Tecnologia CMOS Transistor MOS Parametri Fisici e di Processo

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Transistor MOS
„
„
Il transistor MOS è un dispositivo a 4 terminali (drain, gate, source, body di
seguito indicati D, G, S, B)
Esistono due tipologie di transistor MOS:
„
„
„
„
Tecnologia CMOS
„
Lucidi del Corso di Elettronica Digitale
Modulo 3
„
„
Transistor a canale N (NMOS), in cui i portatori di carica sono gli elettroni
Transistor a canale P (PMOS) ), in cui i portatori di carica sono le lacune
Le caratteristiche del PMOS sono duali rispetto a quelle del NMOS
E’ completamente simmetrico, i terminali di drain e source si possono
scambiare ruolo a seconda del funzionamento
Il ruolo di source è assunto, convenzionalmente, dal terminale (fra S e D) a
potenziale più basso (nel caso del nmos) o più alto (nel caso del pmos)
Il quarto terminale (B, body o bulk) può essere trascurato solo quando
cortocircuitato col source (cosa non sempre, o quasi mai, possibile). Negli
altri casi il body del nmos (pmos) deve essere collegato al potenziale più
basso (alto) presente nel circuito.
La caratteristica del dispositivo dipende da un insieme di parametri di
processo (tensione di soglia, mobilità, capacità dell’ossido) noti a priori una
volta scelta una determinata tecnologia, e da parametri geometrici (W e L)
determinabili dal progettista.
Università di Cagliari
Dipartimento di Ingegneria Elettrica ed Elettronica
Laboratorio di Elettronica (EOLAB)
10 Ottobre 2006
Parametri Fisici e di Processo
Massimo Barbaro
2
Simboli circuitali del NMOS
k: costante di Boltzmann
T: temperatura (in gradi Kelvin)
q: carica dell’elettrone
UT = kT/q (indicata anche come VT): tensione termica. Dipende
solo dalla temperatura.
εOX, εS: costanti dielettriche dell’ossido di gate e del silicio.
tOX: Spessore dell’ossido di gate
COX=(εOX /tOX): capacità (per unità d’area) dell’ossido di gate
NB: drogaggio del substrato
ni: densità intrinseca di portatori del silicio
µn, µ p: mobilità di elettroni e lacune
VTn e VTp: tensioni di soglia dei transistor nmos e pmos
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
MOS: Simboli Circuitali
Parametri Fisici e di Processo (non modificabili dal progettista)
che determinano le caratteristiche del MOS:
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Simboli circuitali del PMOS
Useremo i simboli evidenziati in rosso, che sono i più comunemente usati per i circuiti
digitali. Il pallino (bubble) in ingresso al gate del pmos ha lo stesso significato visto nelle
porte logiche: rappresenta un segnale attivo basso (il pmos è acceso, ossia attivo, quando
la tensione sul gate è bassa).
3
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
4
Il transistor MOS: sezione trasversale
„
Struttura del transistor MOS (NMOS in questo caso)
Gate (polisilicio)
Source
Drain
VG>VTH
+ + + +
-
-
+++ + + + ++
Massimo Barbaro
10 Ottobre 2006
Il transistor MOS: triodo
„
„
„
- -
- --
Canale (formato se la tensione
di gate è maggiore della
tensione di soglia)
VB=0
5
-
ED - Tecnologia CMOS
Isolamento
(SiO2)
---
-
10 Ottobre 2006
Il substrato è di tipo P, quindi
ricco di portatori positivi
(lacune)
n+
-
p-Si (body)
VS=0
n+
n+
-
Ossido di gate
All’aumentare della tensione di gate (VG) rispetto al bulk (VB), il potenziale positivo
prima allontana i portatori positivi (lacune) naturalmente presenti nel silicio tipo P e
poi richiama dei portatori negativi (elettroni) nella zona immediatamente sotto il gate.
In tal modo si forma un canale conduttivo fra drain e source, non appena ilpotenziale
di gate supera una certa soglia (VTH)
++
„
Il transistor MOS: funzionamento
Se esiste il canale, applicando
una tensione positiva fra D e S si
può fare scorrere una corrente
elettrica (ID, corrente di drain)
ED - Tecnologia CMOS
„
VG1
VG2
VG3
VG3>VG2>VG1
n+
Massimo Barbaro
6
„
Per ulteriori incrementi della tensione di drain rispetto al source (VDS) ad un certo
punto la differenza di potenziale fra il gate ed il canale (in prossimità del drain)
diventa tanto piccola da diventare inferiore alla tensione di soglia ed il canale si
strozza (pinch-off)
Per aumenti della tensione di drain oltre questo limite (VG-VD=VTH, ossia
VDS=VGS-VTH) la corrente non aumenta più perché il canale è strozzato
VG>VTH
VG>VTH
n+
VD>0
Il transistor MOS: saturazione
Per basse tensioni di drain rispetto al source (VDS=VD-VS) il canale si comporta
come resistore (comportamento ohmico o lineare) e la corrente aumenta linearmente
con l’aumento della VDS.
