Supervisione della distribuzione di gas
in uno stabilimento di semiconduttori a Dresda
Il sistema SCADA FabView™ (di Air Liquide) e ALERT
supervisionano la distribuzione di gas nello stabilimento
di Dresda (Germania) di un produttore di semiconduttori
La missione di AIR LIQUIDE Electronics', grazie alla continua leadership tecnologica nel settore
dei gas, degli equipment e dei servizi, è la creazione di valore mondiale per I Clienti
nell’industria elettronica, fornendo soluzioni innovative globali nel settore dei fluidi che siano
rispettose dell’ambiente.
La fabbricazione dei semiconduttori in particolare richiede sempre la migliore qualità dei
materiali utilizzati (come i prodotti chimici gassosi e liquidi), quindi l’aggiornamento è chiave
nel campo dei sistemi di distribuzione dei fluidi.
AIR LIQUIDE Electronics nel 2003 ha fornito una soluzione completa a Electronics Speciality
Gases (ESG) per un nuovo stabilimento di produzione di semiconduttori a Dresda.
AIR LIQUIDE fornisce inoltre il Total Gas Management Services (TGM) per utilizzare i sistemi
installati. Per la supervisione continua dei sistemi il team TGM utilizza lo SCADA (Supervisory
Control And Data Acquisition) FabView™ di Air Liquide. FabView™ è un’applicazione utilizzata
per il monitoraggio e la visualizzazione di allarmi, sviluppata e installata da AIR LIQUIDE
ELECTRONICS SYSTEMS (ALES) di Grenoble, Francia.
FabView™, Screen shot (gas cabinet)
11 chemin du Vieux Chêne
INOVALLEE (ZIRST) 4201 F-38942 Meylan cedex
[email protected]
Tel. +33 (0)4 76 04 11 00 - Fax. + 33 (0)4 76 90 24 76
FabView™ è un sistema basato su Wonderware INTouch, in ambiente Microsoft Windows NT
4.0 Windows 2000. La gestione dell’importante numero di dati in ingresso trattati da
FabView™ è affidata a un Microsoft Industrial SQL Server. Grazie ad ALERT, i messaggi e gli
allarmi vengono sintetizzati in files vocali e vengono automaticamente generate le chiamate
telefoniche verso gli operatori in chiamata. Di seguito illustriamo una sintesi del sistema
monitorato e del sistema SCADA.
Sistemi Monitorati
o Circa 400 sistemi di distribuzione ESG completamente automatizzati. Gli ESG vengono
riforniti da cilindri pressurizzati per mezzo di gas cabinets e Valve Manifold Boxes
(VMBs). Tutti i sistemi sono equipaggiati con un PLC (Siemens SIMATIC S5 95 o S7 300)
che comunica con il sistema SCADA.
o Un sistema di distribuzione nitrogen trifluoride (NF3).
o Una unità di separazione dell’aria che genera ossigeno e azoto ultra puri per
distillazione criogenica di acqua liquefatta.
o Nove serbatoî di gas utilizzati per l’immagazzinamento e la fornitura di gas liquefatti
ultra puri, come azoto, ossigeno, argon, elio e idrogeno.
o Otto purificatori di gas termici e uno criogenico.
o Dodici sistemi di analisi di gas.
o Due miscelatori di gas (azoto e idrogeno).
o Dieci stazioni automatizzate di filtraggio.
o Una installazione completa per la generazione di compressed dry air (CDA). Questa
installazione consiste di cinque compressori, dieci stazioni di filtraggio, due sistemi di
distribuzione e un sistema di back-up di emergenza.
Sistema SCADA FabView™
Hardware:
Software:
o 2 S5 155u, detti concentratori dati, che
ricevono
tutte
le
informazioni
provenienti dal campo
o Microsoft Win NT 4.0 e Microsoft
Office
o 200 I/O remoti (ET 200)
o Wonderware InTouch versione 7.1
o 1 server dati
o Microsoft INSQL
o 1 server allarmi comprendente modems
vocali
o Applicom Server 3
o 10 nodi clients di visualizzazione
o Micromedia ALERT
o 25 reti sul campo
o Rete Ethernet nell’area di comunicazione
Architecture, IT network
Database allarmi e chiamate telefoniche automatiche effettuate da ALERT
Una delle squadre TGCM on-site è il Servizio in Chiamata. Due membri della squadra hanno in
dotazione permanente telefoni cellulari (principale e di riserva) sui quail gli allarmi gravi
vengono trasferiti come messaggi vocali sintetizzati da ALERT. Queste chiamate di emergenza
avvengono in serie e non in parallelo, cioè il telefono cellulare di back-up viene chiamato solo
se quello principale non risponde. Nel caso in cui anche il telefono cellulare di riserva non
risponda, vengono chiamati altri due numeri di emergenza (numeri personali). Se nemmeno i
due numeri personali rispondono, la sequenza di chiamata riparte fino a quando la chiamata
viene riconosciuta per mezzo del codice personale di un operatore.
Tutti i potenziali allarmi e messaggi ammontano a 30.000. ALERT effettua una selezione degli
allarmi che richiedono effettivamente un intervento immediato di una squadra di servizio.
Cionondimeno, anche dopo il filtraggio piú di 6.000 allarmi rimangono nel database di ALERT.
Durante il giorno, quando la maggior parte del personale di AIR LIQUIDE è in servizio, le
chiamate di emergenza vengono trasferite automaticamente nell’ufficio del sito. La
pianificazione delle squadre in servizio viene effettuata in ALERT con molti mesi di anticipo:
questo è il motivo per il quale non deve essere effettuata alcuna configurazione di ALERT
durante il suo funzionamento quotidiano.
Una volta alla settimana viene effettuato un controllo preventivo del sistema, per poter
inserire eventuali modifiche della pianificazione o dei numeri di telefono. Per assicurare il
corretto funzionamento di ALERT, viene effettuata una chiamata di controllo (caratteristica
integrata in ALERT) in modo da poter tracciare la sequenza di chiamata. Se per un motivo
qualsiasi il sistema “cade” e la chiamata fallisce, viene attivata una funzione ridondante di
ALERT. Questa specie di "watchdog" è situate in un server differente per controllare in
permanenza la disponibilità di ALERT e una corretta connessione per le chiamate. In caso di
problemi, viene generata un’altra chiamata telefonica per mezzo di un secondo modem, per
segnalare che le chiamate di emergenza non possono piú essere effettuate e per consentire
l’intervento di un tecnico di servizio per correggere il problema.
