Sensori e attuatori per l’automazione Corso di AZIONAMENTI ELETTRICI Laurea specialistica in ingegneria dell’innovazione industriale Università di Udine, sede di Pordenone Docente: Luca Sgarbossa Outline Generalità sui trasduttori Trasduttori di temperatura forza coppia posizione-spostamento velocità accelerazione campo magnetico corrente tensione pressione portata livello umidità Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 2 1 Sistema di controllo Variabile d’uscita Riferimento Regolatore Attuatore Processo da controllare Controllo ad azione diretta o a catena aperta Riferimento Regolatore Attuatore Processo da controllare Trasduttore Variabile d’uscita Energia Controllo in retroazione o a catena chiusa 3 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa Generalità sui trasduttori Elettrico Trasduttore grandezza fisica da misurare grandezza di uscita Trasduttore Pneumatico Trasduttore elettrico: è un dispositivo in grado di trasformare le variazioni di una grandezza fisica in una corrispondente variazione di una grandezza elettrica. Esempi: Trasduttore di temperatura Trasduttore di velocità Trasduttore di posizione Trasduttore di pressione Trasduttore di forza Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 4 2 Sensore o Trasduttore? Secondo l’IEC (International Electrotechnical Commission) SENSORE: “L’elemento primario di una catena di misura, che converte la variabile di ingresso in un segnale adatto per la misura”. TRASDUTTORE: “Il dispositivo che accetta un’informazione nella forma di una variabile fisica (sua variabile di ingresso) e la converte in una variabile di uscita della stessa o di diversa natura, in accordo ad una legge definita”. Quindi il trasduttore può essere formato dall’insieme di: elemento captatore (il sensore vero e proprio) elemento di condizionamento (es. alimentazione, amplificazione, compensazione, linearizzazione, autotaratura,…) elemento di elaborazione Oggigiorno, in ambiente industriale, il significato dei due termini si confonde. Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 5 E AM BI EN T AM BI EN T AM BI EN T E E AM BI EN TE Catena di trasmissione dati e relazioni con altri sistemi Sistema misurato E E AM BI EN T Dato in uscita AM BI EN T AM BI EN T E Conversione AM BI EN T AM BI EN T Condizionamento Sistema di controllo Trasduzione della grandezza fisica da misurare in una grandezza elettrica Eliminazione delle componenti in frequenza indesiderate Standardizzazione del livello del segnale. Tipicamente: 0 ÷ 5V; 0 ÷ 10V; 0 ÷ 20mA; 4 ÷ 20mA Conversione A/D; (quantizzazione, campionamento) E E AM BI EN TE AM BI EN T AM BI EN T E AM BI EN T E AM BI EN T E AM BI EN T Filtraggio E Trasduzione E AM BI EN TE Aux Grandezza fisica in ingresso Il trasduttore è in relazione con: sistema misurato, sistema utilizzatore, sistema ausiliario, sistema ambiente Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 6 3 Condizionamento dei segnali analogici Scopi: adattare il livello del segnale al convertitore A/D preservare l’integrità del segnale lungo la linea di trasmissione Tipi di connessioni: single ended differenziale con isolamento galvanico Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 7 Connessione single ended Caratterizzata da una linea di ritorno comune pro: nel caso che i canali da acquisire siano numerosi, è sufficiente un multiplexer con un interruttore per canale contro: se i potenziali di massa dei due telai sono diversi, la corrente circolante in Zm da luogo a una caduta di tensione che si aggiunge al segnale generato dal trasduttore, e quindi ad errori di misura non sempre tollerabili Telaio 1 Trasduttore Telaio 2 high end low end Zm massa 1 I≠0 Ground loop massa 2 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 8 4 Connessione differenziale Caratterizzata dall’assenza di un collegamento diretto tre le due masse pro: l’eventuale ddp tra le due masse appare all’ingresso dell’amplificatore come una tensione di modo comune, che verrà attenuata secondo il suo CMRR. contro: necessità di un doppio interruttore per ogni ingresso del MUX Telaio 1 Telaio 2 Trasduttore Zm I=0 massa 2 massa 1 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 9 Connessione con isolamento galvanico Caratterizzata dalla presenza di un isolamento galvanico tra trasduttore e scheda di acquisizione (ottenuto per es. con optoisolatore, fibra ottica, trasformatore d’accoppiamento o amplificatore d’isolamento) pro: perfetto isolamento galvanico, possibilità di collegare apparecchiature con un’elevata ddp in totale sicurezza contro: più costoso rispetto ai metodi precedenti Telaio 1 Telaio 2 Trasduttore I=0 massa 1 massa 2 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 10 5 Principali cause del Rumore Principalmente generato da accoppiamenti indesiderati con sorgenti di segnale estranee al circuito di misura rumore per accoppiamento capacitivo: rumore per accoppiamento induttivo: si verifica in maniera rilevante quando segnali ad alta frequenza o con fronti ripidi hanno percorsi adiacenti a circuiti che offrono un’elevata impedenza