Programma del Corso Definizioni e grandezze fondamentali z y z Sensibilità, risoluzione, selettività…. y y y y y Elettronica per sensori z y y y Generatori di tensione e corrente Op. amp Ponti di resistenze Sensori di temperatura z y y y y y y y y y z Tecniche ottiche Fibre ottiche Fotoconduttori Fotovoltaici fotocatodi Bolometri e piroelettrici z Deformazione Spostamento Accelerazione e forza Flusso Pressione Sensori Chimici y y y y Termistori Termocoppie Piroelettrici Sensori di radiazione z Sensori Meccanici Interazione gas-solido ChemFET Trasduzione di massa Chemoresistenze Calibrazione di sensori y y Regressione statistica Introduzione alle reti neurali Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group Sensori: definizione z Sensori, trasduttori e attuatori (una definizione possibile) Grandezza qualsiasi trasduttore Grandezza qualsiasi z sensore attuatore Grandezza elettrica Sensore: Dispositivo Elettronico che converte una grandezza fisica, chimica o biologica in un segnale elettronico. y y Termometro clinico: temperatura Æ lunghezza non è un sensore Termistore: temperatura Æ resistenza elettrica è un sensore z Il sensore è quindi un componente di un circuito elettronico che lega le grandezze del circuito (corrente, tensione, frequenza o fase) ad una o più grandezze ambientali. Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 1 La catena di trasduzione z z Generalmente un sensore è costituito di una serie di elementi in cui la grandezza “misurata” viene trasdotta in grandezze intermedie fino ad arrivare al segnale elettrico. Esempio: accelerometro fla R(a ) Da M C(a) accelerazione fi Deflessione del cantilever: a fi Riduzione della distanza tra le armature: d fi Variazione della capacità DC Fig ura 1 Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group I sensori e l’elettronica I componenti elettronici hanno valori e parametri dipendenti o dalle caratteristiche costruttive o dalle caratteristiche del circuito stesso. z Tramite i sensori il comportamento di un circuito elettronico dipende dall’ambiente (o meglio da quelle caratteristiche dell’ambiente a cui il sensore è sensibile). z Queste caratteristiche rendono possibili una serie di applicazioni dalla realizzazione di strumenti di misura alla mimesi delle attività degli esseri viventi (robotica). z Più il sistema diventa complesso più cresce il numero di sensori, cioè le interfacce con l’ambiente esterno fi sistema multisensoriale. z Un sistema multisensoriale è un sistema in cui le informazioni di più sensori concorrono a definere la conoscenza di un ambiente. z y Sensor fusion Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 2 I Microsensori La tecnologia del silicio (microelettronica) rende possibile la realizzazione di sistemi sensoriali in cui l’elemento sensibile sia integrato sullo stesso chip con l’elettronica di controllo e misura. z Accelerometro Sensore di pressione Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group Paradigma Sensoriale “par excellance”: il corpo umano z z Il corpo umano acquisisce conoscenza dell’ambiente attraverso i recettori sensoriali Recettori sensoriali di tipo y y z z z z FISICO: tatto, temperatura, ottica (visione), acustica (udito),… CHIMICO: olfatto e gusto I segnali dei recettori vengono elaborati (sensazioni) ed integrati per formare la conoscenza (percezione) di un ambiente. Il corpo umano possiede anche degli attuatori Attuatori esterni: meccanici (muscoli) ed acustici (voce) che gli consentono di interagire con l’ambiente. Attuatori interni: biochimici (enzimi, ormoni,…) che gli consentono di modificarsi in funzione dell’ambiente. Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 3 Sensazione e Percezione z z z Sensazione: “Avverte i movimenti delle cose” Percezione: “Riferisce le sensazioni alle cose stesse” y Cartesio: “Le passioni dell’anima” (1649) y Inciso : I movimenti Æ concetto differenziale (sensibilità) La percezione come concetto multisensoriale: y “coscienza immediata di un tutto strutturato (totalità) le cui parti, considerate singolarmente) non presentano le stesse qualità della totalità. La percezione ha proprietà inscindibili dal tutto (non ne è la mera somma)” (Gestaltpsychologie) Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group I parametri caratteristici dei sensori: 1. La curva di risposta z z z z z Formalmente un sensore descrive un mapping dallo spazio del misurando allo spazio del segnale d’uscita. Se questi spazi hanno dimensione 1, il sensore è rappresentabile attraverso una funzione V=f(M). Questa funzione è detta risposta I/O o caratteristica del sensore e rappresenta il parametro fondamentale per caratterizzare un sensore. La conoscenza della curva di risposta permette di usare il sensore