Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well interbanda Candidato: Matteo Camprini Relatori: Prof. G. Manes Prof. G. Borgioli Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Universitá di Firenze Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Universitá di Firenze Prof. G. Frosali Ing. A. Cidronali Dipartimento di Matematica Applicata “G. Sansone” Universitá di Firenze Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Universitá di Firenze Anno Accademico 1999 - 2000 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Diodi tunnel: caratteristiche La principale caratteristica di un diodo tunnel è la presenza di una regione di funzionamento a resistenza differenziale negativa (N.D.R.). Tale proprietà rende i diodi tunnel particolarmente utili in numerose applicazioni sia analogiche che digitali. NDR Le moderne tecnologie nella lavorazione dei semiconduttori consentono di realizzare strutture multilayer e lattice – matched che permettono di: Ottimizzare i parametri di funzionamento R.F. del diodo. Ottenere un elevato livello di integrazione Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 2 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Realizzazione di un modello physical based per la corrente dovuta Obiettivi all’effetto tunnel in diodi D.B.Q.W interbanda. Possibilità di effettuare reverse modelling su dispositivi quantistici. Dati Procedimento Caratteristiche Parametri fisici dei semiconduttori. Diagramma a bande nella regione svuotata. Definizione di un adeguato un formalismo simbolico. Implementazione del modello. Verifica sperimentale mediante confronto con i campioni da laboratorio forniti dal Motorola Physical Sciences Research Lab. Relativa semplicità formale. Accettabili possibilità di simulazione e previsione della caratteristica quasi-statica dei dispositivi. Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 3 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Modelli fisico - matematici per dispositivi ad effetto tunnel Modelli Coerenti L’elettrone è descritto come un pacchetto di onde piane. Si assume che la funzione d’onda mantenga coerenza di fase durante la transizione attraverso la barriera non sono considerati fenomeni collisionali. Envelope wave function Modelli Cinetici Sono prese in considerazione, in numero limitato, le collisioni con i fononi. L’elettrone può subire una variazione della propria Density Matrix Wigner Function Green’s Function energia E. Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 4 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Definizione del modello utilizzato Approccio scelto Modello di Kane a due bande E’ un modello coerente introdotto da E. O. Kane nel 1960. Descrive il comportamento di un elettrone in un sistema a due bande con dispersione di tipo parabolico (massa efficace costante). Lo stato dell’elettrone è identificato da un pacchetto di onde piane. La dinamica dell’elettrone è regolata da un sistema di due equazioni differenziali tipo Schrödinger accoppiate da un termine k·P. Tecnica di raccordo tra le soluzioni Matrici di trasferimento + Condizioni W.K.B. Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 5 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Modello di Kane a due bande Ipotesi preliminari Si considerano solo transizioni conservative. Si suppone di avere un moto unidirezionale ed una struttura omogenea ed illimitata nel piano trasversale alla direzione di trasporto. L’elettrone mantiene costante la quantità di moto nel piano trasversale. Il campo elettrico nella regione svuotata è costante. Per tenere conto degli effetti del drogaggio fortemente degenere si considera una massa efficace derivata da un modello a quattro bande ed una energia di gap ridotta (band gap narrowing) Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 6 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Modello di Kane a due bande: funzioni di propagazione j j 2 2 2 2 2 c (x, t) (x, t) (k k ) (x, t) E (x, t) P v (x, t) c y z c c c t 2m 0 x 2 2m* j x 2 2 2 2 2 v (x, t) (x, t) (k k ) (x, t) E (x, t) P c (x, t) v y z v v v t 2m 0 x 2 2m* j x se si cercano soluzioni stazionarie nella forma c (x) A exp j x v (x) B exp j x si ottiene con x j 1 2 m* 2 E g 4 E V x dx 2E g 2 m* 2 4 E V x E g dx 2E g x 1 Vx Ec E v 2 nella banda proibita nelle bande consentite Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 7 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Espressione della corrente di tunneling L’espressione della corrente di tunneling è data da 2E e m* I tun Va A 2 3 f c E, Va f v E, Va T E, Va exp dEdE 2 E dove T E, Va è il coefficiente di trasmissione attraverso la barriera E è l’energia dell’elettrone nel piano trasversale al moto f c E, Va è la distribuzione di Fermi - Dirac nello strato a drogaggio p f v E, Va è la distribuzione di Fermi - Dirac nello strato a drogaggio n Il coefficiente di trasmissione T dipende, in generale, dall’energia E dell’elettrone incidente e dalla tensione di polarizzazione Va applicata alla struttura. Nel caso classico di singola barriera sottile l’espressione che si ottiene è T E,Va exp 2 dove E,Va è la funzione di attenuazione della barriera Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 8 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Tecnica delle matrici di trasferimento Barriera singola a2 a1 b S b 2 1 Barriera doppia La matrice di trasferimento della struttura D.B.Q.W. è data da S S 2 S1 Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 9 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Coefficiente di trasmissione di un diodo DBQW 2 Il coefficiente di trasmissione è dato da T E,Va a2 a1 b2 0 Per una struttura D.B.Q.W. si ottiene: T E,Va 4 16exp 2 1 2 cos 2 4cosh 2 2 1 sin 2 dove 1 E,Va e 2 E,Va sono le funzioni di attenuazione delle barriere E,Va è la funzione di sfasamento della buca La condizione di risonanza è data da E, Va 2n 1 2 Tris 1 cosh 2 2 1 Il valore Tris assunto dal coefficiente di trasmissione in condizioni di risonanza dipende esclusivamente dalla differenza delle funzioni di attenuazione delle barriere. Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 10 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Valutazione della corrente di tunneling: parametro di calibrazione Il modello di Kane, come tutti i principali approcci, sia coerenti che cinetici, è caratterizzato da una sottostima dei valori di corrente, dovuta agli effetti che non sono presi in considerazione (transizioni non conservative, presenza di stati trappola e di superficie, campo elettrico non costante). Dato che tali fenomeni non sono direttamente implementabili nel modello, l’unico modo di evitare tale sottostima è quello di inserire un parametro di calibrazione C nelle funzioni di attenuazione delle barriere 1 E, Va 2 E, Va 1 ' E, Va C 1 E, Va 2 ' E, Va C 2 E, Va con C 1 Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 11 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Struttura dei diodi PSRL - Lot K11A-M21 Proc. MBE840 e MBE842 2 Energy (eV) 1 n InAlAs 0 p InGaAs Diagramma a bande fornito dal P.S.R.L. -1 -2 0 10 20 30 40 50 60 Position (nm) n Si p 2.00 1019 atomi/cm3 MBE840 20 3 1.35 10 atomi/cm C MBE842 1.14 1020 atomi/cm3 Versione linearizzata del diagramma a bande (campo elettrico costante) Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 12 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Misura delle caratteristiche dei prototipi Le caratteristiche statiche dei prototipi forniti dal P.S.R.L. sono state misurate utilizzando la strumentazione del Laboratorio di Microelettronica (L.M.E.). Dai dati ottenuti è stata quindi 0.0014 ricavata una caratteristica media K11A-M21 MBE840 2.5x2.5 m per il successivo confronto con i 0.0012 risultati forniti dalla simulazione del modello. I (Va) (A) 0.0010 0.00 0 8 0.00 0 6 0.00 04 0.00 0 2 0 0 0.1 0.2 03 0.4 0.5 0.6 0.7 Va (V) Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 13 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Applicazione della procedura di simulazione Definizione della struttura