nasce in presenza di forti campi magnetici come quelli prodotti dalle correnti che fluiscono nelle barre di trasporto dell’energia elettrica, trasformatori, grossi motori,… ed è dovuto alla mutua induttanza tra queste sorgenti ed il collegamento tra trasduttore e sistema di acquisizione In tutti i casi il livello del rumore dipende da diversi fattori: tipo di trasduttore utilizzato impedenza di uscita del trasduttore e di ingresso del sistema di acquisizione lunghezza e percorso del collegamento ampiezza del segnale … Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 11 Principali metodi per attenuare il Rumore collegamenti i più brevi possibili separare le linee di potenza da quelle di segnale separare le linee analogiche da quelle digitali segnali in corrente uso di cavi con uno schermo metallico collegato a massa connesso da un lato solo (preferibilmente lato acquisizione) per evitare ground loop uso di cavi coassiali nelle connessioni single ended doppino intrecciato schermato nelle connessioni differenziali Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 12 6 Classificazione dei trasduttori Esistono più modi per classificare i trasduttori: In base al principio fisico ottico, meccanico, pneumatico, elettrico Classificazione In base alla grandezza da misurare lunghezza, temperatura, pressione, vibrazione In base al settore di destinazione agricoltura, chimica, robotica, manifatturiero Altre classificazioni: Attivo/Passivo Analogico/Digitale Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 13 Caratteristiche dei trasduttori Caratteristiche statiche (in condizioni normali) range di funzionamento (ingresso: campo di misura (Span) e di sicurezza; uscita: Full Scale Output) sensibilità o guadagno (dy/dx) risoluzione (errore di quantizzazione) Linearità (riferita allo zero, agli estremi, ai minimi quadrati, indipendente) fascia di incertezza offset errore di guadagno ripetibilità Isteresi stabilità Calibrazione Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 14 7 Caratteristiche dei trasduttori Caratteristiche dinamiche funzione di trasferimento risposta al gradino: costante di tempo (63%) tempo di risposta (95 o 98%) tempo di salita (rise time) (10 – 90% o 5 – 90%) settling time (entro il 4%) sovraelongazione (overshoot) tempo morto (dead time) (10%) risposta in frequenza banda passante (fBW; -3dB) smorzamento (ξ) pulsazione naturale (ωn) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 15 Caratteristiche dei trasduttori Caratteristiche ambientali si riferiscono alle prestazioni del sensore dopo l’esposizione (c.a. non operative) o durante l’esposizione (c.a. operative) a specifiche sollecitazioni esterne i trasduttori spesso operano in condizioni operative diverse da quelle in cui sono stati calibrati es: temperatura accelerazione vibrazione pressione umidità campi elettrici campi magnetici Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 16 8 Caratteristiche dei trasduttori Caratteristiche di affidabilità sono relazionate alla vita utile del sensore e a possibili cause di malfunzionamento nel sistema in cui è inserito vita operativa: rappresenta il minimo intervallo di tempo nel quale il dispositivo funzionerà senza che cambino le su caratteristiche di funzionamento numero di cicli: rappresenta il minimo intervallo di escursioni nel suo range di funzionamento nel quale il dispositivo opererà senza che cambino le sue caratteristiche di funzionamento Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 17 Misura della temperatura Il calore si trasmette per: conduzione convezione irraggiamento (sensori a contatto) (sensori senza contatto) Il sensore di temperatura deve influire il meno possibile sulla grandezza da rilevare Scale: ridotta capacità termica del sensore Celsius Kelvin Fahrenheit Rankine Reamur Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 18 9 Misura della temperatura – errori nella misura la temperatura misurata: è una media della temperatura del corpo dipende dagli errori dello strumento di misura è legata al tempo di misura dipende dall’operatore è influenzata dalle capacità termiche del sensore e del corpo Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 19 Trasduttori di temperatura termocoppie RTD (resistance temperature detector) o termoresistenze termistori (thermal resistor) sensori integrati pirometro Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 20 10 Trasduttori di temperatura - termocoppie Sfruttano l’effetto termoelettrico o effetto Seebeck (1821) se T1 = T2 se T1 ≠ T2 => => T2 V=0 V≠0 T1 V dipende dai materiali e da (T1-T2): e = f (T1 , T2 ) ⋅ (T1 − T2 ) in prima approssimazione: ETAB = a1 (T1 − T2 ) + a2 (T1 − T2 ) 2 + a3 (T1 − T2 )3 + ... (termine lineare prevalente) 1 ,T2 Per la giunzione ferro-costantana (J): a1 ≅ 51.7 μV °C Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 21 Trasduttori di temperatura - termocoppie Legge delle temperature successive Se una termocoppia sviluppa una fem e1 quando i giunti sono posti rispettivamente alle temperature t1 e t2, ed una fem e2 quando i giunti sono posti rispettivamente