Facoltà di Ingegneria
Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni
Laboratorio di Microelettronica
Modellistica del trasporto per diodi tunnel
Double Barrier – Quantum Well interbanda
Candidato:
Matteo Camprini
Relatori:
Prof. G. Manes
Prof. G. Borgioli
Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni
Universitá di Firenze
Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni
Universitá di Firenze
Prof. G. Frosali
Ing. A. Cidronali
Dipartimento di Matematica Applicata “G. Sansone”
Universitá di Firenze
Dipartimento di Elettronica e Telecomunicazioni
Universitá di Firenze
Anno Accademico 1999 - 2000
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Diodi tunnel: caratteristiche
La principale caratteristica di un diodo tunnel è la
presenza di una regione di funzionamento a
resistenza differenziale negativa (N.D.R.).
Tale
proprietà
rende
i
diodi
tunnel
particolarmente utili in numerose applicazioni sia
analogiche che digitali.
NDR
Le moderne tecnologie nella lavorazione dei
semiconduttori consentono di realizzare strutture
multilayer e lattice – matched che permettono di:
 Ottimizzare i parametri di funzionamento R.F.
del diodo.
 Ottenere un elevato livello di integrazione
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Realizzazione di un modello physical based per la corrente dovuta
Obiettivi
all’effetto tunnel in diodi D.B.Q.W interbanda.
Possibilità di effettuare reverse modelling su dispositivi quantistici.
Dati
Procedimento
Caratteristiche
 Parametri fisici dei semiconduttori.
 Diagramma a bande nella regione svuotata.
 Definizione di un adeguato un formalismo simbolico.
 Implementazione del modello.
 Verifica sperimentale mediante confronto con i campioni da
laboratorio forniti dal Motorola Physical Sciences Research Lab.
 Relativa semplicità formale.
 Accettabili possibilità di simulazione e previsione della
caratteristica quasi-statica dei dispositivi.
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Modelli fisico - matematici per dispositivi ad effetto tunnel
Modelli
Coerenti

L’elettrone è descritto come un pacchetto di onde piane.

Si assume che la funzione d’onda mantenga coerenza
di fase durante la transizione attraverso la barriera

non sono considerati fenomeni collisionali.
Envelope wave
function
Modelli
Cinetici
 Sono prese in considerazione, in numero limitato, le
collisioni con i fononi.
 L’elettrone può subire una variazione della propria
Density Matrix
Wigner Function
Green’s Function
energia E.
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Definizione del modello utilizzato
Approccio scelto
Modello di Kane a due bande
 E’ un modello coerente introdotto da E. O. Kane nel 1960.
 Descrive il comportamento di un elettrone in un sistema a due bande con dispersione
di tipo parabolico (massa efficace costante).
 Lo stato dell’elettrone è identificato da un pacchetto di onde piane.
 La dinamica dell’elettrone è regolata da un sistema di due equazioni differenziali tipo
Schrödinger accoppiate da un termine k·P.
Tecnica di raccordo tra
le soluzioni
Matrici di trasferimento
+
Condizioni W.K.B.
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Modello di Kane a due bande
Ipotesi preliminari
 Si considerano solo transizioni conservative.
 Si suppone di avere un moto unidirezionale
ed una struttura omogenea ed illimitata nel
piano trasversale alla direzione di trasporto.
 L’elettrone mantiene costante la quantità di
moto nel piano trasversale.
 Il campo elettrico  nella regione svuotata è
costante.
 Per tenere conto degli effetti del drogaggio
fortemente degenere si considera una massa
efficace derivata da un modello a quattro
bande ed una energia di gap ridotta (band
gap narrowing)
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Modello di Kane a due bande: funzioni di propagazione

j


j

2
2

2

2
2
 c (x, t)  

(x,
t)

(k

k
)

(x,
t)

E

(x,
t)

P
 v (x, t)
c
y
z
c
c
c
t
2m 0 x 2
2m*
j x
2
2

2

2
2
 v (x, t)  

(x,
t)

(k

k
)

(x,
t)

E

(x,
t)

