, EEPROM memorie Flash lettura, programmazione e cancellazione memorie Flash multilivello Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 2 Applicazioni delle memorie NV MEMORIE NV informazioni necessarie per il funzionamento del sistema informazioni non necessariamente elaborate codici di microcontrollori dati (testo, immagini, suoni) parametri dell’applicazione programmi programmi di un microprocessore impostazioni BIOS di PC configurazione dei router di rete modem sistema operativo dei disk drive Stefano Gregori memory card apparecchiature portatili set top box Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 3 Applicazioni emergenti digital audio player mobile phone GPS car infobox digital camera memory card PDA video picture frame printing equipment Stefano Gregori PC Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 4 Memory card PRINCIPALI FORMATI: SmartMedia CompactFlash Memory Stick MultiMedia Secur Digital PC Card PCMCIA Type I (45 × 37 × 0,76 mm) (43 × 36 × 1,9 mm) (50 × 21,5 × 2,8 mm) (32 × 24 × 1,4 mm) (32 × 24 × 2,1 mm) (85,6 × 54 × 3,3 mm) fonte: IEEE Spectrum, maggio 2001 Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 5 Struttura delle memory card tipo SmartMedia contatti metallici fili di bonding chip di memoria Flash resina supporto plastico package plastico tipo CompactFlash fili di bonding chip di memoria Flash microcontrollore circuito stampato connettore Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 6 Memorie a semiconduttore memorie a semiconduttore RAM ROM memorie NV dinamiche statiche PROM EPROM Flash Stefano Gregori fusibili E²PROM Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 7 Caratteristiche Memoria EEPROM riscrivibilità non volatilità FLASH DRAM Stefano Gregori alta densità ROM Caratteristiche FLASH basso costo, alta densità; bassa potenza, elevata affidabilità ROM Read-Only Memory tecnologia matura, altissima densità, affidabilità, basso costo; adatte per grandi produzioni con codice stabile SRAM Static Random-Access Memory massima velocità, elevata potenza, bassa densità; la bassa densità fa crescere i prezzi EPROM Electrically Programmable ReadOnly Memory alta densità; devono essere esposte a radiazione ultravioletta per la cancellazione E²PROM Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory cancellabili elettricamente per byte; bassa affidabilità, alto costo, bassa densità DRAM Dynamic Random Access Memory alta densità, basso costo, alta velocità, alta potenza Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 8 Decodificatore n bit s0 word 0 word 0 s1 word 1 s2 word 2 a0 a1 cella a2 ak−1 word 1 decodificatore m word n bit word 2 cella sm−2 word m−2 sm−1 word m−1 word m−1 input-output (n bit) input-output (n bit) Se a m word corrispondessero m segnali di selezione, i segnali di selezione sarebbero troppi. Stefano Gregori word m−2 Il decodificatore riduce il numero dei segnali di selezione a k = log2m Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 9 Organizzazione 2D indirizzo decodificatore k bit indirizzo di riga linea dati (bit line) decodificatore di riga k/2 bit 1D linea di indirizzamento (word line) I/O decodificatore di colonna k/2 bit indirizzo di colonna I/O complessità decodificatore P = (k ingressi, 2k uscite) complessità celle C = 2k (un interruttore per ogni cella) P+C = (k+1) 2k ad esempio con k=16, 2k=65536, P+C ≈ 106 k·2k Stefano Gregori complessità decodificatori P = k·2k/2 complessità celle C = 2k+k/2 P+C = k·2k/2+2k+k/2 ad esempio con k=16, 2k=65536, P+C ≈7·104 Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 10 Organizzazione a matrice matrice di memoria bit line decodificatore di riga (k−c) bit word line c bit indirizzo MAR k bit cella di memoria decodificatore di colonna sense amplifier e driver MBR n bit input-output Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 11 Organizzazione gerarchica indirizzo di riga indirizzo di colonna indirizzo di blocco bus dati sense amplifier e driver I/O Vantaggi: minore lunghezza delle linee di interconnessione all’interno dei blocchi riduzione della potenza attivando un solo blocco Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 12 Temporizzazione ciclo di lettura lettura tempo di accesso in lettura ciclo di scrittura scrittura tempo di accesso in scrittura dato valido dati dato letto buffer in decodifica Stefano Gregori buffer out buffer in decodifica lettura dato valido dato scritto scrittura Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 13 ROM NOR Schematico Layout VDD metal (BL) polisilicio (WL) WL0 diffusione (GND) WL1 WL2 contatto WL3 BL0 BL1 BL2 Durante la lettura una sola word line è alta. Stefano Gregori BL3 La memoria è programmata non effettuando i contatti metal-diffusione nei transistori che si vogliono disabilitare. Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 14 ROM NAND Schematico Layout VDD BL0 BL1 diffusione BL2 BL3 polisilicio (WL) WL0 impiantazione WL1 WL2 WL3 Durante la lettura una sola word line è bassa. Stefano Gregori La memoria è programmata aumentando la soglia dei transistori che si vogliono disabilitare. Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 15 PROM Memorie ROM programmabili una sola volta BL fusibile WL Stefano Gregori “fusibile” in polisilicio in serie all’elemento attivo la programmazione avviene interrompendo il fusibile la programmazione è un processo irreversibile Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 16 EPROM e E²PROM Memorie ROM programmabili e cancellabili EPROM cancellabile tramite esposizione a radiazione UV E²PROM cancellabile elettricamente BL WL cella E²PROM Stefano Gregori l’elemento base è il transistore MOS a gate isolato (fluttuante) è possibile cambiarne la tensione di soglia in modo reversibile la programmazione avviene portando la soglia di alcuni di questi transistori a valori talmente alti da non entrare mai in conduzione Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 17 Flash Memorie Flash E²PROM BL WL l’elemento base è il transistore MOS a gate fluttuante la programmazione e la cancellazione avvengono in modo elettrico non è presente il transistore di selezione la cancellazione avviene per settori Rispetto alle memorie E²PROM le Flash hanno una densità maggiore ma non possono essere cancellate per word. Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 18 Transistore a gate fluttuante gate source SiO2 drain gate di controllo gate fluttuante n+ n+ p-well Stefano Gregori la tensione di soglia VTH dei transistori MOS dipende dalla carica presente tra il gate e il canale immagazzinando nel gate fluttuante una carica di segno uguale a quella dei portatori del canale la formazione del canale viene ostacolata Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 19 Transistore a gate fluttuante G gate source gate di controllo gate fluttuante + n S B G F drain CPP F D n+ p-well CFS S CFB B CFD D La tensione sul gate fluttuante è funzione della carica in esso immagazzinata Q e delle tensioni applicate ai terminali, infatti: Q = CPP(VF−VG) + CFD(VF−VD) + CFS(VF−VS) + CFB(VF−VB) Definendo la capacità totale come CT = CPP+CFD+CFB+CFS si ottiene VF = αGVG + αDVD + αSVS + αBVB + Q/CT con αG = CPP/CT, αD = CFD/CT, αS = CFS/CT, αB = CFB/CT Definita la tensione di soglia della cella VT la tensione applicata a G per cui la tensione su F è pari alla tensione di soglia VTF del transistore equivalente con G e F cortocircuitati, VF = VTF emerge la dipendenza lineare di VT dalla carica immagazzinata VT = 1/αG VTF − αD /αG VD − αS /αG VS − αB /αG VB − Q/CPP Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 20 Celle di memoria Flash Immagine al microscopio elettronico a scansione che mostra la sezione delle celle di memoria in tecnologia Flash da 0,18 µm. Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 21 NOR Flash bit line bit line bit line word line layout cella source word line drain word line source source comune Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 22 Programmazione e cancellazione gate source drain gate di controllo gate fluttuante n+ n+ esempio di tensioni applicate per la programmazione: VD = 5 V VG = 10 V VS = 0 V VB = 0 V esempio di tensioni applicate per la cancellazione: p-well VD = fluttuante VG = -8 V programmazione: iniezione di elettroni caldi dal canale VS = 5 V tunnelling FN VB = 5 V cancellazione: tunnelling FN radiazione