alle temperature t2 e t3, allora essa svilupperà una fem e3=e1+e2 qualora i giunti siano posti alle temperature t1 e t3. e(t1 , t3 ) = e(t1 , t2 ) + e(t2 , t3 ) e(0, t ) = e(0, ta ) + e(ta , t ) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 22 11 Trasduttori di temperatura - termocoppie Legge dei metalli interposti A A T1 T2 T1 B B T3 T2 A T2 T1 B C B C L’inserzione nel circuito di una termocoppia di un terzo metallo non altera la fem, a patto che le due nuove giunzioni dovute alla presenza del nuovo metallo siano alla medesima temperatura. T1 C A B T1 T3 D B D T2 C A C T2 T3 e = eAB (t1 , t2 ) + eCD (t2 , t3 ) 23 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa Trasduttori di temperatura - termocoppie Type Metallo 1 Metallo 2 Coeff. di temp. medio Range di temp. [°C] T Rame Costantana 48.2 μV/°C -200 ÷ +400 J Ferro Costantana 51.7 μV/°C -200 ÷ +700 E Cromo Costantana 60.9 μV/°C -200 ÷ +1000 K Cromo Alluminio 40.5 μV/°C -200 ÷ +1300 S Platino Platino – 10% Rodio 6.4 μV/°C 0 ÷ +1500 R Platino Platino – 13% Rodio 6.4 μV/°C 0 ÷ +1600 B Platino – 6% rodio Platino – 30% Rodio -- 0 ÷ +1800 G Tungsteno Tungsteno – 26% Renio -- 0 ÷ +2800 C Tungsteno – 5% Renio Tungsteno – 26% Renio 15 μV/°C 0 ÷ +2800 La scelta va fatta anche in base ad altri fattori, come la resistenza ad ambienti aggressivi e all’ossidazione. Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 24 12 Trasduttori di temperatura - termocoppie Fe e = f (T1 , T2 ) ⋅ (T1 − T2 ) Cu V T1 Costantana T2 bagno di acqua e ghiaccio Cu hot junction T2 cold junction: compensazione (e.g. LT1025, AD594) Le due giunzioni col rame devono essere alla medesima temperatura Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 25 Trasduttori di temperatura - termocoppie Esempio di compensazione con LT1025 C T2 A B T1 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 26 13 termocoppie Riferite a 0°C Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 27 Trasduttori di temperatura - termocoppie economiche robuste – notevole resistenza meccanica adatte anche ad ambienti ostili stabili nel tempo risposta pronta ampio range di funzionamento ampia scelta di metalli non troppo precise e sensibili bassa tensione di uscita (μV) – rumore non lineari Applicazioni tipiche: forni ad induzione forni per uso alimentare Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 28 14 Trasduttori di temperatura - RTD ρt = ρ0 (1 + α T ) in ogni conduttore metallico vale: i materiali più usati sono platino (Pt100), rame, nichel molto stabili precisi molto accurati abbastanza lineari costosi soffrono del riscaldamento per effetto Joule presentano una certa inerzia termica – lenti collegamento a 4 fili misure industriali di precisione da -200 fino a +1100°C Applicazioni tipiche: processi fotochimici monitoraggio temperature nei processi alimentari 29 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa Trasduttori di temperatura – RTD – Pt100 è il dispositivo più accurato e stabile nel range 0÷500°C intaccabile dagli agenti chimici punto di fusione molto elevato caratteristica abbastanza lineare Pt100 molto stabile nel tempo –– lunga durata I V R = 100Ω a 0°C α = 3.54 °C-1 tra 250°C e 350°C esempio: R = 280.90Ω a 500°C Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 30 15 Trasduttori di temperatura - Termistori Si basano sulla dipendenza della conducibilità dei semiconduttori dalla temperatura precisi economici non lineari richiedono un’elettronica complessa fragili solitamente usati per misure di temperature ambientali si basano sulle caratteristiche dei semiconduttori caratterizzati da ampie variazioni della resistenza (da 103 a 106 volte più sensibili degli RTD) Applicazioni tipiche: sistemi di riscaldamento elettronica industriale e di consumo telecomunicazioni Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 31 Trasduttori di temperatura – Termistori – PTC coeff. di temp. positivo realizzati mediante silicio andamento quasi parabolico della resistenza (in un certo range): RT ≅ R25 (1 + αΔT + β ΔT 2 ) α = 7.68 ⋅10−3 °C −1 (tipico) β = 1.88 ⋅10 °C (tipico) −5 −2 più sensibili alle alte temperature problema dell’autoriscaldamento intervallo di funzionamento ristretto tipicamente usati per la protezione da sovraccarichi e surriscaldamento Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 32 16 Trasduttori di temperatura – Termistori – NTC coeff. di temp. negativo realizzati mediante miscele di ossidi metallici sinterizzati andamento tipicamente esponenziale della resistenza: b RT = aeT = R25e ⎛1 1 ⎞ b⎜ − ⎟ ⎝ T T25 ⎠ con: T temperatura assoluta, a coeff. dipendente da forma e dimensioni, b coeff. dipendente dal materiale più sensibili alle basse temperature fortemente non lineari impedenza molto elevata problema dell’autoriscaldamento tipicamente impiegati fra -100°C e +400°C (alcuni tipi speciali possono arrivare fino a +1200°C) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 33 Trasduttori di temperatura – sensori integrati utilizzano le proprietà delle giunzioni a semiconduttore (diodi e transistor) di avere tensione e