D.B.Q.W. Valutazione della dipendenza dalla tensione di polarizzazione dei parametri del diagramma a bande E (eV) 0.3 0.2 0.1 0 0 01 02 03 04 Va (V) Tunneling attraverso la buca di potenziale Tunneling diretto con passaggio nel IV strato Tunneling diretto senza passaggio nel IV strato Identificazione delle modalità di tunneling possibili (con e senza passaggio per la buca) Definizione di una mappa nel piano E,Va delle regioni associate alle varie modalità di tunneling Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 14 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Valutazione del coefficiente di trasmissione T(E,Va) 0.035 Nell’intervallo di energia in cui può avvenire il passaggio dei portatori, il coefficiente di trasmissione delle due barriere non subisce forti variazioni. La probabilità di tunneling presenta una discontinuità in corrispondenza del minimo della buca, dovuta al fatto che la condizione K11A-M21 MBE840 0.03 T (E,Va) 0.025 0.02 0.015 0.01 E,Va 0 0.005 0 0 0.05 0.1 0.15 0.2 E (eV) Va = 0 V Va = 0.2 V Va = 0.1 V Va = 0.3 V 0.25 0.3 0.35 0.4 massimizza il coefficiente di riflessione. Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 15 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Valutazione del coefficiente di trasmissione T(E,Va) 0.4 0.35 Per valori di energia superiori si riscontra un picco di risonanza. K11A-M21 MBE840 0.3 All’aumentare della tensione di polarizzazione la condizione di risonanza viene raggiunta più rapidamente ed il picco di risonanza diminuisce in ampiezza. T (E,Va) 0.25 0.2 0.15 0.1 0.05 0 0.1 0.2 0.4 0.3 E (eV) Va = 0 V Va = 0.2 V Va = 0.1 V Va = 0.3 V 0.5 0.6 0.7 E ris Va T E ris , Va Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 16 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Caratteristica statica : confronto con le misure di laboratorio Dati misurati K11A-M21 MBE840 2.5x2.5 m C = 0.52 0.0014 Vp 120 mV I p 1,18 mA 0.0012 Dati simulati I p 1,12 mA I (Va) (A) 0.001 8 10 6 10 4 10 2 10 Vp 124 mV 4 Errori commessi: tensione di picco: 3.3 % corrente di picco: 5.1 % 4 4 4 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 Va (V) Caratteristica misurata Caratteristica simulata Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 17 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Caratteristica statica : confronto con le misure di laboratorio Dati misurati K11A-M21 MBE842 2.5x2.5 m C = 0.52 0.0014 Vp 100 mV I p 0,55 mA 0.0012 Dati simulati I p 0,53 mA I (Va) (A) 0.001 8 10 6 10 4 10 2 10 Vp 108 mV 4 Errori commessi: tensione di picco: 8.0 % corrente di picco: 3.4 % 4 4 4 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 Va (V) Caratteristica misurata 0.6 0.7 0.8 L’errore commesso è in parte imputabile alla maggiore dispersione delle caratteristiche nel lotto di diodi misurato. Caratteristica simulata Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 18 di 19 Facoltà di Ingegneria Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni Laboratorio di Microelettronica Conclusioni e sviluppi futuri Risultati ottenuti Il modello è in grado di riprodurre con buona precisione l’andamento della corrente statica dei diodi nell’intervallo di tensioni in cui la componente di tunneling è predominante. In particolare il modello è in grado di prevedere gli effetti della variazione del drogaggio p = 16 % I p 53 % Sviluppi Verifica del comportamento del modello su strutture D.B.Q.W. con differenti caratteristiche. Implementazione, almeno per via semi – empirica, degli effetti di bordo che determinano una corrispondenza non lineare tra la corrente e la sezione del diodo. La parte di definizione fisico – matematica del modello è stata presentata con il titolo: L. Barletti, G. Borgioli, M. Camprini, A. Cidronali, G. Frosali “Tunneling current in resonant interband tunneling diodes” al V Congresso Nazionale della Società Italiana di Matematica Applicata e Industriale, SIMAI, Ischia 5-9 Giugno 2000. Modellistica del trasporto per diodi tunnel Double Barrier – Quantum Well (D.B.Q.W.) Interbanda n. 19 di 19