come strumento di misura: dalla misura di V si evince una stima del misurando M La curva di risposta si ottiene attraverso un processo di calibrazione. Misurando M sensore Segnale V V Regione non-lineare saturazione Regione lineare M Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 4 I parametri caratteristici dei sensori: 2. Reversibilità z M La reversibilità esprime la capacità del sensore di seguire, con una dinamica tipica del sensore stesso, le variazioni del misurando. In particolare, un sensore è reversibile se al cessare della sollecitazione del misurando la risposta del sensore si annulla. reversibile M Integrale “dosimetro” t V mono-uso “disposable” M t V t V t t t Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group I parametri caratteristici dei sensori: 3. Sensibilità z z z La sensibilità è definita come il rapporto tra la variazione della risposta del sensore e la variazione del misurando. Definisce la capacità del sensore di seguire le variazioni del misurando (cfr. definizione di Cartesio della sensazione) Matematicamente, si esprime come la derivata della curva di risposta del sensore S= z z dV dM Nella regione di non linearità, S è funzione del misurando. Nella regione di linearità S è massima, perciò sono massime le prestazioni del sensore Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group V M Regione lineare Regione non-lineare saturazione S M 5 Sensibilità Globale sensore M trasduttore X sensore Vout amplificatore Va filtro A/D conv N Vf condizionamento z Ognuno dei blocchi è caratterizzato da una sua funzione caratteristica che lega l’uscita all’ingresso e quindi da una sensibilità. ( ) )) ( ( ( ( ( dN d S= = f f ( f ( f ( M )))) dM dM AD ( f A s ( ) ))) N = f AD v f = f AD f f (v A ) = f AD f f f A (v out ) = f AD f f f A f s ( M ) z Non solo il sensore risente della variazione del misurando M. Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group Esempio: Sensibilità di un Sensore resistivo di temperatura (Termistore) RT (T ) = Ro (1+ aT ); I V1 = RT (T ) ⋅ I ∆r(T) V1 + - V1 = A ⋅ V 2 A V2 ∂V2 ∂V2 ∂Vi ∂R = ⋅ ⋅ = S i ⋅ ST ⋅ S A ∂T ∂V1 ∂R ∂T S = A ⋅ I ⋅ a ⋅ Ro S= ∆T fi ∆R fi ∆V1 fi ∆V2 S= ’S j j Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 6 I parametri caratteristici dei sensori: 5. Risoluzione z z z z z La risoluzione è legata all’esistenza degli errori di misura e del rumore. Per questo motivo, il segnale del sensore non è una grandezza deterministica ma ha una componente aleatoria: V±dV. Dove dV esprime tutti gli errori di misura dV è limitato inferiormente dal rumore elettronico del segnale V. La risoluzione esprime come l’incertezza dV si traduce in una incertezza dM sulla misura del misurando. Vout Vnoise Nella regione lineare: resolution = lim = S Vout ÆVnoi se S dM = V±dV tan a = S = dV S z z dV dM M±dM Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group M z La risoluzione dipende dalla sensibilità. In sensori con sensibilità più alta gli errori di misura influiscono di meno sulla stima del misurando. La definizione vale anche per sensori non lineari, se nell’intervallo dV la curva è assimilabile ad una retta. Rumore elettronico z z z Il rumore è la manifesazione della natura statistica dei fenomeni che regolano il passaggio di corrente. Questo è dovuto principalmente alla natura discreta dei fenomeni elettrici. Per definizione il rumore è: y y y y A media nulla Statisticamente definito Distribuito in frequenza A valore efficace diverso da 0. Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 7 Densità Spettrale di Rumore z z La potenza è proporzionale al quadrato della tensione (rms) o della corrente (rms). La densità spettrale di potenza di rumore è definita come: pn = z ÈW ˘ ÎÍ Hz ˚˙ Le densità spettrale di tensione e corrente sono definite come: dEn2 df en = z dPn df È V ˘ ; ÍÎ Hz ˙˚ in = dI n2 df È A ˘ ÍÎ Hz ˙˚ La tensione o la corrente di rumore, in una data banda di frequenza, si esprimono come: En [ f1 Æ f 2 ] = f2 2 n Ú e df [V ] ; f1 I n[ f 1 Æ f 2] = f2 Úi 2 n df f1 [ A]; Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group Distribuzioni spettrali di Rumore Sv(f) [V2/Hz] -20dB/dec 1/f -40dB/dec G-R shot termico log f termico : S ( f ) = 4kTR shot : S ( f ) = 2aI o G- R: t 1+ w 2 t 2 Vb S ( f ) = K a [b ª 2;a ª 1] f flic ker : S( f ) = Ko Rumore in eccesso Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 8 Rumore Termico (Johnson Noise) Potenza media di rumore Johnson generata per agitazione termica degli elettroni in un resisitore e dissipata in un circuito contenente un resistore di uguale valore. z Pn = kTB k = 1.38 ⋅ 10 -2 3 [W ] J K In un circuito matched “R-R” la potenza dissipata in una delle due è data da: z 2 Pn = 1 ÊÁ En ˆ fi E n = 4kTRB RË 2 ¯ [V ] ( ) ª E n = 