corrente fortemente dipendenti dalla temperatura affidabili precisi miniaturizzati economici lineari range di temperatura piuttosto ristretto (-65 ÷ +150°C) Applicazioni tipiche: celle frigorifere compensazione di temperatura in dispositivi di qualità e.g. LM35, LM45, LM50, LM135, LM235, LM335 (uscita in tensione) AD590, AD592, TMP17 (uscita in corrente) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 34 17 Trasduttori di temperatura – Pirometro Trasduttore elettrico a infrarossi che si fonda sulla trasmissione del calore per radiazione elettromagnetica Risposta proporzionale a T4 (non lineare) non invasivo (es: parti in movimento o poco accessibili) molto stabile adatto a temperature anche elevate range esteso sensibilità maggiore alle alte temperature costoso Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 35 Trasduttori di forza strain gauge (o estensimetro) piezoelettrici Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 36 18 Trasduttori di forza – strain gauge (estensimetro) Sensore in grado di misurare la deformazione locale della superficie di un corpo. Sfrutta il cambiamento di resistenza di un conduttore quando viene deformato. In zona elastica vale la legge di Hooke (per carico uniassiale): T= F ΔL = ES = E A L con T tensione meccanica, E modulo di Young, S deformazione. Piccolo nei metalli F R=ρ F l S dR d ρ dl dS = + − ρ R l S Piezoresistività Preponderante nei semiconduttori Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 37 Trasduttori di forza – strain gauge (estensimetro) La deformazione in genere è piccola: si introduce allora il microstrain (με) 10-6. La deformazione massima con strain gauge metallici è di circa 40000 με. R = R0 (1 + GS ) In prima approssimazione, per piccole deformazioni vale: in cui G è il fattore di gauge (circa 2 per la maggioranza dei metalli, 6 per il Pt; oltre un ordine di grandezza più grande per i semiconduttori). Estensimetro a lamina Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 38 19 Trasduttori di forza – strain gauge (estensimetro) Problema: la resistività dipende anche dalla temperatura! (10°C ↔ 20000με) si devono usare leghe a basso TCR (es Cu/Ni) substrato con stesso coefficiente di dilatazione termica comunemente si ha una sensibilità alla temperatura < 5 με/°C si può ricorrere al dummy gauge ⎛ R3 ⎞ R4 Vu = ⎜ − ⎟⋅ E R R R R + + ( ) ( ) ⎝ 1 3 2 4 ⎠ se R1 = R2 = R4 = R e R3 = R + ΔR R2 R1 Vu = Vu E ΔR E ⋅ 2 R + ΔR 2 0,5 0,3 R3 R4 Vu E 0,1 -1 -0,5 -0,1 0 0,5 -0,3 Ponte di Wheatstone 1 ΔR R -0,5 http://www.dwiarda.com/scientific/Bridge.html 39 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa Trasduttori di forza – strain gauge (estensimetro) Ponte a due rami attivi (per compensare la temperatura) R2 R1 E Vu = Vu R3 ΔR E ⋅ 2 R + 2ΔRT + ΔR 2 R4 R1 R3 Fy R3 Fx R1 R3 Fx R1 Fy dummy gauge Fx dummy gauge Adatti alla misura di trazione e flessione Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 40 20 (Misure con il Ponte di Wheatstone… Può accadere che il sensore debba essere posizionato lontano dal ponte R3 R2 R1 Rc α = 0.4% Rc α = 0.4% E Vu R4 I cavi di collegamento introducono un errore sistematico nella misura In questo caso la totale resistenza del ramo 3 vale R3′ = R3 + 2 Rc La temperatura dei cavi di collegamento non è nota e non può essere controllata, per cui… 41 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa …Misure con il Ponte di Wheatstone… Configurazione a tre fili R3 R2 R1 Rc α = 0.4% Rc α = 0.4% Rc α = 0.4% E Vu R4 In questo modo c’è una Rc sul ramo 3 e una sul ramo 4: i loro effetti si compensano… … ma la tensione di alimentazione del ponte non è più E, bensì E meno la cdt su Rc, per cui… Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 42 21 …Misure con il Ponte di Wheatstone… Configurazione a quattro fili R3 R2 R1 Rc α = 0.4% Rc Rc α = 0.4% α = 0.4% Rc α = 0.4% E Vu R4 In questo modo ci sono due Rc sul ramo 3 e due sul ramo 4: i loro effetti si compensano e la tensione di alimentazione del ponte è E. … ma sono però necessari ben quattro conduttori di collegamento con il campo 43 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa …Misure con il Ponte di Wheatstone…) Azzeramento automatico del ponte R Vu R B R3 R3 = R + ΔR A R E R4 Vu = − ΔR E R 2 Notare la linearità intrinseca del sistema Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 44 22 Trasduttori di forza – strain gauge (estensimetro) Utilizzabile anche in ambienti estremamente avversi: -269°C ÷ 1300°C aree soggette a radiazione vibrazioni intense Applicazioni tipiche: celle di carico (bilance, pese, automotive, aerospace, campo medico) monitoraggio strutture (ponti e edifici) trasduttori di forza, di pressione, di coppia, accelerometri Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 45 Trasduttori di forza – piezoelettrici Sfruttano la proprietà di alcuni materiali, (materiali cristallini con basso grado di simmetria e materiali ottenuti per sinterizzazione: p. es. quarzo, tormalina, sale di Rochelle, solfato di litio, polimeri, titanato di bario, di piombo…), di generare una differenza di potenziale