P
 c (x, t)
v
y
z
v
v
v
t
2m 0 x 2
2m*
j x
se si cercano soluzioni stazionarie nella forma
 c (x)  A  exp   j  x  
 v (x)  B  exp   j  x  
si ottiene
con
 x   j
1
2
m*
2
  E g  4  E  V  x   dx
2E g
2
m*
2
  4  E  V  x    E g dx
2E g
 x  
1
Vx 
Ec  E v
2
nella banda proibita
nelle bande consentite
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Espressione della corrente di tunneling
L’espressione della corrente di tunneling è data da

 2E  
e  m*


I tun  Va   A  2 3    f c  E, Va   f v  E, Va    T  E, Va   exp     dEdE 
2


 E 

dove
T  E, Va 
è il coefficiente di trasmissione attraverso la barriera
E
è l’energia dell’elettrone nel piano trasversale al moto
f c  E, Va 
è la distribuzione di Fermi - Dirac nello strato a drogaggio p
f v  E, Va 
è la distribuzione di Fermi - Dirac nello strato a drogaggio n
 Il coefficiente di trasmissione T dipende, in generale, dall’energia E dell’elettrone
incidente e dalla tensione di polarizzazione Va applicata alla struttura.
 Nel caso classico di singola barriera sottile l’espressione che si ottiene è
T  E,Va   exp  2 
dove   E,Va  è la funzione di attenuazione della barriera
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Tecnica delle matrici di trasferimento
Barriera singola
a2 
 a1 
b    S   b 
 2
 1
Barriera doppia
 La matrice di trasferimento della struttura D.B.Q.W. è data da
S   S 2     S1 
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Coefficiente di trasmissione di un diodo DBQW
2
Il coefficiente di trasmissione è dato da T  E,Va  
a2
a1
b2  0
Per una struttura D.B.Q.W. si ottiene:
T  E,Va  
4
16exp  2  1   2   cos 2   4cosh 2   2  1   sin 2 
dove 1  E,Va  e  2  E,Va  sono le funzioni di attenuazione delle barriere
  E,Va  è la funzione di sfasamento della buca
La condizione di risonanza è data da   E, Va    2n  1 

2
Tris 
1
cosh 2   2  1 
Il valore Tris assunto dal coefficiente di trasmissione in condizioni di risonanza
dipende esclusivamente dalla differenza delle funzioni di attenuazione delle barriere.
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Valutazione della corrente di tunneling: parametro di calibrazione
Il modello di Kane, come tutti i principali approcci, sia coerenti che cinetici, è
caratterizzato da una sottostima dei valori di corrente, dovuta agli effetti che non sono
presi in considerazione (transizioni non conservative, presenza di stati trappola e di
superficie, campo elettrico non costante).
Dato che tali fenomeni non sono direttamente implementabili nel modello, l’unico
modo di evitare tale sottostima è quello di inserire un parametro di calibrazione C nelle
funzioni di attenuazione delle barriere

 1  E, Va 

  2  E, Va 

 1 '  E, Va   C  1  E, Va 

  2 '  E, Va   C   2  E, Va 
con C  1
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Struttura dei diodi PSRL - Lot K11A-M21 Proc. MBE840 e MBE842
2
Energy (eV)
1
n InAlAs
0
p InGaAs
Diagramma a bande
fornito dal P.S.R.L.
-1
-2
0
10
20
30
40
50
60
Position (nm)
n   Si
p 
2.00 1019 atomi/cm3
MBE840