0.129 RB R[ MW ] esempio : R = 1KW ; B = 1KHz fi En = 0.129 mV R = 100W ; B = 1KHz fi En = 41 nV Il rumore Johnson si può anche esprimere con il generatore di corrente z In = En B = 0.129 R [ MW ] R R ( ) Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group Rumore shot z z z Termine che esprime la natura discreta della corrente che attraversa una giunzione E’ un rumore in eccesso, quindi si manifesta solo quando una corrente viene iniettata nel dispositivo. Importante nei dispositivi a giunzione I n = 2eIB = 5.66 ⋅ 10-10 IB I n [ pA] = 0.566 IB con I [mA] Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 9 Rumore Flicker z z Rumore “universale” presente in tutti i fenomeni. Aumenta “indefinitamente” al diminuire di f. S= cost fa con a ª 1 f2 En = K Ú f1 z 1 f df = K log 2 f f1 La quantità di rumore dipende solo dal rapporto f2/f1. Decadi diverse forniscono lo stesso rumore: y y En[10KHz-1KHz]= E n[0.01Hz-0.001KHz] Se il rumore nella decade (0.1-1) Hz è pari ad 1 mV, il rumore nelle 9 decadi (10-91) Hz è x 10 -9 Hz = 30 anni! 9 ⋅ 1mV = 3mV Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group Esempio: sensori chimici resistivi Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 10 Esempio: Risoluzione di un Sensore resistivo di temperatura (Termistore) ∂V2 ∂V2 ∂Vi ∂R = ⋅ ⋅ = S i ⋅ ST ⋅ S A ∂T ∂V1 ∂R ∂T S = A ⋅ I ⋅ a ⋅ Ro I S= ∆r(T) V1 + - A V2 DTres = DTres = lim DV 2 ÆV n oise lim DV 2 ÆV n oise ∆T fi ∆R fi ∆V1 fi ∆V2 DV2 DV 2 = lim S t ot DV 2 ÆV noise A ⋅ I ⋅ a ⋅ Ro D V2 Sj ’ j Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group I parametri caratteristici dei sensori: 4. Selettività e cross-sensitivity (II) Stato dell’ambiente quanttità ambiente Sensibilità Sensibilità grandezze Sensore SPECIFICO Sensore NON SELETTIVO grandezze V @ Sj ⋅ M j grandezze V= Â Si ⋅ M i i Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 11 I parametri caratteristici dei sensori: 6. Limite di rivelazione z z z La risoluzione calcolata per un segnale uguale a 0, definisce il limit of detection (LOD) del sensore. La definizione traduce il fatto che non può esservi misura inferiore al suo errore. Quando l’errore di misura raggiunge il suo limite inferiore, il rumore elettronico Vn, si ha il limite di rivelazione teorico per quel sensore. Si definisce un LODconvenzionale= (3 o 9)*LOD. LOD = dV tan a = S = dM Vn Vn S M LOD Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group I parametri caratteristici dei sensori: 7. Accuratezza e Riproducibilità z z z Accuratezza: capacità di un sistema di misura di fornire un valore del misurando uguale al valor vero (ignoto) Riproducibilità: capacità di un sensore di fornire lo stesso segnale a parità di condizioni ambientali. Sono grandezze statistiche: date N misure, il valor medio è relativo alla accuratezza e la varianza alla riproducibilità. • •• •• • • ••••••• Yes Accuracy Yes Reproduc. • • • • • • • • • • • • • • • Yes Accuracy No Reproduc. • • • • • • • • • • •• •• • • •• •••• • • • • • No Accuracy No Reproduc. No Accuracy Yes Reproduc. Figure 2: Pictorical representation of the definitions of accuracy and reproducibility Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 12 I parametri caratteristici dei sensori: 8. Drift Modifica temporale impredicibile delle caratteristiche del sensore. In pratica, la curva di risposta si modifica col tempo per cui, nella stima del misurando si introduce un errore che cambia (in genere cresce col tempo). Il drift definisce il tempo di vita della calibrazione del sensore, cioè dopo quanto tempo usare la stessa curva di risposta da luogo ad errori sul misurando non tollerabili. z z z t0 t1 t2 V M Mm Mv Mv Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group Esempio di un sensore reale accelerometro ADXL50A z Curva di risposta V ( a) = V0 + a⋅ K z Sensibilità † dV S= =K da z V0 = 1.8V ; K = 0.019 V g a= V - 1.8 g 0.019 † mV S = 19 g Range dinamico †y Il range dinamico stabilisce il range di linearità entro il quale cioè la sensibilità si mantiene costante, quindi le caratteristiche del sensore sono costanti. Tale range è ± 50 g. S Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 13 Esempio di un sensore reale accelerometro ADXL50A z Rumore La densità di rumore bianco del sensore è 125 y Se ad esempio il segnale è filtrato da un filtro passa basso con frequenza di taglio 10 Hz, il valore quadratico medio (rms) del † rumore sarebbe Vnoise , z mV y rms = 125 mV Hz Hz ⋅ 10Hz = 395 mV Risoluzione † Resolution = y mV Vn 125 Hz mg = = 6.6 mV S 19 g Hz 1 mg =10 -3 g=0.0098 m/s 2 in una misura reale in cui il segnale è filtrato da un filtro passa basso con frequenza di taglio 10 Hz si otterrebbe una risoluzione pari a 20 mg. † Corrado Di Natale, Sensors and Microsystems Group 14