quando vengono sottoposti a sollecitazioni meccaniche quali la compressione, lo stiramento e la flessione. Sono estremamente sensibili e rispondono a sollecitazioni dinamiche in un range di frequenze da 20Hz a 20kHz. L’effetto è reversibile (Piezo Electric Actuator – PEA): si parla di spostamenti compresi tra 1pm e 100μm. +Q V p A E -Q Strato metallico deposto Materiale piezoelettrico Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 46 23 Trasduttori di forza – piezoelettrici In assenza di sollecitazione meccanica, o a sollecitazione costante, il materiale piezoelettrico si comporta come un normale dielettrico, e non si osserva alcuna d.d.p. Una sollecitazione meccanica variabile nel tempo provoca una deformazione e modifica i momenti di dipolo con conseguente variazione di carica di superficie, che viene rilevata come una d.d.p. impulsiva. Questo effetto è sfruttato per realizzare trasduttori di pressione vibrazione onde acustiche (microfoni, idrofoni) flusso distanza (sonar) prossimità livello Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 47 Trasduttori di coppia o Torsiometri Trasduttore in grado di misurare una coppia meccanica principio di funzionamento: misura della torsione di un albero strain gauge induttivo magnetico a sfasamento ottico con o senza contatti striscianti statico/dinamico Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 48 24 Torsiometri statici Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 49 A sensori strain gauge Gli strain gauge sono installati sull’albero rotante deformabile, tipicamente in configurazione a ponte di Wheatstone con 4 lati attivi Problema: si deve alimentare e prelevare il segnale da un organo rotante. Si può far uso di batterie, trasformatori assiali, telemetria a radiofrequenza o a infrarosso Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 50 25 A sensore induttivo Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 51 A sensori magnetici a sfasamento Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 52 26 A sensori ottici Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 53 A sensori NCAPS Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 54 27 Montaggio sospeso Pro: catena di trasmissione più corta spazio occupato minore frequenza di risonanza dell’albero più elevata più economico Contro: velocità di rotazione ridotta vibrazioni Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 55 Montaggio ancorato Pro: velocità di rotazione massima più elevata meno masse sospese Contro: catena di trasmissione più lunga spazio occupato maggiore frequenza di risonanza dell’albero minore più costoso Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 56 28 Sistema a due masse B1 M1 M 2 ,ϑ2 M 1 ,ϑ1 1 sJ1 ω1 1 s Δϑ Kt +Bs M2 1 ω2 sJ 2 ϑ1 1 s ϑ2 B2 Δϑ ( s ) = J2 J1 M 1 ( s) − 2 M 2 (s) s 2 J1 J 2 + K t ( J1 + J 2 ) s J1 J 2 + K t ( J1 + J 2 ) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa (Q = ∞) 57 Trasduttori di posizione-spostamento Movimenti rotativi (single-multi turn) potenziometri rotativi encoder resolver NCAPS induttivi RVDT capacitivi RCDT Movimenti rettilinei potenziometri lineari ad estensione di cavo induttivi LVDT LASER magnetoresistivi Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 58 29 Potenziometri Trasduttore di posizione analogico i più antichi dispositivi di trasduzione di posizione può essere lineare o rotativo può essere a filo (uscita discontinua) o a strato attenzione all’effetto del carico, che riduce la linearità del sistema problema dei contatti striscianti R /R Vout = α I Vout x = E =αE l0 per Rout = ∞ 1 out −α 2 + α + Rout / R Rout =∞ R Vout E 0,8 0,6 E R Rout =5 R 0,4 x Vout Rout E 0,2 α= 0 0 0,5 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 1 x l0 59 Potenziometri economico poco affidabile per via dei contatti striscianti scarsamente usato per misurare posizioni di parti importanti o critiche spesso utilizzato come generatore di set-point, abbinato ad una scala graduata Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 60 30 Encoder L’encoder è un apparato elettromeccanico che converte la posizione angolare del suo asse rotante in un segnale elettrico digitale. Può essere di tipo: rotativo/lineare tachimetrico, assoluto, incrementale e assoluto-incrementale ottico/magnetico ad albero sporgente cavo semicavo Vita della sorgente luminosa: tipicamente > 100.000 ore Temp. di lavoro tipica: 0 ÷ 70-100°C Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 61 Encoder Particolare cura deve essere posta nel montaggio e nel collegamento elettrico l’encoder non deve mai essere sollecitato si devono contenere gli errori di allineamento (assiale, radiale, angolare) si deve porre attenzione a temperatura, vibrazioni cavi opportunamente schermati e più corti possibili separare le linee di segnale dalle linee di potenza trasmissione in modo differenziale (Line Driver) adattamento della linea il disco può essere di materiale vetroso (delicato agli urti) o infrangibile (risoluzione minore, bassa inerzia) in continuo sviluppo Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 