20
3
1.35 10 atomi/cm
 C 
MBE842

1.14 1020 atomi/cm3

Versione linearizzata del
diagramma a bande
(campo elettrico costante)
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Misura delle caratteristiche dei prototipi
Le caratteristiche statiche dei prototipi forniti dal P.S.R.L. sono state misurate utilizzando
la strumentazione del Laboratorio di Microelettronica (L.M.E.).
Dai dati ottenuti è stata quindi
0.0014
ricavata una caratteristica media
K11A-M21 MBE840
2.5x2.5 m
per il successivo confronto con i 0.0012
risultati forniti dalla simulazione del
modello.
I (Va) (A)
0.0010
0.00 0 8
0.00 0 6
0.00 04
0.00 0 2
0
0
0.1
0.2
03
0.4
0.5
0.6
0.7
Va (V)
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Applicazione della procedura di simulazione
 Definizione della struttura D.B.Q.W.
 Valutazione della dipendenza dalla tensione di
polarizzazione dei parametri del diagramma
a bande
E (eV)
0.3
0.2
0.1
0
0
01
02
03
04
Va (V)
Tunneling attraverso la buca di potenziale
Tunneling diretto con passaggio nel IV strato
Tunneling diretto senza passaggio nel IV strato
 Identificazione delle modalità di tunneling
possibili (con e senza passaggio per la
buca)
 Definizione di una mappa nel piano E,Va
delle regioni associate alle varie modalità
di tunneling
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Valutazione del coefficiente di trasmissione T(E,Va)
0.035
 Nell’intervallo di energia in cui può
avvenire il passaggio dei portatori, il
coefficiente di trasmissione delle
due barriere non subisce forti
variazioni.
 La probabilità di tunneling presenta
una discontinuità in corrispondenza
del minimo della buca, dovuta al
fatto che la condizione
K11A-M21 MBE840
0.03
T (E,Va)
0.025
0.02
0.015
0.01
  E,Va   0
0.005
0
0
0.05
0.1
0.15
0.2
E (eV)
Va = 0 V
Va = 0.2 V
Va = 0.1 V
Va = 0.3 V
0.25
0.3
0.35
0.4
massimizza il coefficiente di
riflessione.
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Valutazione del coefficiente di trasmissione T(E,Va)
0.4
0.35
 Per valori di energia superiori si
riscontra un picco di risonanza.
K11A-M21 MBE840
0.3
 All’aumentare della tensione di
polarizzazione la condizione di
risonanza viene raggiunta più
rapidamente ed il picco di
risonanza diminuisce in ampiezza.
T (E,Va)
0.25
0.2
0.15
0.1
0.05
0
0.1
0.2
0.4
0.3
E (eV)
Va = 0 V
Va = 0.2 V
Va = 0.1 V
Va = 0.3 V
0.5
0.6
0.7
E ris 
Va   
T  E ris , Va  
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Caratteristica statica : confronto con le misure di laboratorio
Dati misurati
K11A-M21 MBE840
2.5x2.5 m C = 0.52
0.0014
Vp  120 mV
I p  1,18 mA
0.0012
Dati simulati
I p  1,12 mA
I (Va) (A)
0.001
8 10
6 10
4 10
2 10
Vp  124 mV
4
Errori commessi:
 tensione di picco: 3.3 %
 corrente di picco: 5.1 %
4
4
4
0
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
Va (V)
Caratteristica misurata
Caratteristica simulata
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Caratteristica statica : confronto con le misure di laboratorio
Dati misurati
K11A-M21 MBE842
2.5x2.5 m C = 0.52
0.0014
Vp  100 mV
I p  0,55 mA
0.0012
Dati simulati
I p  0,53 mA
I (Va) (A)
0.001
8 10
6 10
4 10
2 10
Vp  108 mV
4
Errori commessi:
 tensione di picco: 8.0 %
 corrente di picco: 3.4 %
4
4
4
0
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
Va (V)
Caratteristica misurata
0.6
0.7
0.8
L’errore commesso è in parte
imputabile
alla
maggiore
dispersione delle caratteristiche
nel lotto di diodi misurato.
Caratteristica simulata
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Conclusioni e sviluppi futuri
Risultati ottenuti
 Il modello è in grado di riprodurre con buona precisione
l’andamento della corrente statica dei diodi nell’intervallo
di tensioni in cui la componente di tunneling è predominante.
 In particolare il modello è in grado di prevedere gli effetti
della variazione del drogaggio p = 16 %  I p  53 %
Sviluppi
 Verifica del comportamento del modello su strutture D.B.Q.W.
con differenti caratteristiche.
 Implementazione, almeno per via semi – empirica, degli effetti
di bordo che determinano una corrispondenza non lineare tra
la corrente e la sezione del diodo.
La parte di definizione fisico – matematica del modello è stata presentata con il titolo:
L. Barletti, G. Borgioli, M. Camprini, A. Cidronali, G. Frosali “Tunneling current in resonant interband
tunneling diodes” al V Congresso Nazionale della Società Italiana di Matematica Applicata e
Industriale, SIMAI, Ischia 5-9 Giugno 2000.
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