Al variare della tensione di VGS (VG-VS) il canale diventa via via più popolato di
elettroni e quindi più conduttivo, quindi diminuisce il valore del resistore
Il transistor in triodo (o regione ohmica, o regione lineare) si comporta come un
resistore di valore variabile ed impostabile agendo sulla tensione di gate.
VS=0
n+
VD>0
VS=0
n+
n+
VD>0
Canale strozzato
VB=0
10 Ottobre 2006
All’aumentare di VGS vengono richiamati più elettroni nel
canale che diventa più conduttivo (lo spessore è più o
meno sempre lo stesso ma cambia la densità i portatori, la
grafica è volutamente esagerata per rendere il principio)
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
VB=0
7
10 Ottobre 2006
La condizione di strozzamento è:
VG – VD = VTH
Ossia
VG –VS – VD + VS = VTH => (VG-VS)-(VD-VS)=VTH
VDS = VGS - VTH
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
8
MOS come interruttore
MOS: modulazione lunghezza di canale
„
„
„
In realtà, per ulteriori aumenti della VDS, aumenta la polarizzazione ininversa della
giunzione pn fra drain e substrato, quindi aumenta la regione di carica spaziale
(RCS) di svuotamente della giunzione stessa.
L’effetto è quello di spostare verso sinistra il punto di pinch-off dunque diminuire la
effettiva lunghezza del canale.
A canale più corto corrisponde maggiore corrente (nell’unità di tempo riesce, a parità
di velocità a passare una maggiore quantità di carica)
„
In elettronica digitale il transistor MOS viene
fondamentalmente usato come interruttore, quindi in
prima approssimazione possiamo dire che:
„
VG>VTH
VS=0
VB=0
n+
n+
Il punto di strozzamento si sposta a
sinistra e diminuisce la lunghezza
del canale
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
„
VD>0
„
La resistenza, quando il MOS (N o P) è acceso, dipende
dalla regione di funzionamento, in particolare è:
„
Regione di svuotamento
(RCS)
Massimo Barbaro
„
9
NMOS: è spento per tensioni gate-source minori della
tensione di soglia (VGS<VTn) ed è acceso ed equivalente ad
una resistenza RON per tensioni gate-source maggiori della
tensione di soglia.
PMOS: è spento per tensioni source-gate minori della
tensione di soglia in valore assoluto (VSG<|VTp|) ed è acceso
ed equivalente ad una resistenza (piccola) RON per tensioni
source-gate maggiori della tensione di soglia.
PICCOLA: se il transistor è in regione lineare (triodo)
GRANDE: se il transistor è in regione di saturazione (dipende
dalla modulazione di lunghezza di canale)
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Interruttore NMOS
VGS>VTn
S
VGS<VTn
Il terminale di source è
(tipicamente) quello in basso ed
è collegato alla massa
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
10
Interruttore PMOS
RON
VSG>|VTp|
E’ sicuramente
acceso
se
VG=VDD
G
Massimo Barbaro
S
Massimo Barbaro
E’ sicuramente
acceso se VG=0
G
E’ sicuramente
spento se VG=0
VSG<|VTp|
Il terminale di source è
(tipicamente) quello in alto ed è
collegato all’alimentazione (VDD)
Circuito
aperto
11
RON
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
E’ sicuramente
spento
se
VG=VDD
Circuito
aperto
Massimo Barbaro
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MOS: calcolo della corrente (analitico)
In ogni punto x del canale (x=0 nel source, x=L) nel
drain, la corrente è data dalla carica per unità d’area,
moltiplicata per l’area percorsa dai portatori di carica
nell’unità di tempo
W
I DS = −Qi ( x)vn ( x)W
Quantità di carica per unità d’area
nel sistema MOS (la carica è
proporzionale a quanto la VG-V(x)
eccede la VTH)
L’area ricoperta dai portatori
nell’unità di tempo è data da un
rettangolo, largo come il canale e
lungo quanto lo spazio percorso dai
portatori nell’unità di tempo (ossia
la loro velocità)
W
vn
La velocità è proporzionale
al campo elettrico tramite il
parametro di mobilità
Qi ( x) = COX (VGS − V ( x) − VTH )
10 Ottobre 2006
Il campo elettrico
è la derivata del
potenziale