62 31 Encoder Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 63 Encoder Utilizzazioni tipiche: Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 64 32 Encoder incrementale Fornisce l’incremento di posizione Necessita di contatore e azzeramento iniziale esistono encoder incrementali con batteria tampone esistono encoder incrementali sinusoidali (per ovviare al problema della larghezza di banda del segnale); es: 8192 periodi/giro – 2048 suddivisioni moltiplicazione elettronica del numero di impulsi/giro (x2, x4) max 90.000 impulsi/giro da 200kHz (low-intermediate cost) a 1MHz (high cost) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 65 Encoder assoluto Può essere monogiro/multigiro (max 16 bit per giro) Può avere la codifica di tipo: binario (vantaggioso quando si vuole risparmiare tempo nella decodifica) BCD (vantaggioso per visualizzazione diretta su display) Gray (cambia un solo bit per volta; multipli di 2n / eccesso) ASCII (protocolli di comunicazione standard o dedicati: parallela, seriale SSI, analogica corrente, analogica tensione, Profibus, CANopen, DeviceNet, Interbus, EnDat, SUCOnet, Ethernet) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 66 33 Encoder assoluto risoluzione massima singleturn: 18bit risoluzione massima multiturn: 8192 x 4096 mediamente più costoso di un encoder incrementale non necessita di contatore e azzeramento Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 67 Encoder assoluto Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 68 34 Encoder assoluto a scansione magnetica Tecnologia emergente minor numero di componenti rispetto ad un encoder ottico maggiore affidabilità maggiore durata temp. operativa: -40 ÷ 125°C max 100.000rpm accuratezza: sull’ordine di 0.2° uscite analogiche ASIC sensor Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 69 Encoder assoluto a scansione magnetica Encoder assoluto a scansione magnetica con maggiore risoluzione Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 70 35 Resolver Trasduttore analogico di posizione angolare assoluta robustissimo; tecnologia consolidata buona immunità ai disturbi necessita di circuiti integrati dedicati per la codifica in forma numericadigitale (es. RDC19200 series, AD2S80, AD2S90) Vs = Vr ⋅ TR ⋅ sin θ Vc = Vr ⋅ TR ⋅ cos θ Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 71 Resolver E’ composto da due parti principali: lo statore, fisso, ed il rotore, solidale con l’albero. Sullo statore vi sono due avvolgimenti disposti a 90°, dai quali si preleva il segnale. Fondamentalmente, un resolver produce due segnali proporzionali al seno e al coseno dell’angolo di rotazione del suo rotore Caratteristiche principali: numero di poli (in genere due) rapporto di trasformazione (tipicamente 0.5) tensione e frequenza di alimentazione (5÷15Vrms; 1÷15kHz) temperatura operativa (-50÷150°C) sfasamento ingresso-uscita (5÷20°) errore elettrico (sull’orine dei minuti o decine di minuti di grado) velocità massima (migliaia-decine di migliaia di giri al minuto) inerzia tipo di accoppiamento (albero sporgente, cavo, built-in) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 72 36 Resolver Tensioni di ingresso e di uscita in funzione dell’angolo meccanico Rotore a 0° Rotore a 90° Inviluppo dell’uscita Rotore a 45° Rotore a 135° Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 73 Resolver La conversione RDC ha una propria dinamica la conversione RDC introduce inevitabilmente un ulteriore errore nella misura il progettista deve considerare frequenza di riferimento banda passante velocità massima numero di bit (tipicamente 10-12-14-16) filtraggio ingressi compensazione della fase Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 74 37 NCAPS (Non Contact Angular Position Sensor) Trasduttore di posizione angolare assoluto Non troppo accurato semplice e robusto economico dimensioni contenute elettronica piuttosto complessa nato per applicazioni automotive EPAS (El. Power Assisted Steering) Steer-by-Wire sensore di posizione del volante sensore di coppia del volante Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 75 RCDT (Rotary Capacitive Displacement Transducer) Trasduttore assoluto di posizione angolare C = ε 0ε r A d Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 76 38 Trasduttori di velocità Dinamo tachimetrica Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 77 Trasduttori di velocità – Dinamo tachimetrica V = K ΦΩ − RI − L di dt E’ una dinamo vera e propria: in pratica, sovrapposta alla tensione continua, vi è una componente alternata dovuta alla presenza del collettore; la sua frequenza dipende dalla velocità di rotazione (difficoltà di eliminazione con un filtro) non necessita di alimentazione precisione sull’ordine di qualche punto percentuale col tempo i magneti permanenti tendono a smagnetizzarsi affetta dal problema dei contatti striscianti (usura spazzole, rumore elettrico) inerzia del rotore piuttosto elevata più usata in passato in abbinamento a sistemi di controllo analogici R e =K ΦΩ L V Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 