ultravioletta Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 23 Programmazione della cella INIEZIONE DI ELETTRONI CALDI DI CANALE Valori tipici delle tensioni applicate: VD = 5 V, VG = 10 V, VS = VB = 0 V Massima corrente di canale: 500 µA Gli elettroni che attraversano il canale acquistano energia dal campo elettrico longitudinale EL e la cedono al reticolo cristallino a causa degli urti. gate source drain gate di controllo gate fluttuante ET n+ EL n+ p-well Se EL è basso gli elettroni raggiungono l’equilibrio termodinamico col reticolo perdendo tanta energia quanta ne acquistano. Se EL è superiore a 100 kV/cm alcuni elettroni acquistano un’energia superiore alla barriera di potenziale dell’ossido e riescono a saltare nel gate fluttuante deviati da un campo trasversale ET. Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 24 Programmazione della cella n+ ET n+ p-well EC ossido gate fluttuante gate fluttuante substrato gate di controllo barriera di potenziale drain substrato source ossido gate gate fluttuante TUNNELLING Fowler-Nordheim EC U(VG −VB) Valori tipici delle tensioni applicate: D e S fluttuanti, VG = 20÷30 V, VB = 0 V L’ossido che isola il gate fluttuante realizza una barriera di potenziale che garantisce una bassa probabilità di attraversamento da parte degli elettroni. Applicando una tensione ai capi dell’ossido si modifica la forma della barriera e si aumenta la probabilità di attraversamento fino alla formazione di una corrente. Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 25 gate fluttuante n+ ET n+ p-well EC ossido substrato gate di controllo barriera di potenziale drain substrato source ossido gate gate fluttuante TUNNELLING Fowler-Nordheim gate fluttuante Cancellazione della cella U(VB −VG) EC Valori tipici delle tensioni applicate: D fluttuante, VG = −8 V, VS = VB = 5 V L’estrazione della carica dal gate fluttuante può avvenire in maniera elettrica solo per tunnelling FN. Applicando una tensione negativa al gate di controllo si estraggono gli elettroni intrappolati dalla barriera di potenziale. Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 26 Programmazione e cancellazione INIEZIONE DI ELETTRONI CALDI DI CANALE TUNNELLING Fowler-Nordheim ☺ veloce, affidabile, poco sensibile alle variazioni dei parametri di processo ☺ richiede un basso valore di corrente sia per la programmazione che per la cancellazione (1 µA), questo permette di agire contemporaneamente su molte celle richiede l’erogazione di una corrente elevata (fino a 500 µA) richiede l’applicazione di tensioni elevate e questo può ridurre l’affidabilità della memoria; inoltre è sensibile alle variazioni dei parametri di processo Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 27 Lettura ICELLA ICELLA VGR IC1 cella cancellata “1” cella programmata “0” IREF IC0=0 Stefano Gregori VT,1 VGR VT,0 VG Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 28 Lettura differenziale S comparatore regolatore di tensione regolatore di tensione selezione di colonna VGR cella selezionata Stefano Gregori selezione di colonna word line selezionata cella di riferimento Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 29 Memorizzazione multilivello IC cella bilivello IC IC,1 IREF IC,0= 0 VGR VT,1 VT,0 VGR cella multilivello a 4 livelli IC IC,11 IREF3 IC,10 IREF2 IC,01 IREF1 IC,00= 0 VT,11 VT,10 VT,01VT,00 VGR Stefano Gregori VG VG Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 30 Lettura di una cella bilivello VGR IC C IREF Stefano Gregori B L’uscita del comparatore di corrente indica il contenuto informativo della cella: B = 0 se IC < IREF B = 1 se IC > IREF Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 31 Lettura di una cella multilivello IC IC U3 C U2 C U1 C VGR Stefano Gregori IC IREF1 IREF2 transcod. specchi di corrente IC B1 B0 IREF3 VT U1 U2 VT,11 VT,10 VT,01 VT,00 1 1 1 0 1 1 0 0 U3 1 0 0 0 B1 B0 1 1 0 0 1 0 1 0 Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 32 Layout di memoria ML Layout di dispositivo sperimentale di memoria Flash a memorizzazione digitale di 4 bit per cella realizzato in tecnologia Flash da 0,13 µm. Le dimensioni del chip sono 4 × 2,8 mm. Stefano Gregori Memorie Non Volatili Crema, 21-5-2001 33