ED - Tecnologia CMOS
vn ( x ) = µ n E ( x )
E ( x) = −
I DS = WCOX (VGS − V − VTH ) µ n dV
Massimo Barbaro
13
VDS
0
0
Moltiplicando ambo i membri per dx:
I DS dx = WCOX (VGS − V − VTH ) µ n dV
2
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
I D = µ nCOX
I DS ∫ dx = WCOX µ n ∫ (VGS − V − VTH )dV
2
⎡
VDS ⎤
I DS L = WCOX µ n ⎢(VGS − VTH )VDS −
⎥
2 ⎦
⎣
ID =
W
L
2
⎡
VDS ⎤
⎢(VGS − VTn )VDS −
⎥
2 ⎦
⎣
5
I DS = µ nCOX
2
⎡
VDS ⎤
⎢(VGS − VTH )VDS −
⎥
2
⎣
⎦
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
Equazione in
regione lineare
Contributo della modulazione di
lunghezza di canale
Equazione in regione di saturazione
W
k =µC
L
n
10 Ottobre 2006
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1
⎛W ⎞
µ nCOX ⎜ ⎟(VGS − VTn )2 [1 + λVDS ]
2
⎝L⎠
Corrente di saturazione
W
L
Massimo Barbaro
NMOS: equazione caratteristica classica
Sapendo che la corrente deve essere costante lungo il canale per il principio di
conservazione della carica, possiamo integrare dx fra 0 e L e dV fra 0 e VDS:
L
dx
dV
dx
MOS: espressione della corrente
4
Mettendo tutto assieme e tenendo conto della formula della velocità, abbiamo:
1
L
3
MOS: espressione della corrente
15
10 Ottobre 2006
n
OX
Rapporto di forma:
unico parametro
modificabile dal progettista
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
16
NMOS: Regioni di funzionamento
ID =
I D ≈ µ nCOX
W
[(VGS − VTn )VDS ]
L
NMOS: curve caratteristiche classiche
1
⎛W ⎞
µ nCOX ⎜ ⎟(VGS − VTn )2 [1 + λVDS ]
2
⎝L⎠
IDS
Curve caratteristiche di
un NMOS con W/L=1 e
L=10um in tecnologia
90nm
Saturazione
ID
La corrente è positiva quando
scorre dal drain al source
VGS=0.875
Triodo
Pendenza curva I/V molto piccola,
quindi elevata resistenza
VGS=1.000
Saturazione
VGS=0.750
VDS ⎤
W⎡
⎢(VGS − VTn )VDS −
⎥
2 ⎦
L⎣
Le
curve
crescono
all’aumentare di VGS (allo
VGS=0.625
aumentare di VG)
2
I D = µ nCOX
Triodo
Pendenza curva I/V molto grande,
quindi piccola resistenza
L’asse delle ascisse è VDS (quindi
la
corrente
aumenta
allo
aumentare di VD)
VDS
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
VDS
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10 Ottobre 2006
PMOS: curve caratteristiche classiche
ISD
La corrente è positiva quando
scorre dal source al drain
VSG=1.000
Curve caratteristiche di
un PMOS con W/L=2 e
L=10um in tecnologia
90nm
Le curve crescono
all’aumentare di VSG (al
diminuire di VG)
L’asse delle ascisse è VSD (quindi
la corrente aumenta al diminuire
di VD)
VGS=0.375
VGS=0.250
VGS-VTn
10 Ottobre 2006
VGS=0.500
Massimo Barbaro
18
MOS: effetti di canale corto
„
VSG=0.875
„
VSG=0.750
„
VSG=0.625
„
VSG=0.500
ED - Tecnologia CMOS
Le equazioni viste valgono per transistor classici a canale lungo e
sono comunque sufficienti per fare ragionamenti qualitativi sui
circuiti
In realtà, il comportamento di transistor comunemente usati per
realizzare circuiti digitali si discosta pesantemente da quello visto
poiché entrano in gioco effetti del secondo ordine che un tempo
erano trascurabili data la lunghezza del transistor
Per fare ragionamenti quantitativi è necessario avere una maggiore
comprensione del reale funzionamento dei MOS e di quali sono le
vere equazioni che ne descrivono il comportamento
Fra i fenomeni che modificano le equazioni dei MOS digitali (a
canale sub-micrometrico), il più importante è quello della
saturazione della velocità (velocity saturation) ed è quello di cui
dovremo tenere conto per l’analisi quantitativa dei nostri circuiti
VSG=0.375
VSG=0.250
VSD
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
19
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
20
Velocity saturation
vn = µ n E
MOS: espressione della corrente
ƒLe equazioni classiche si basano sull’assunzione che la velocità
dei portatori di carica (elettroni o lacune) sia proporzionale al
campo elettrico orizzontale fra drain e source, attraverso una
costante di proporzionalità denominata mobilità.