78 39 Accelerometri lineari mono/bi/tri-assiali rotazionali (MEMS) sensibilità: mV/ms-2 o pC/ms-2 piezoelettrici piezoresistivi meccanici a reazione di forza capacitivi integrati (ADXL05, ADXL50 a sensore capacitivo) La modalità con cui viene effettuato il montaggio influenza moltissimo la risposta in frequenza dell’accelerometro massa sismica Schema di principio di un accelerometro sismico Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 79 Accelerometri Applicazioni tipiche: Automotive air bags sospensioni attive sistemi di allarme freni adattativi crash test robotica controllo macchine monitoraggio vibrazioni analisi modale analisi vibrazionale strumentazione monitoraggio sismico rivelatori d’impatto inclinometri Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 80 40 Accelerometri piezoelettrici Non misurano accelerazioni continue smorzamento molto basso la frequenza di taglio inferiore (frazioni di Hz) è limitata dalla costante di tempo del cristallo la frequenza di taglio superiore (alcune decine di kHz) è limitata dalla risonanza meccanica l’amplificatore di misura deve avere un’impedenza di ingresso molto elevata (>1014Ω) cavo speciale (per attenuare il rumore triboelettrico) possono avere l’elettronica incorporata sensibilità trasversale piuttosto elevata (2÷4%) ampio range di temperatura operativa Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 81 Accelerometri piezoresistivi Degli strain gauge misurano la deformazione delle molle che supportano la massa presentano un’ottima immunità contro i campi elettromagnetici sono piuttosto sensibili alle variazioni di temperatura misurano anche accelerazioni continue Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 82 41 Accelerometri meccanici Gli elementi molla e massa assumono una ben definita consistenza sensori: potenziometro/LVDT sensore: strain gauge sensibilità trasversale sull’ordine dell’1% frequenza di taglio superiore limitata (decine di Hz) frequenza di taglio superiore elevata (sulla decina di kHz) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 83 Accelerometri capacitivi la massa, muovendosi, fa variare la distanza tra le due armature di un condensatore (raramente lo spostamento supera i 20μm) in genere vi sono due condensatori: a parità di spostamento mentre nell’uno la distanza aumenta, nell’altro diminuisce le forze elettrostatiche non devono influire sulla posizione della massa misurano anche le accelerazioni continue Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 84 42 Accelerometri termici “Senza massa!” 85 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa Accelerometri termici – principio di funzionamento Senza riscaldamento g=0 g≠0 Delle termocoppie permettono di misurare una differenza di temperatura, dalla quale si ricava l’accelerazione Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 86 43 Accelerometri termici innovativi economici (qualche dollaro) bande passanti < 100Hz low-noise resistono fino a 50.000g Applicazioni cellulari/palmari giocattoli HVAC antifurto per auto (Mercedes) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 87 Sensori di campo magnetico Sensori ad effetto Hall Sensori magnetoresistivi (MR, AMR, GMR, CMR e GMI(solo prototipi)) Sensori magnetostrittivi Unità di misura: S.I. campo magnetico H: [A/m] induzione magnetica B: [T] cgs campo magnetico H: [Oe] induzione magnetica B: [G] 10−4 A 4π ⋅10−7 m 1 G ≡ 10−4 T 1 Oe ≡ 1 G ↔ 1 Oe nel vuoto Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 88 44 Sensori ad effetto Hall (1879) r r r FL = q ⋅ vq × B Si basano sulla forza di Lorentz: Essa devia il moto dei portatori di carica, dando luogo ad una d.d.p. trasversale. r B r F+ x r v+ y z s r v− r I V = KBI = μq ρ s BI = 1 BI nqs V = RH I r F− thin-film μ q = 10 ÷ 100 cm 2 / Vs per conduttori metallici μ q = 104 ÷ 105 cm 2 / Vs per semiconduttori composti V Si usano per lo più materiali semiconduttori con drogaggio di tipo n (GaAs, InAs, InSb); Un’opportuna scelta del materiale e del livello di drogaggio permette di ottenere un buon compromesso tra sensibilità e dipendenza dalla temperatura. Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 89 Trasduttore di corrente – Sensori ad effetto Hall Bande passanti fino a 100kHz Applicazioni tipiche: pinze amperometriche, inverter Schema di principio Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 90 45 Sensori magnetoresistivi L’effetto magnetoresistivo è stato scoperto da W. Thomson nel 1857, ma solo lo sviluppo tecnologico delle ultime tre decadi del XX secolo hanno permesso la sua applicazione nella sensoristica industriale e nelle testine di lettura di dischi e nastri. La magnetoresistività è la proprietà di alcuni materiali di cambiare la propria resistenza in funzione del campo magnetico applicato. Tali sensori ben si adattano all’integrazione all’interno dei circuiti integrati, per via delle loro piccole dimensioni e del basso costo. Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 91 Sensori magnetoresistivi – Magnetoresitenze (MR) Si basano sulla forza di Lorentz: r r r FL = q ⋅ vq × B Essa devia il moto dei portatori di carica, allungandone il percorso e quindi aumentando la resistenza. Vengono usati materiali semiconduttori (InSb, InAs) I I H =0 I I H ≠0 thin-film Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 92 46 Sensori magnetoresistivi – Magnetoresitenze (MR) Dipendenza della resistenza circa quadratica col campo magnetico (non lineari) ampie variazioni della resistenza impossibilità di distinguere il verso del campo applicato forte dipendenza dalla temperatura adatti a misurare i gradienti di campo magnetico (usando due sensori) possono venire abbinati a magneti permanenti di bias -20°C 0°C 25°C 60°C 90°C 120°C T Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 93 Trasduttori di corrente Shunt Trasformatore di corrente Sonde ad effetto Hall Sonde ad effetto magnetoresistivo Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 94 47 Trasduttori di corrente – Shunt Si basano sulla legge di ohm: V = RI Adatti per la corrente continua e per l’alternata (fino ad una certa frequenza, anche elevata) induttanza, effetto pelle, effetto di prossimità errori di rapporto e di fase Semplici, robusti, affidabili Introducono una caduta di potenziale nel circuito di misura Problema del riscaldamento: P = RI 2 No isolamento galvanico Morsetti amperometrici R I Morsetti voltmetrici 95 Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa Shunt Current rating RMS peak Nominal resistance Power W I2t A2s Bandwidth MHz Weight Kg Type & datasheet 8A 3 kA 200 mΩ* 13 1300 50 1.0 ISM 3P/200 10 A 3 kA 100 mΩ 10 1300 200 1.3 ISM 3P/100 10 A 5 kA 50 mΩ 5 1300 200 1.5 ISM 5P/50 20 A 5 kA 20 mΩ 8 8*103 200 1.5 ISM 5P/20 30 A 5 kA 10 mΩ 9 2*104 200 1.4 ISM 5P/10 40 A 5 kA 5 mΩ 8 8*104 50 1.4 ISM 5P/5 50 A 20 kA 10 mΩ 25 5*104 200 2.5 ISM 50/10 60 A 20 kA 5 mΩ 18 5*104 200 2.1 ISM 50/5 70 A 20 kA 2 mΩ 10 5*104 200 1.7 ISM 50/2 120 A 40 kA 1 mΩ 14 5*104 200 1.5 ISM 100 220 A 40 kA 0.25 mΩ 12 2*105 50 1.5 ISM 200 250 A 100 kA 1 mΩ 62 5.6*106 200 9.0 ISM 250 360 A 100 kA 0.5 mΩ 65 5.6*105 200 9.0 ISM 350 500 A 100 kA 0.25 mΩ 62 2.2*106 50 9.0 ISM 500 800 A 100 kA 64 1.4*107 8 9.0 ISM 800 1200 A 100 kA 0.05 mΩ 72 9*106 12 9.0 ISM 1200 1600 A 100 kA 25 μΩ 64 5.6*107 2 9.0 ISM 1600 0.1 mΩ Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 96 48 Trasduttori di corrente – Trasformatore di corrente (TA) Trasforma una corrente elevata in una corrente più bassa secondo un rapporto di trasformazione idealmente costante: I 2 = KI1 Per correnti elevate (tipicamente oltre le decine di Ampere) Offre un isolamento galvanico Non funziona in DC (lavora in un determinato range di frequenza) Precisione: si parla di classi (0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0), alle quali corrispondono dei prefissati limiti massimi per gli errori di rapporto e d’angolo Prestazione: valore limite del carico secondario (espresso in VA: 2.5÷30) I1 N1 Connesso in serie Avv. primario Avv. secondario I2 N2 A typ: 1, 5 A R1 X 1 I1 Z0 I12 R2 X 2 I0 I2 Zc α I 2 = α ( I1 − I 0 ) Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 97 Trasduttori di corrente – Sonda ad effetto Hall vedi anche sensori di campo magnetico A misura diretta A compensazione di campo Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 98 49 Trasduttori di tensione – Trasformatore di tensione (TV) Trasforma una tensione elevata in una tensione più bassa secondo un rapporto di trasformazione idealmente costante: V2 = KV1 Per tensioni elevate (tipicamente oltre le migliaia di volt) Offre un isolamento galvanico Non funziona in DC (lavora in un determinato range di frequenza) Precisione: si parla di classi (0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0), alle quali corrispondono dei prefissati limiti massimi per gli errori di rapporto e d’angolo Prestazione: valore limite del carico secondario (espresso in VA: 2.5÷500) Connesso in parallelo R1 X 1 V1 N1 N2 V2 V V1 I1 Z0 I12 R2 X 2 I0 I2 V2 Z c α Avv. primario Avv. secondario Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 99 Bibliografia 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. J. Fraden, Handbook of modern sensors, second edition, Woodbury, NY, 1997 R. Frulla, Sensori e trasduttori industriali, Editrice Il Rostro, Milano, 1992 Brambilla, Teoria ed applicazioni dei trasduttori, Principato, 1982 M. Petternella, R. Vitelli, Strumentazione industriale – trasduttori e regolatori, UTET, Torino, 1981 Analog Devices - Transducer interfacing handbook - D.H. Sheingold -1980 Ambrosini, Perlasca, Lorenzi, Ocera, Sistemi e tecnologie, Tramontana, 1994 M.J. Caruso, L.S. Withanawasam, Vehicle detection and compass applications using AMR magnetic sensor, paper. M.J. Caruso, T. Bratland, C.H. Smith, R. Schneider, A new perspective on magnetic field sensor, paper. Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 100 50 Sitografia 1. 2. 3. 4. 5. http://phobos.iet.unipi.it/~nannini/microsistemi.PDF www.strain-gauges.com www.ssec.honeywell.com www.sensormag.com www.memsic.com Laurea Specialistica in Ingegneria dell'Innovazione Ind.le - Docente: Luca Sgarbossa 101 51