vp = µ p E
Rifacendo i conti analitici e tenendo conto della formula della velocità, abbiamo:
I DS = WCOX (VGS − V − VTH )
1
ƒIn
realtà la velocità dei portatori, per campi elettrici elevati,
non aumenta linearmente ma viene limitata dagli effetti di
scattering (collisioni) col reticolo del semiconduttore.
1+
ƒLa
conseguenza è che la mobilità non è una costante ma
varia col campo elettrico orizzontale (E).
ƒEsiste un valore critico del campo elettrico (EC) oltre il quale la
velocità satura e non aumenta più per ulteriori aumenti del
campo elettrico.
µ n dV dx
vn =
ƒQuindi la dipendenza della velocità dal campo è non lineare
ƒQuesto effetto è presente anche nei transistor a canale lungo,
µn E
E
1+
EC
dV
dx
EC
⎛ dV ⎞
dx ⎟ = WC (V − V − V ) µ dV
I DS ⎜1 +
OX
GS
TH
n
⎜
dx
EC ⎟
⎝
⎠
2
solo che in tale caso il campo elettrico orizzontale risulta più
piccolo e non raggiunge il valore critico
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
21
10 Ottobre 2006
MOS: espressione della corrente
L
4
5
I
I DS ∫ dx + DS
EC
0
VDS
∫ dV = WC
OX
0
„
VDS
µ n ∫ (VGS − V − VTH )dV
„
0
2
⎡
VDS ⎤
I DS
VDS = WCOX µ n ⎢(VGS − VTH )VDS −
I DS L +
⎥
2 ⎦
EC
⎣
I DS =
10 Ottobre 2006
µ nCOX W ⎡
1+
VDS
LEC
„
VDS ⎤
⎢(VGS − VTH )VDS −
⎥
2 ⎦
L⎣
ED - Tecnologia CMOS
2
Massimo Barbaro
Massimo Barbaro
22
Velocity saturation: considerazioni
Moltiplicando ambo i membri per dx ed integrando (sapendo che la corrente deve
essere costante lungo il canale per il principio di conservazione della carica):
3
ED - Tecnologia CMOS
23
L’espressione è uguale a quella classica con, in
più, un termine al denominatore
La corrente effettiva è dunque più piccola di
quanto atteso, tanto più piccola quanto più è
grande il termine VDS/L, che fornisce una sorta
di misura del “campo medio” nel canale
Tanto più tale valore si avvicina al valore critico
(quindi maggiore è VDS o minore è L) tanto più il
transistor è affetto dal fenomeno di saturazione
della velocità
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
24
Il transistor MOS: saturazione
„
„
„
MOS: corrente di saturazione
Il primo effetto che si può osservare è che la saturazione del transistor non avviene
più a causa del pinch-off.
Infatti, per tensioni minori della tensione di pinch-off, la velocità dei portatori di carica
satura e raggiunge un valore massimo
La conseguenza quantitativa è che la corrente di saturazione è molto più piccola di
quanto predetto dall’equazione classica ed avviene per tensioni molto più basse
VS=0
-
n+
n+
supponiamo che la saturazione della velocità avvenga bruscamente per un certo
campo critico e che prima del valore critico abbia il valore costante normalmente
utilizzato.
In questo modo l’equazione del transistor in triodo rimane quella classica e cambia
solo l’espressione per la corrente di saturazione, che ricaviamo dall’equazione
classica sostituendo il nuovo valore della tensione di saturazione (che è la tensione per
cui il campo raggiunge il valore critico)
VG>VTH
vsat
Le equazioni reali sono di difficile utilizzo, quindi useremo una semplificazione del
primo ordine che si rileva però molto utile ed efficace per l’analisi dei circuiti digitali:
VD>0
vn
vsat
Approssimazione
con una spezzata
vsat = µ n EC = µ n
Curva reale
Prima ancora che il canale si strozzi gli elettroni
raggiungono la velocità di saturazione e la corrente non
può aumentare pù
VB=0
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
VDSAT =
EC
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MOS: corrente di saturazione
10 Ottobre 2006
E
ED - Tecnologia CMOS
I DS = µ nCOX
I DS = µ nCOX
VGS=0.875
VGS=0.750
IDS
V
W
⎤
⎡
VDSAT ⎢(VGS − VTH ) − DSAT ⎥
L
2 ⎦
⎣
VGS=0.625
VGS=0.500
La saturazione
tensioni più basse
arriva
per
Massimo Barbaro
27
VGS=0.375
VGS=0.250
La dipendenza dalla VGS è LINEARE anzi che
QUADRATICA
ED - Tecnologia CMOS
26
VGS=1.000
I delta di corrente di saturazione
sono
uguali
quindi
la
dipendenza
dalla
VGS
è
LINEARE
V
⎡
⎤
I DS = k nVDSAT ⎢(VGS − VTH ) − DSAT ⎥
2 ⎦
⎣
10 Ottobre 2006
µn
MOS: caratteristiche a canale corto
2
⎡
VDSAT ⎤
⎢(VGS − VTH )VDSAT −
⎥
2
⎣
⎦
Costanti di processo e progetto
Lvsat
Massimo Barbaro
La corrente di saturazione risulta quindi pari a:
W
L
VDSAT
L
VDS
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
28
Confronto fra canale corto e lungo
MOS: caratteristica IDS/VGS
Canale lungo
Canale
lungo:
QUADRATICA
A parità di W/L
IDS
dipendenza
IDS
Canale corto
Canale
lungo:
LINEARE
dipendenza
VDS
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
VGS
29
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
PMOS
„
„
„
„
⎡
VDSATp
⎢(VSG − VTHp ) −
2
⎢⎣
⎤
⎥
⎥⎦
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
Per calcoli manuali è possibile, quindi, utilizzare un modello unificato (semplificato) che
dia un’unica espressione valida in tutte le regioni di funzionamento:
VGS − VTH ≤ 0
0
ID =
W
k'
L
2
⎡
Vmin ⎤
⎢(VGS − VTn )Vmin −
⎥
2 ⎦
⎣
Vmin = min(VGS − VTH ,VDS , VDSAT )
Con
Positiva se scorre dal source al drain
10 Ottobre 2006
30
MOS: modello unificato
Nel caso del PMOS vale tutto in modo duale
Le equazioni sono identiche a patto di considerare la
corrente IDS positiva quando scorre dal source al drain
Al posto delle tensioni VDS e VGS bisognerà usare le
tensioni VSD e VSG
Le tensioni di saturazione (VDSATp) e di soglia (VTHp)
sono negative, quindi nella formula se ne prende il
valore assoluto:
I SDp = k p VDSAT
Massimo Barbaro
31
E’ facile verificare che per
VDS<(VGS-VTH,VDSAT)
si ottiene l’espressione in triodo.
Con
VDSAT<(VDS,VGS-VTH)
siamo in regime di saturazione di
velocità
k ' = µCOX
10 Ottobre 2006
VGS − VTH > 0
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
32
Capacità parassite
Sovrapposizioni (overlap) fra gate/drain e gate/source: danno origine a 2
capacità proporzionali all’area di sovrapposizione
Tecnologia CMOS
n+
n+
Capacità parassite
Capacità di giunzione del
diodo PN (due contributi:
area e perimetro). Le
stesse capacità sono
ovviamente
associate
anche al drain
Università di Cagliari
Dipartimento di Ingegneria Elettrica ed Elettronica
Laboratorio di Elettronica (EOLAB)
10 Ottobre 2006
Layout
„
„
„
„
ED - Tecnologia CMOS
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
34
Layout e capacità parassite
Il layout è una vista dall’alto della fetta di silicio
che consente di determinare dove verranno
realizzati i dispositivi
Ad ogni passo di processo è associato un
diverso layer (colore)
Rettangoli appartenenti a diversi layer
rappresentano, ad esempio, dove verranno
realizzati i gate di polisilicio, le diffusioni di drain
e source, le piste di metal e così via
Sul layout è possibile stimare le dimensioni e
quindi le capacità parassite associate
10 Ottobre 2006
Capacità dell’ossido, fra
gate e canale (se esiste il
canale) altrimenti fra gate
e body
Massimo Barbaro
35
W
Area di source
AS=WZ
Poly
Z
Diffusione n+
Si forma un
MOS per ogni
intersezione
fra
poly
e
diffusione
Metallo
L
Contatto
Perimetro di drain
PD=W+2Z
Area di gate
AG=WL
10 Ottobre 2006
(non si computa il lato
che confina col canale)
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
36
Capacità parassite
Capacità di gate/canale (gate/body)
Tutte le capacità parassite sono non lineari, il
che vuole dire che non sono parametri costanti
del problema ma cambiano al cambiare delle
tensioni in gioco.
In particolare, il valore delle capacità connesse
al gate cambia a seconda della regione di
funzionamento del MOS
„
„
„
Cutoff: non esiste il canale quindi gate e source/drain
sono isolati, tutta la capacità dell’ossido (COXWL) è fra
gate e body
„
„
Triodo: si è formato il canale che è omogeneamente
distribuito sotto tutto il gate. Il body è isolato dal gate
dalla presenza del canale, mentre la capacità dell’ossido
si suddivide equamente fra gate/drain e gate/source
„
„
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
37
CGB=0, Cgs=COXWL/2, Cgs=COXWL/2
Saturazione: il canale si strozza quindi non c’è più
capacità fra gate e drain, la capacità dell’ossido solo in
parte si associa al source
„
10 Ottobre 2006
CGB=COXWL, Cgs=0, Cgd=0
CGB=0, Cgs=2/3 COXWL, Cgd=0
10 Ottobre 2006
Capacità di sovrapposizione (overlap)
„
Fra gate/drain e gate/source è sempre presente anche
la capacità dovuta alla sovrapposizione (overlap) del
gate di polisilicio con l’area di drain o gate. Tale capacità
è proporzionale alla larghezza del canale.
Le capacità parassite di overlap
sono proporzionali all’area di
sovrapposizione:
10 Ottobre 2006
xd
CgsO=COXxdW=COVW
CgdO=COXxdW=COVW
W
Il parametro xd (quindi COV) è una
costante del processo quindi non
dipende dal progettista
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
„
38
„
La capacità di diffusione (di source e drain) è data da
due contributi: area e perimetro della diffusione. Tali
contributi sono non lineari (variano al variare della
tensione) ma possono essere sostituiti da due capacità
equivalenti costanti (nel range di tensioni di interesse)
L’area di source (drain) è proporzionale a W. Il perimetro
invece viene calcolato senza tenere conto del lato che
confina col canale
„
„
39
Massimo Barbaro
Capacità di diffusione
„
L
ED - Tecnologia CMOS
I valori equivalenti delle due capacità sono dunque
„
„
„
AD=WZ, AS=WZ
PD=W+2Z, PS=W+2Z
CSB=Keq(CJ0AS+CJSW0PS)
CDB= Keq(CJ0AD+CJSW0PD)
I parametri CJ0 e CJSW0 sono costanti di tecnologia, Keq
dipende dal range di tensioni
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
40
Capacità parassite
„
Capacità parassite
Riassumendo, le capacità parassite di un MOS
sono:
G
COXWL
0
0
COVW
COXWL/2+ COVW
2/3COXWL+ COVW
S
D
CGD
COVW
COXWL/2+ COVW
COVW
CGB
CSB Keq(CJ0AS+CJSW0PS) Keq(CJ0AS+CJSW0PS) Keq(CJ0AS+CJSW0PS)
CDB
CDB Keq(CJ0AD+CJSW0PD) Keq(CJ0AD+CJSW0PD) Keq(CJ0AD+CJSW0PD)
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
41
Riassumendo
Esistono 2 tipi di transistor (NMOS e PMOS) che hanno
comportamento duale
Per un’analisi del primo ordine lo NMOS (PMOS) è un
interruttore che si apre se la tensione in ingresso al gate
è bassa (alta) e si chiude se è alta (bassa)
L’effetto di saturazione di velocità nei MOS a canale
corto fa sì che:
„
„
„
CGB
CGS
10 Ottobre 2006
„
Saturazione
CGD
B
„
Triodo
CGS
CSB
„
Cutoff
Saturino per tensioni molto più piccole di quanto atteso
La corrente di saturazione dipenda linearmente anzi che
quadraticamente dalla tensione di gate
La presenza di varie capacità parassite limita le
prestazioni dinamiche dei dispositivi
10 Ottobre 2006
ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
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ED - Tecnologia CMOS
Massimo Barbaro
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